特許権
成膜システム及び成膜方法
住友重機械工業株式会社, 高知県公立大学法人 高知工科大学
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- 出願番号
- 特願2016-256300
- 出願日
- 2016年12月28日
- 公開番号
- 特開2018-109201
- 公開日
- 2018年7月12日
- 特許番号/登録番号
- 特許6779487
- 登録日
- 2020年10月16日
- 発行日
- 2020年11月4日
- 権利者
- 住友重機械工業株式会社/高知県公立大学法人 高知工科大学