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2018年8月14日

Effects of the erosion zone of magnetron sputtering targets on the spatial distribution of structural and electrical properties of transparent conductive Al-doped ZnO polycrystalline films

Journal of Applied Physics
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  • Junichi Nomoto
    • ,
  • Hisao Makino
    • ,
  • Katsuhiko Inaba
    • ,
  • Shintaro Kobayashi
    • ,
  • Tetsuya Yamamoto
巻
124
号
6
開始ページ
065304
終了ページ
065304
記述言語
英語
掲載種別
研究論文（学術雑誌）
DOI
10.1063/1.5038162
出版者・発行元
AIP Publishing
リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1063/1.5038162
Web of Science
https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcAuth=JSTA_CEL&SrcApp=J_Gate_JST&DestLinkType=FullRecord&KeyUT=WOS:000441671600049&DestApp=WOS_CPL
URL
http://aip.scitation.org/doi/pdf/10.1063/1.5038162
ID情報
  • DOI : 10.1063/1.5038162
  • ISSN : 0021-8979
  • eISSN : 1089-7550
  • ORCIDのPut Code : 53883994
  • SCOPUS ID : 85051429331
  • Web of Science ID : WOS:000441671600049
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