特許権 窒化ガリウム結晶積層基板及びその製造方法 株式会社トクヤマ, 国立大学法人山口大学 古家 大士, 東 正信, 只友 一行, 岡田 成仁, 山根 啓輔 出願番号 特願2012-038503 出願日 2012年2月24日 公開番号 特開2013-173641 公開日 2013年9月5日 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201303043373966966URLhttp://jglobal.jst.go.jp/public/201303043373966966 ID情報 J-Global ID : 201303043373966966