小池淳一 (Junichi Koike) - マイポータル

基本情報

所属: 東北大学工学研究科知能デバイス材料学専攻教授

学位: Ph. D.(1989年6月 Northwestern University)
工学修士(1985年3月東京工業大学)
工学士(1983年3月東京工業大学)

J-GLOBAL ID: 200901081098078140
researchmap会員ID: 1000183735

外部リンク: http://db.tohoku.ac.jp/whois/detail/b55668c15e4b730c54e60570bafd400d.html

研究キーワード

研究分野

学歴

委員歴

2000年3月 - 現在

日本金属学会分科会, 幹事
2000年3月 - 現在

日本金属学会分科会, 幹事
2006年3月 - 2010年3月

日本金属学会, 評議員
2006年3月 - 2010年3月

日本金属学会, 評議員

受賞

2021年3月

谷川・ハリス賞, 日本金属学会
2018年5月

第15回本多フロンティア賞, 公益財団法人本多記念会

小池淳一
2018年3月

第24回日本金属学会増本量賞, 日本金属学会

小池淳一
2013年4月

科学技術賞, 平成25年度科学技術分野文部科学大臣表彰

小池淳一
2008年7月

Outstanding Symposium Paper, MRSシンポジウムにおける優秀論文, Materials Research Society

J. Iijima, Y. Fujii, K. Neishi, J. Koike
2007年12月

IDW '07 Best paper award, International Display Workshop 2007
2007年12月

日本金属学会若手講演論文賞, 日本金属学会

安藤大輔, 小池淳一
2007年12月

応用物理学会講演奨励賞, 応用物理学会

飯島純, 藤井恵人, 根石浩司, 小池淳一
2007年10月

ASMA Best Poster Award, 2nd Asian Syposium on Magnesium Alloys

安藤大輔, 小池淳一
2006年9月

第４回STARC共同研究賞, 半導体理工学研究センター
2006年6月

IITC2005 Lerme Best Paper Award, International Interconnect Technology Conference

臼井孝公, 小池淳一, 和田真, 清水紀嘉, 高橋新吾, 吉丸正樹, 柴田英毅
2004年9月

日本金属学会論文賞, 日本金属学会

小池淳一, 大山礼, 小林孝幸, 鈴木真由美, 丸山公一
2003年9月

応用物理学会講演論文奨励賞, 応用物理学会

和田真, 小池淳一, 丸山公一
2003年1月

PSTAM講演論文賞, International Conference on Platform Science and Technology of Advanced Magnesium Alloys 2003

小池淳一
2003年1月

PSTAMポスター賞, International Conference on Platform Science and Technology of Advanced Magnesium Alloys 2003

小林孝幸, 小池淳一, 丸山公一
2001年3月

日本金属学会功績賞, 日本金属学会
1996年6月

原田研究奨励賞, 金属研究助成会
1994年10月

トーキン科学技術振興財団研究奨励賞, トーキン科学技術振興財団

論文

285

Low-Temperature Oxidation-Sintering Behaviors of Cu Fine Particles

Nobuaki Takeuchi, Daisuke Ando, Koike Junichi, Yuji Sutou

Materials Transactions 64(4) 931-938 2023年
Cu微粒子の低温酸化焼結挙動

竹内喬亮, 安藤大輔, 小池淳一, 須藤祐司

日本金属学会誌 86(11) 224-231 2022年11月1日
Potential of low-resistivity Cu<inf>2</inf>Mg for highly scaled interconnects and its challenges

Linghan Chen, Qian Chen, Daisuke Ando, Yuji Sutou, Momoji Kubo, Junichi Koike

Applied Surface Science 537 2021年1月30日
Interdiffusion reliability and resistivity scaling of intermetallic compounds as advanced interconnect materials

Linghan Chen, Sushant Kumar, Masataka Yahagi, Daisuke Ando, Yuji Sutou, Daniel Gall, Ravishankar Sundararaman, Junichi Koike

Journal of Applied Physics 129(3) 2021年1月21日
Possibility of Cu2Mg for Liner-Barrier Free Interconnects

Linghan Chen, Daisuke Ando, Yuji Sutou, Masataka Yahagi, Junichi Koike

2020 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC) 2020年10月5日
Liner- and barrier-free NiAl metallization: A perspective from TDDB reliability and interface status

Applied Surface Science 497 143810 2019年12月査読有り
Zn-Fe めっき層の組成および組織制御による改質に向けたスパッタリング成膜による検証

Uchiyama, A, Kawasaki, K, Sutou, Y, Ando, D, Koike, J

鉄と鋼 105(7) 724-732 2019年7月査読有り
Ordering of the bcc Phase in a Mg-Sc Binary Alloy by Aging Treatment

Metallurgical and Materials Transactions A: Physical Metallurgy and Materials Science 50(7) 3044-3047 2019年7月査読有り
Room temperature superelasticity in a lightweight shape memory Mg alloy

Scripta Materialia 168 114-118 2019年7月査読有り
CuAl2 thin films as a low-resistivity interconnect material for advanced semiconductor devices

Journal of Vacuum Science and Technology B: Nanotechnology and Microelectronics 37(3) 031215 2019年5月査読有り
Improvement of powdering resistance of Zn-Fe galvannealed coating by controlling of its composition and microstructure: Verification with sputtering method

Aimi Uchiyama, Kohei Kawasaki, Yuji Sutou, Daisuke Ando, Junichi Koike

Tetsu-To-Hagane/Journal of the Iron and Steel Institute of Japan 105(7) 724-732 2019年
Electrical transport mechanism of the amorphous phase in Cr2Ge2Te6 phase change material

52(10) 2019年査読有り
Aging precipitation kinetics of Mg-Sc alloy with bcc+hcp two-phase

Yukiko Ogawa, Yuji Sutou, Daisuke Ando, Junichi Koike

Journal of Alloys and Compounds 747 854-860 2018年5月30日査読有り
Contact resistance change memory using N-doped Cr2Ge2Te6 phase-change material showing non-bulk resistance change

Y. Shuang, Y. Sutou, S. Hatayama, S. Shindo, Y. H. Song, D. Ando, J. Koike

Applied Physics Letters 112(18) 2018年4月30日査読有り
Co and CoTix for contact plug and barrier layer in integrated circuits

Maryamsadat Hosseini, Daisuke Ando, Yuji Sutou, Junichi Koike

Microelectronic Engineering 189 78-84 2018年4月5日査読有り
Martensitic Transformation in a beta-Type Mg-Sc Alloy

Ogawa Yukiko, Ando Daisuke, Sutou Yuji, Somekawa Hidetoshi, Koike Junichi

SHAPE MEMORY AND SUPERELASTICITY 4(1) 167-173 2018年3月査読有り
Inverse Resistance Change Cr<inf>2</inf>Ge<inf>2</inf>Te<inf>6</inf>-Based PCRAM Enabling Ultralow-Energy Amorphization

Shogo Hatayama, Yuji Sutou, Satoshi Shindo, Yuta Saito, Yun Heub Song, Daisuke Ando, Junichi Koike

ACS Applied Materials and Interfaces 10(3) 2725-2734 2018年1月24日査読有り
Material innovation for MOL, BEOL, and 3D integration

J. Koike, M. Hosseini, H. T. Hai, D. Ando, Y. Sutou

Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM 32.3.1-32.3.4 2018年1月23日査読有り
Optical and electrical properties of i-MnTe thin films deposited using RF magnetron sputtering

59(9) 1506-1512 2018年査読有り
New Contact Metallization Scheme for FinFET and beyond

169-171 2018年査読有り

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MISC

149

Cu微粒子の酸化焼結メカニズム

竹内喬亮, 安藤大輔, 小池淳一, 須藤祐司, 須藤祐司

日本金属学会講演大会(Web) 172nd 2023年
依頼講演 Co/Si界面の酸化物層がショットキー障壁高さと接触抵抗に及ぼす影響 (シリコン材料・デバイス)

城戸光一, 佐藤謙, 黒田理人, 安藤大輔, 須藤祐司, 小池淳一

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 119(239) 35-38 2019年10月23日
異なるLPSO相量を有するMg-Zn-Gd系合金圧延材の機械特性と組織の関係

内山愛文, 安藤大輔, 須藤祐司, 小池淳一

日本金属学会講演概要(CD-ROM) 164th 2019年
Mg-Sc二元系合金の室温超弾性における粒径依存性

山岸奎佑, 安藤大輔, 須藤祐司, 小池淳一

日本金属学会講演概要(CD-ROM) 164th 2019年
Ti-Mo-Cコーティングの硬さおよび摩擦摩耗特性に及ぼす成膜圧力の影響

須藤祐司, 関谷暢, 安藤大輔, 小池淳一

日本金属学会講演概要(CD-ROM) 164th 2019年
Al-Ca共晶合金におけるAl₄Ca相のマルテンサイト変態及び擬弾性挙動

冨田航平, 安藤大輔, 須藤祐司, 小池淳一

軽金属学会大会講演概要 136th 2019年
粒径制御によるMg-Sc二元系合金の室温超弾性特性の向上

山岸奎佑, 安藤大輔, 須藤祐司, 小池淳一

軽金属学会大会講演概要 136th 2019年
異なるLPSO相量を有するMg-Zn-Gd系合金圧延材の機械特性と組織の関係

内山愛文, 安藤大輔, 須藤祐司, 小池淳一

軽金属学会大会講演概要 136th 2019年
低抵抗アモルファスCr₂Ge₂Te₆の電気伝導機構

畑山祥吾, 須藤祐司, 安藤大輔, 小池淳一, 小林啓介, 小林啓介

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 66th 2019年
アモルファスCr₂Ge₂Te₆相変化材料の電気伝導機構

畑山祥吾, 須藤祐司, 安藤大輔, 小池淳一, 小林啓介, 小林啓介

日本金属学会講演概要(CD-ROM) 164th 2019年
形状記憶合金-最近の材料開発と応用の発展(上)Mg合金におけるマルテンサイト変態と形状記憶特性

小川由希子, 須藤祐司, 安藤大輔, 小池淳一

金属 88(8) 2018年
MnTe薄膜の相変化に伴う物性変化

森竣祐, 須藤祐司, 安藤大輔, 小池淳一

日本金属学会講演概要(CD-ROM) 163rd 2018年
Mg-Sc合金のマルテンサイト変態および超弾性特性

山岸奎佑, 小川由希子, 安藤大輔, 須藤祐司, 小池淳一

日本金属学会講演概要(CD-ROM) 163rd 2018年
Al-Ca合金におけるAl₄Ca相のマルテンサイト変態及び機械的特性

冨田航平, 安藤大輔, 須藤祐司, 小池淳一

日本金属学会講演概要(CD-ROM) 163rd 2018年
先端半導体素子の高性能化・高信頼化を目指した配線材料および配線形成プロセスに関する研究

小池淳一, 小池淳一, 須藤祐司, 安藤大輔

日本金属学会講演概要(CD-ROM) 162nd 2018年
高抵抗Fe-Mn-Al-Cr-C合金の比抵抗および温度係数に及ぼすα/γ相分率の影響

飯塚将俊, 須藤祐司, 安藤大輔, 小池淳一, 石田清仁

日本金属学会講演概要(CD-ROM) 163rd 2018年
α-MnTe薄膜の光学および電気特性に及ぼす組成の影響

森竣祐, 須藤祐司, 安藤大輔, 小池淳一

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 65th 2018年
Cr₂Ge₂Te₆を用いた相変化メモリの動作特性

畑山祥吾, 須藤祐司, 安藤大輔, 小池淳一

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 65th 2018年
低抵抗アモルファス相と高抵抗結晶相を有するCr₂Ge₂Te₆を用いた相変化メモリ

畑山祥吾, 須藤祐司, 安藤大輔, 小池淳一

電子情報通信学会技術研究報告 118(241(SDM2018 52-63)) 2018年
逆抵抗変化Cr₂Ge₂Te₆相変化材料の結晶化メカニズム

畑山祥吾, 須藤祐司, 安藤大輔, 小池淳一, 齊藤雄太, 進藤怜史, 進藤怜史, SONG Yun-Heub

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th 2018年

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講演・口頭発表等

Possibility of Cu-Mn alloy for TFT gate electrode

International Display Workshop 2007 2007年12月5日
Deformaton and fracture mechanisms of Mg alloys

Asian Forum on Light Metals and Exhibition 2007年12月3日
Possibility and problems of self-forming barrier process for advanced LSI metallization

J. Koike, J. Iijima, K. Neishi

Advanced Metallization Conference 2007年10月9日
Role of twinning on deformation mechanisms of Mg alloys

2nd Asian Syposium on Magnesium Alloys 2007年10月1日
Role of twinning on deformation mechanisms of Mg alloys

J. Koike, D. Ando, Y. Sato, T. Miyamura

Workshop on advanced magnesium alloys and their applications 2007年8月1日
Self-forming barrier process as a key technology for future technoogy node

M. Haneda, J. Iijima, M. Wada, K. Neishi

Materials for Advanced Metallization 2007年3月4日
Impact of Mg alloys for structural application

International Symposium on Magnesium Technology in the Global Age 2006年10月1日
Cu合金配線を用いた45nm世代のバリア層自己形成プロセス

電気化学会半導体・集積回路技術第７０回シンポジウム 2006年7月6日
多層配線におけるバリア層の新展開

Semi Forum Japan 2006 2006年6月13日
Cu alloy metallization for self-forming barrier process

J. Iijima, M. Haneda, M. Wada

International Interconnect Technology Conference 2006年6月5日
Cu alloy metallization for self-forming barrier process

Materials Research Society Syposium 2006年4月17日
Cu microstcture impact on reliability

International Reliability Pysics Symposium 2006年3月26日
Cu/ILD界面バリア層の材料科学

応用物理学会 2006年3月
Deformation mechanisms and their grain-size dependence in magnesium alloys

Workshop on fine grained materials: opportunities and challenges 2005年11月
Self-forming barrier process with Mn addition in Cu metallization

Advanced metallization conference 2005年10月
Self-forming barrier with Cu alloy metallization and its effects on reliability

International workshop on stress-induced phenomenoa in metallization 2005年9月
Quantitative evaluation of interface adhesion strength in multilayer films by nanoscratch test

2005 MRS Spring Meeting 2005年4月
Texture-related reliability problems of Cu thin films for semiconductor applications

TMS Spring Meeting 2005年3月
Texture and grain-size dependence on deformation mechanisms in Mg alloys

Int. Conf. on Magnesium-Science, Technology and Applications 2004年9月20日
Role of twinning on the deformation and failure of hot-rolled AZ31 magnesium alloy

Int. Conf. on Magnesium-Science, Technology and Applications 2004年9月20日

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所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

パワーデバイス用における金属・SiC界面のコンタクト抵抗の改善と力学的高信頼化

その他の研究制度 2005年4月 - 現在
フレキシブルデバイス用のハイブリッド透明電極材料の開発

その他の研究制度 2003年4月 - 現在
フレキシブル回路の界面密着強度の評価および改善

その他の研究制度 2002年4月 - 現在
先端半導体用の高信頼性合金配線の開発

2000年4月 - 現在
ナノスケールにおける界面密着強度の評価

その他の研究制度 2000年4月 - 現在
マグネシウム合金の変形機構

その他の研究制度 2000年4月 - 現在
新規配線材料としての金属間化合物の基礎物性解明

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2021年4月 - 2025年3月

小池淳一
界面構造制御によるフェルミレベルピニングの開放

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2018年4月 - 2021年3月

小池淳一
BCC/HCP相変態を利用した超高強度かつ高機能性を有するMg-Sc合金の創製

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(A) 2015年4月 - 2018年3月

安藤大輔, 小池淳一, 須藤祐司, 小川由希子, 竹内悠太
次世代微細PCRAMに向けた相変化材料／電極間の接触界面抵抗に関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2015年4月 - 2018年3月

須藤祐司, 小池淳一, 安藤大輔, 小林啓介, 進藤怜史
ダイナミック・ナノリフロー法によるLSI超微細配線の形成と機構解明

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2015年4月 - 2018年3月

小池淳一, 安藤大輔, 須藤祐司
２ビット情報の記録可能な積層縦型構造多値記録相変化メモリ素子の創製

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究 2015年4月 - 2017年3月

須藤祐司, 安藤大輔, 小池淳一, 齊藤雄太, 進藤怜史
転位・双晶ハイブリッド型制振効果による広周波数域対応α+β二相Mg合金の創製

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究 2015年4月 - 2017年3月

安藤大輔, 小池淳一, 須藤祐司
優先酸化を利用した極小結晶相電流パス自己形成による相変化メモリのデータ書換高速化

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究 2013年4月 - 2015年3月

須藤祐司, 小池淳一, 安藤大輔
半導体多層配線のプロセス限界を超越する拡散バリア層の開発原理

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(S) 2010年4月 - 2015年3月

小池淳一, 須藤祐司, 根石浩司, 安藤大輔
不揮発性メモリ用Ｇｅ－Ｃｕ－Ｔｅ系相変化材料の研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2011年4月 - 2014年3月

須藤祐司, 小池淳一, 小林啓介
高精度衝撃変形応答解析に基づくマグネシウム合金のマイクロクラック形成機構解明

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2009年 - 2011年

向井敏司, 染川英俊, 小池淳一, シンアロック, 渡辺博行
電界促進効果による超薄膜拡散バリア層の形成機構

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2010年 - 2010年

小池淳一
マグネシウム合金の変形と破壊に及ぼす変形双晶の役割

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2006年 - 2008年

小池淳一, 根石浩司, 山崎仁丈, 山崎仁丈
ナノラメラ材料の限界強度の解明とその向上

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2003年 - 2004年

丸山公一, 小池淳一, 鈴木真由美

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その他

CuMn成膜技術の研究

2006年4月 - 2006年4月

CuMn成膜技術の研究
フレキシブルなセラミック積層フィルムの開発

2006年4月 - 2006年4月

フレキシブルなセラミック積層フィルムの開発
45nm世代IC多層配線におけるバリア層自己形成プロセスの開発

2004年4月 - 2004年4月

45nm世代IC多層配線におけるバリア層自己形成プロセスの開発
界面の物性評価

2004年4月 - 2004年4月

界面の物性評価
界面制御された高信頼性Cu合金配線の開発

2003年4月 - 2003年4月

界面制御された高信頼性Cu合金配線の開発

小池淳一

基本情報

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講演・口頭発表等

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