山本雅史 (Masashi Yamamoto) - マイポータル

基本情報

Photoresist removal using hydrogen radicals produced by tantalum hot-wire catalyst

Masashi Yamamoto, Tomohiro Shiroi, Tomokazu Shikama, Shiro Nagaoka, Hideo Horibe

AIP Conference Proceedings 2151 2019年8月29日査読有り
Oxygen additive effects on decomposition rate of poly(vinyl phenol)-based polymers using hydrogen radicals produced by a tungsten hot-wire catalyst

Masashi Yamamoto, Shiro Nagaoka, Keisuke Ohdaira, Hironobu Umemoto, Hideo Horibe

Thin Solid Films 679 22 - 26 2019年6月1日査読有り
Relationship between oxygen additive amount and photoresist removal rate using h radicals generated on an iridium hot-wire catalyst

Masashi Yamamoto, Tomohiro Shiroi, Tomokazu Shikama, Shiro Nagaoka, Hironobu Umemoto, Hideo Horibe

Journal of Photopolymer Science and Technology 32(4) 609 - 614 2019年査読有り
Investigation of bulk laser damage and absorption of laser light in CsLiB6O10 crystals

T Kamimura, M Yamamoto, S Akamatsu, M Nishioka, M Yoshimura, Y Mori, T Sasaki, K Yoshida

LASER-INDUCED DAMAGE IN OPTICAL MATERIALS: 2003 5273 445 - 445 2003年査読有り

Fabrication of mesoscopic structure on PMMA surface by atomic hydrogen and evaluation of the surface functionality

Akari Matsuo, Seiji Takagi, Takashi Nishiyama, Masashi Yamamoto, Eriko Sato, Hideo Horibe

Journal of Photopolymer Science and Technology 31(3) 369 - 372 2018年査読有り
Removal of polymers for KrF and arf photoresist using hydrogen radicals containing a small amount of oxidizing radicals

Masashi Yamamoto, Tomohiro Taki, Takuto Sunada, Tomokazu Shikama, Shiro Nagaoka, Hironobu Umemoto, Hideo Horibe

Journal of Photopolymer Science and Technology 31(3) 419 - 424 2018年査読有り
原子状水素を用いたポリマー膜表面へのメゾスコピック構造形成と表面特性の評価

西山聖, 高木誠司, 佐藤絵理子, 堀邊英夫, 山本雅史, 緒方寿幸

高分子学会予稿集(CD-ROM) 66(2) ROMBUNNO.1Y12 2017年9月6日
水素ラジカルを用いたレジスト除去における除去速度の圧力依存性

城井智弘, 山本雅史, 長岡史郎, 鹿間共一, 梅本宏信, 大平圭介, 西山聖, 堀邊英夫

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 64th ROMBUNNO.14p‐316‐5 2017年3月1日
Photoresist Removal Using H Radicals Generated by Iridium Hot-Wire Catalyst

Masashi Yamamoto, Shiro Nagaoka, Hironobu Umemoto, Keisuke Ohdaira, Takashi Nishiyama, Hideo Horibe

International Journal of Polymer Science 2017 2017年査読有り

水素ラジカルによるポリマー材料の分解・除去における酸素微量添加効果の解明

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C)

山本雅史, 堀邊英夫, 長岡史郎
理科室で構築するナノテクプラットフォーム

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C)

長岡史郎, 堀邊英夫, 下川房男, 山本雅史, 清水共, JOHNSTON ROBERT, 鹿間共一, 鹿間共一
リチウムイオン二次電池電極材料の緩和解析

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B)

八尾健, 高井茂臣, 薮塚武史, 岡野寛, 遠藤友樹, 相馬岳, 山本雅史