Mar 9, 2019
ALD法で作製した法で作製したTiOx/SiOx/結晶Siヘテロ界面のパッシベーョン効果発現メカニズム〜水素原子脱離の影響〜
第66回応用物理学会春季学術講演会
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- Event date
- Mar 9, 2019 - Mar 12, 2019
- Language
- English
- Presentation type
- Oral presentation (general)
- Venue
- 東京工業大学、東京