特許権 高キャリア密度ｎ型ＺｎＯ薄膜及びその製造方法 住友化学株式会社 山本哲也, 牧野久雄, 中田邦彦 出願番号 特願2014-6297(P2014-6297) 出願日 2014年1月16日 公開番号 特開2015-135879(P2015-135879A) 公開日 2015年7月27日
