MISC

2018年1月

単結晶Siのイオン損傷の動的アニーリング

日本物理学会講演概要集

南川英輝
中西俊輔
間嶋拓也
今井誠
斉藤学
土田秀次

巻: 73
号
開始ページ: 641
終了ページ: 641
記述言語: 日本語
掲載種別
DOI: 10.11316/jpsgaiyo.73.1.0_641
出版者・発行元: 一般社団法人日本物理学会

リンク情報

DOI: https://doi.org/10.11316/jpsgaiyo.73.1.0_641
CiNii Articles: http://ci.nii.ac.jp/naid/130007648736
URL: https://ci.nii.ac.jp/naid/130007648736/

ID情報

DOI : 10.11316/jpsgaiyo.73.1.0_641
CiNii Articles ID : 130007648736

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