特許権 成膜装置 住友重機械工業株式会社 北見尚久, 酒見俊之, 山本哲也, 野本淳一 出願番号 特願2015-143798(P2015-143798) 出願日 2015年7月21日 公開番号 特開2017-25407(P2017-25407A) 公開日 2017年2月21日
