小倉政彦 (Masahiko Ogura) - マイポータル

基本情報

所属: 国立研究開発法人産業技術総合研究所パワーエレクトロニクス研究センター　新機能材料／デバイスチーム主任研究員

J-GLOBAL ID: 200901097818553210
researchmap会員ID: 5000086382

外部リンク: http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=M47150721

研究キーワード

イオン注入，薄膜成長，ダイヤモンド，エレクトロニクス材料

研究分野

ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電気電子材料工学 /

論文

163

Suppression of on-resistance variability by buried source/drain structures in inversion type diamond MOSFETs

Kai Sato, Tsubasa Yoshimoto, Kimiyoshi Ichikawa, Kan Hayashi, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Daisuke Takeuchi, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki …

Diamond and Related Materials 113205-113205 2025年12月
Formation of diamond trenches with flat {111} sidewalls via thermochemical etching by Ni films in water vapor

Masatsugu Nagai, Tsubasa Matsumoto, Satoshi Yamasaki, Norio Tokuda, Moriyoshi Haruyama, Yukako Kato, Hironori Yoshioka, Hitoshi Umezawa, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura …

Applied Surface Science Advances 2025年12月
Heteroepitaxial (111) Diamond Quantum Sensors with Preferentially Aligned Nitrogen‐Vacancy Centers for an Electric Vehicle Battery Monitor

Kenichi Kajiyama, Moriyoshi Haruyama, Yuji Hatano, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Hitoshi Noguchi, Takeharu Sekiguchi, Takayuki Iwasaki, Mutsuko Hatano

Advanced Quantum Technologies 2025年4月
Fabrication of inversion channel diamond MOSFET with atomically step-free Al<inf>2</inf>O<inf>3</inf>/diamond interface

Kazuki Kobayashi, Kai Sato, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Tsubasa Matsumoto, Kimiyoshi Ichikawa, Kan Hayashi, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki …

Carbon 235 2025年3月10日
Control of impurity incorporation into CVD diamond synthesized with tert-butylphosphine for quantum applications

Riku Kawase, Hiroyuki Kawashima, Hiromitsu Kato, Norio Tokuda, Satoshi Yamasaki, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Naoya Morioka, Norikazu Mizuochi

Applied Physics Letters 126(7) 2025年2月17日
Atomic Observation on Diamond (001) Surfaces with Near-Contact Atomic Force Microscopy

Runnan Zhang, Yuuki Yasui, Masahiro Fukuda, Taisuke Ozaki, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Yoshiaki Sugimoto

Nano Letters 2025年1月8日
Impact of water vapor annealing treatments on Al2O3/diamond interface

Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Mitsuru Sometani, Masahiko Ogura, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Norio Tokuda

AIP Advances 2024年3月1日査読有り
Charge states of nitrogen-vacancy centers in Fermi level controlled diamond n-i-n junctions

M. Shimizu, T. Makino, H. Kato, M. Fujiwara, M. Ogura, N. Mizuochi, M. Hatano

Journal of Applied Physics 133(21) 2023年6月5日
Electroluminescence of negatively charged single NV centers in diamond

M. Haruyama, H. Kato, M. Ogura, Y. Kato, D. Takeuchi, S. Yamasaki, T. Iwasaki, H. Morishita, M. Fujiwara, N. Mizuochi …

Applied Physics Letters 122(7) 072101-072101 2023年2月13日
n-type diamond synthesized with tert-butylphosphine for long spin coherence times of perfectly aligned NV centers

Riku Kawase, Hiroyuki Kawashima, Hiromitsu Kato, Norio Tokuda, Satoshi Yamasaki, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Norikazu Mizuochi

Journal of Applied Physics 132(17) 174504-174504 2022年11月7日
Capacitance–voltage characterization of metal–insulator–semiconductor capacitors formed on wide-bandgap semiconductors with deep dopants such as diamond

Atsushi Hiraiwa, Satoshi Okubo, Masahiko Ogura, Yu Fu, Hiroshi Kawarada

Journal of Applied Physics 2022年9月28日
Fabrication of inversion p-channel MOSFET with a nitrogen-doped diamond body

Tsubasa Matsumoto, Tomoya Yamakawa, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Xufang Zhang, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Norio Tokuda

Applied Physics Letters 2021年12月13日
Distinguishing dislocation densities in intrinsic layers of pin diamond diodes using two photon-excited photoluminescence imaging

Tatsuya Honbu, Daisuke Takeuchi, Kimiyoshi Ichikawa, Shinya Ohmagari, Tokuyuki Teraji, Masahiko Ogura, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Ichiro Shoji

Diamond and Related Materials 117 108463-108463 2021年8月
Photoelectrical detection of nitrogen-vacancy centers by utilizing diamond lateral p–i–n diodes

T. Murooka, M. Shiigai, Y. Hironaka, T. Tsuji, B. Yang, T. M. Hoang, K. Suda, K. Mizuno, H. Kato, T. Makino …

Applied Physics Letters 118(25) 253502-253502 2021年6月21日
Study of ion-implanted-nitrogen related defects in diamond by transient photocapacitance spectroscopy

郭俊杰, 牧野俊晴, 山崎聡, 小倉政彦, Troare Aboulaye, Bin Abu Bakar Muhammad Hafiz, 櫻井岳暁

応用物理学会学術講演会講演予稿集 60(SB) 923-923 2021年5月
Diamond microfabrication by imprinting with nickel mold under high temperature

T. Tabakoya, M. Nagai, K. Sakauchi, Y. Nakamura, K. Kobayashi, H. Kato, Y. Kato, M. Ogura, D. Takeuchi, T. Makino …

Diamond and Related Materials 114 2021年4月
Carrier transport mechanism of diamond p(+)-n junction at low temperature using Schottky-pn junction structure

Ayumu Karasawa, Toshiharu Makino, Aboulaye Traore, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Yukako Kato, Daisuke Takeuchi, Satoshi Yamasaki, Takeaki Sakurai

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 60(3) 2021年3月
Inversion channel MOSFET on heteroepitaxially grown free-standing diamond

Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Yuta Nakano, Hitoshi Noguchi, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel …

Carbon 175 615-619 2021年
Vector Electrometry in a Wide-Gap-Semiconductor Device Using a Spin-Ensemble Quantum Sensor

Bang Yang, Takuya Murooka, Kosuke Mizuno, Kwangsoo Kim, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki, Marek E. Schmidt, Hiroshi Mizuta …

PHYSICAL REVIEW APPLIED 14(4) 2020年10月
Energy distribution of Al2O3/diamond interface states characterized by high temperature capacitance-voltage method

Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Ukyo Sakurai, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Satoshi Yamasaki, Mitsuru Sometani, Dai Okamoto, Hiroshi Yano, Noriyuki Iwamuro …

CARBON 168 659-664 2020年10月

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MISC

296

原子レベルで平坦な酸化膜/ダイヤモンド(111)界面をもつ反転層チャネルMOSFETの作製

小林和樹, 佐藤解, 加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴, 松本翼, 市川公善, 林寛, 猪熊孝夫, 山崎聡 …

New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム編 41(4) 34-36 2025年10月
清浄および水素終端ダイヤモンド(001)表面の原子像観察

安井勇気, ZHANG Runnan, 福田将大, 尾崎泰助, 小倉政彦, 牧野俊晴, 竹内大輔, 杉本宜昭

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 72nd 2025年
成長・ドーピング・表面・界面制御を駆使したステップフリーダイヤモンドMOSFETの作製

小林和樹, 佐藤解, 加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴, 松本翼, 市川公善, 林寛, 猪熊孝夫, 山崎聡 …

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 72nd 2025年
熱化学エッチングによるダイヤモンドトレンチ{111}平坦側面の形成

長井雅嗣, 松本翼, 山崎聡, 徳田規夫, 春山盛善, 加藤有香子, 吉岡裕典, 梅沢仁, 加藤宙光, 小倉政彦 …

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 72nd 2025年
発光中心の量子特性向上に向けたリンドープダイヤモンドの内部応力評価

中川大夢, 川瀬凜久, 川島宏幸, 森岡直也, 森岡直也, 加藤宙光, 徳田規夫, 山崎聡, 小倉政彦, 牧野俊晴 …

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 72nd 2025年
大型単結晶ダイヤモンド基板研磨—加工特集

山口馨, 加藤有香子, 牧野俊晴, 小倉政彦

New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム編 40(4) 5-9 2024年10月
ダイヤモンド(001)表面におけるアドダイマー構造の原子間力顕微鏡観察

安井勇気, ZHANG Runnan, 福田将大, 尾崎泰助, 小倉政彦, 牧野俊晴, 竹内大輔, 杉本宜昭

日本物理学会講演概要集(CD-ROM) 79(2) 2024年
非接触原子間力顕微鏡によるダイヤモンド(001)表面の原子像観察

安井勇気, ZHANG Runnan, 福田将大, 尾崎泰助, 小倉政彦, 牧野俊晴, 竹内大輔, 杉本宜昭

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 71st 2024年
原子的に平坦なAl₂O₃/ダイヤモンド(111)界面を持つp型反転層MOSFETの作製

小林和樹, 佐藤解, 加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴, 松本翼, 市川公善, 林寛, 猪熊孝夫, 山崎聡 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 85th 2024年
表面伝導型ダイヤモンド電界トランジスタの歩留まり向上に向けたデバイスパラメータの解析

桝村匡史, 金子純一, 金子純一, 梅沢仁, 梅沢仁, 奥野朝陽, 川島宏幸, 牧野俊晴, 小倉政彦, 高橋正樹 …

日本原子力学会北海道支部研究発表会・プラズマ・核融合学会北海道地区研究連絡会研究会講演予稿集(CD-ROM) 41st-27th 2024年
ダイヤモンド中のNV⁻センタの電気的励起発光—150号記念号

春山盛善, 加藤宙光, 小倉政彦, 加藤有香子, 竹内大輔, 山崎聡, 岩崎孝之, 森下弘樹, 藤原正規, 水落憲和 …

New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム編 39(3) 19-24 2023年7月
TBPによる(111)面リンドープn型ダイヤモンド膜のホール移動度

川島宏幸, 川瀬凜久, 加藤宙光, 徳田規夫, 山崎聡, 小倉政彦, 牧野俊晴, 森岡直也, 森岡直也, 水落憲和 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 84th 2023年
ダイヤモンド半導体の光電子放出機構とキャリア拡散長評価

塚本涼太, 塚本涼太, 山川翔也, 山川翔也, 加藤宙光, 加藤有香子, 小倉政彦, 長井雅嗣, 牧野俊晴, 竹内大輔 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 84th 2023年
NVセンターを有するCVDダイヤモンド膜中の応力分布観察

加藤有香子, 春山盛善, 加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
表面終端処理,酸化膜堆積の連続プロセスによるダイヤモンドMOSFETのヒステリシス低減

佐藤解, 市川公善, 林寛, 小倉政彦, 牧野俊晴, 加藤宙光, 竹内大輔, 猪熊孝夫, 山崎聡, 徳田規夫 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
MOS構造を用いたダイヤモンドNVセンターの電荷状態制御

HAN J., HAN J., 春山盛善, 加藤宙光, 小倉政彦, 加藤有香子, 牧野俊晴, 牧野俊晴

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
リンドープn形ダイヤモンドへのホウ素イオン注入によるp形伝導層の形成

小倉政彦, 西村智朗, 加藤宙光, 竹内大輔, 山崎聡, 牧野俊晴

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
ダイヤモンドMOSFETにおけるドリフト抵抗フリー構造の提案

松本翼, 佐藤解, 中村勇斗, ABOULAYE Traore, 牧野俊晴, 加藤宙光, 小倉政彦, 市川公善, 林寛, 猪熊孝夫 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
不純物制御したダイヤモンド中のNV中心コヒーレンス時間長時間化

川瀬凜久, 川島宏幸, 加藤宙光, 徳田規夫, 山崎聡, 小倉政彦, 牧野俊晴, 水落憲和, 水落憲和

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
Electrical characterization of Al₂O₃/diamond MOS interface under various wet-annealing times

Zhang Xufang, Matsumoto Tsubasa, Sometani Mitsuru, Ogura Masahiko, Makino Toshiharu, Takeuchi Daisuke, Nebel Christoph.E, Inokuma Takao, Yamasaki Satoshi, Tokuda Norio

JSAP Annual Meetings Extended Abstracts 2022.2 1395-1395 2022年8月26日

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所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

ダイヤモンドパワーデバイス実現に向けた高品質な接合のためのイオン注入に関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2025年4月 - 2030年3月

小倉政彦, 西村智朗
ダイヤモンドパワーデバイス実現に向けたイオン注入プロセスに関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2024年4月 - 2025年3月

小倉政彦, 西村智朗
ダイヤモンドパワーデバイス実現に向けたイオン注入プロセスに関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2020年4月 - 2024年3月

小倉政彦, 西村智朗

産業財産権

特開2025-076971 ダイヤモンド基板及びその製造方法並びにセンサー

野口仁, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 春山盛善, 梶山健一, 貝沼雄太, 波多野雄治, 岩崎孝之, 波多野睦子
特許第7634207号ダイヤモンド基板

野口仁, 白井省三, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 川島宏幸, 桑原大輔, 山崎聡, 竹内大輔, 徳田規夫, 猪熊孝夫, 松本翼
特開2024-136318 半導体装置

松本翼, 徳田規夫, 猪熊孝夫, 山崎聡, 加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴
特許第7486729号半導体装置

加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴, 山崎聡, 松本翼, 徳田規夫, 猪熊孝夫
特許第7420763号ダイヤモンド電子素子及びダイヤモンド電子素子の製造方法

野口仁, 白井省三, 山崎聡, 竹内大輔, 小倉政彦, 牧野俊晴, 加藤宙光, 松本翼, 川島宏幸
特許第7298832号ダイヤモンド製膜用下地基板及びそれを用いたダイヤモンド基板の製造方法

野口仁, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 川島宏幸, 山崎聡, 徳田規夫
特許第7226722号ダイヤモンド基板

野口仁, 白井省三, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 川島宏幸, 桑原大輔, 山崎聡, 竹内大輔, 徳田規夫, 猪熊孝夫, 松本翼
特開2022-191959 ダイヤモンド基板及びその製造方法

野口仁, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光
特開2022-171727 ダイヤモンド基板

野口仁, 白井省三, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 川島宏幸, 桑原大輔, 山崎聡, 竹内大輔, 徳田規夫, 猪熊孝夫, 松本翼
特開2022-109306 ダイヤモンド製膜用下地基板及びそれを用いたダイヤモンド基板の製造方法

野口仁, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 川島宏幸, 山崎聡, 徳田規夫
特許第7078947号ダイヤモンド製膜用下地基板及びそれを用いたダイヤモンド基板の製造方法

野口仁, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 川島宏幸, 山崎聡, 徳田規夫
特許第7017299号ダイヤモンド電子素子及びダイヤモンド電子素子の製造方法

野口仁, 白井省三, 山崎聡, 竹内大輔, 小倉政彦, 牧野俊晴, 加藤宙光, 松本翼, 川島宏幸
特開2021-193067 ダイヤモンド基板

野口仁, 白井省三, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 川島宏幸, 桑原大輔, 山崎聡, 竹内大輔, 徳田規夫, 猪熊孝夫, 松本翼
特開2021-166293 ダイヤモンド電子素子及びダイヤモンド電子素子の製造方法

野口仁, 白井省三, 山崎聡, 竹内大輔, 小倉政彦, 牧野俊晴, 加藤宙光, 松本翼, 川島宏幸
特許第6717470号ダイヤモンド半導体装置及びその製造方法

加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴, 竹内大輔, 山崎聡, 小山和博, 松本翼, 徳田規夫, 猪熊孝夫
特開2020-073447 ダイヤモンド基板及びダイヤモンド自立基板

野口仁, 白井省三, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 川島宏幸, 桑原大輔, 山崎聡, 竹内大輔, 徳田規夫, 猪熊孝夫, 松本翼
特許第6699015号ダイヤモンド基板の製造方法

野口仁, 白井省三, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 川島宏幸, 桑原大輔, 山崎聡, 竹内大輔, 徳田規夫, 猪熊孝夫, 松本翼
特許第6679022号ダイヤモンド基板の製造方法

野口仁, 白井省三, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 川島宏幸, 桑原大輔, 山崎聡, 竹内大輔, 徳田規夫, 猪熊孝夫, 松本翼
特開2018-127367 ダイヤモンド製膜用下地基板及びそれを用いたダイヤモンド基板の製造方法

野口仁, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 川島宏幸, 山崎聡, 徳田規夫
特開2018-006572 ダイヤモンド半導体装置及びその製造方法

加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴, 竹内大輔, 山崎聡, 小山和博, 松本翼, 徳田規夫, 猪熊孝夫

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