小山政俊 (Masatoshi Koyama) - マイポータル

基本情報

所属: 大阪工業大学工学部電気電子システム工学科准教授

研究者番号: 30758636
ORCID iD: https://orcid.org/0000-0001-5887-6652
J-GLOBAL ID: 202401011159179629
researchmap会員ID: R000078695

研究キーワード

研究分野

経歴

2021年4月 - 現在

大阪工業大学, 工学部電気電子システム工学科, 准教授
2019年4月 - 2021年3月

大阪工業大学, 工学部電気電子システム工学科, 講師
2019年8月 - 2020年3月

スイス連邦工科大学チューリッヒ校（ETH Zürich）, 客員研究員
2017年4月 - 2019年3月

大阪工業大学, 工学部電気電子システム工学科, 特任講師
2015年4月 - 2017年4月

大阪工業大学, 工学部ナノ材料マイクロデバイス研究センター, 特任講師
2009年4月 - 2015年3月

ユーディナデバイス株式会社（現・住友電工デバイス・イノベーション株式会社）, 電子デバイス事業部プロセス開発部／住友電気工業株式会社伝送デバイス研究所

学歴

2006年4月 - 2009年3月

大阪工業大学大学院, 大学院工学研究科, 電気電子工学専攻博士後期課程
2004年4月 - 2006年3月

大阪工業大学大学院, 大学院工学研究科, 電気電子工学専攻博士前期課程
2000年3月 - 2004年3月

大阪工業大学, 工学部, 電気電子システム工学科

委員歴

論文

Fabrication and Characterization of Amorphous GaOx Thin-Film UV-C Photodetectors on Quartz Glass Substrates

Masatoshi Koyama, Shunsuke Enoki, Iori Yamasaki, Misaki Nishikawa, Akihiko Fujii, Toshihiko Maemoto

IEICE Trans. Electronics E109-C(9) 2026年9月査読有り筆頭著者責任著者
Amorphous GaOx Thin Film-Based Optoelectronic Artificial Synapses Towards Physical Reservoir Computing

Takanashi, Manami Miyazaki, Iori Yamasaki, Hiroaki Komatsu, Toshiya Konoue, Masatoshi Koyama, Takashi Ikuno

Electronic Materials 7(2) 12 2026年6月査読有り
High-Mobility Indium Gallium Oxide TFTs Fabricated from an Aqueous Precursor with Excimer-Light Activation

Kazuki Ueda, Hideya Ochiai, Ryunosuke Ohtani, Akira Fujimoto, Hideo Wada, Masatoshi Koyama, Akihiko Fujii, Akihiro Shimizu, Toshihiko Maemoto

Journal of the Society for Information Display 2026年5月査読有り
Effect of Cationic Polymer Addition on the Tribological Performance of Electroplated Ag Coatings

Satoshi Takamatsu, Shoei Mizuhashi, Masatsohi Koyama, Yuichiro Shindo

CS MANTECH Digest of papers 2026年5月査読有り
Adverse Effects of Ta Addition in Au Deposition and Their Solutions

Yudai Inagaki, Taichi Ito, Yuichiro Shindo, Takanobu Yamazaki, Masatoshi Koyama, Koji Noguchi

CS MANTECH Digest of Papers 2026年5月査読有り
Uniaxial orientation study on donor-acceptor π-conjugated polymer by separated process of bar-coating and evaporation-site-controlled annealing

Seiji Iwai, Sadahito Uto, Masatoshi Koyama, Toshihiko Maemoto, Akihiko Fujii

Japanese Journal of Applied Physics 2026年2月25日査読有り
Fabrication and Characterization of Top-Gate In-Ga-O Thin-Film Transistors Using Aqueous Precursor Solutions and Excimer Light Irradiation

Ochiai Hideya, Ueda Kazuki, Nomura Takuya, Fujimoto Akira, Wada Hideo, Koyama Masatoshi, Fujii Akihiko, Shimizu Akihiro, Takezoe Noritaka, Ito Hiroyasu …

Proceedings of the International Display Workshops 314-316 2025年12月査読有り
溶液塗布熱分解法による(GaIn)₂O₃薄膜の作製とソーラーブラインドUVセンサーへの応用

堀部彰人, 山崎伊織, 中野有貴, 鶴山大翔, 廣芝伸哉, 小山政俊, 小池一歩

電気学会研究会資料 EFM 2025(7-27):2025.11.25・26 53-56 2025年11月査読有り
ミストCVD法で成長した非晶質 Ga2O3 薄膜のアニール処理による結晶構造と紫外線応答特性への影響

小山政俊, 宮嵜愛美, 山崎伊織, 田中悠馬, 西川未咲, 小池一歩, 藤井彰彦, 前元利彦

材料 74(11) 674-680 2025年10月査読有り筆頭著者責任著者
Fabrication and Characterization of -Phase (Ga1−xInx)2O3 Alloyed Films on C-Plane Sapphire Substrates by Chemical Solution Deposition for Application in Visible-Blind UV Photodetectors

Kazuto KOIKE, Akito HORIBE, Yoshifumi TANIGUCHI, Manami MIYAZAKI, Iori YAMASAKI, Hiroto TSURUYAMA, Masatoshi KOYAMA, Nobuya HIROSHIBA

J. Soc. Mater. Sci, Jpn. 75(2) 151-157 2025年10月査読有り
Electron-Beam Deposition with Low Spitting Silver Source Material Improved by New Impurity Removal Processes

Y. Fujimoto, T. Kobayashi, M. Koyama, Y. Shindo

CS MANTECH Digest of Papers 12.16 2025年5月査読有り
Heat Resistance Improvement of Palladium Pre Plated Frames of Semiconductor Packaging with a New Additive for Nickel Plating

S. Sekiguchi, S. Mizuhashi, Y. Sato, M. Koyama, Y. Shindo

CS MANTECH Digest of Papers 4B.3 2025年5月査読有り
Electron-beam Deposition with Low Spitting Platinum Source Material Improved by New Impurity Removal Processes

Atsushi Kawashimo, Takahiro Kobayashi, Masatoshi Koyama, Yuichiro Shindo

CS MANTECH Digest of papers 2024年5月査読有り
Characterization of the VO<inf>2</inf> thin films grown on glass substrates by MOD

Hideo Wada, Taito Fukawa, Kazuaki Toyota, Masatoshi Koyama, Nobuya Hiroshiba, Kazuto Koike

Electronics and Communications in Japan 106(3) 2023年9月査読有り
Characterization of the VO2 Thin Films Grown on Glass Substrates by MOD

Hideo Wada, Taito Fukawa, Kazuaki Toyota, Masatoshi Koyama, Nobuya Hiroshiba, Kazuto Koike

IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials 143(2) 54-62 2023年査読有り
Fabrication and characterization of low barrier height InAs/Ga<inf>x</inf>In<inf>1-x</inf>As/InAs heterostructure diodes toward millimeter-wave detection

Moto Inoue, Masatoshi Koyama, Toshihiko Maemoto, Shigehiko Sasa

International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, IRMMW-THz 2023年査読有り責任著者
Decay time extension of terahertz electromagnetic waves emitted from coherent longitudinal optical phonons in GaAs epitaxial layers with the use of fast atom bombardment

1(10) 2212-2218 2022年10月15日査読有り
Repeated bending durability evaluation of ZnO and Al-doped ZnO thin films grown on cyclo-olefin polymer for flexible oxide device applications

Kazuyori Oura, Toshihiro Kumatani, Hideo Wada, Masatoshi Koyama, Toshihiko Maemoto, Shigehiko Sasa

Japanese Journal of Applied Physics 61(10) 2022年10月1日査読有り
溶液プロセスを用いた酸化インジウム薄膜のエキシマ光による低温形成と薄膜トランジスタの特性評価

65(3) 139-144 2022年3月10日査読有り
Improved electrical performance of solution-processed zinc oxide-based thin-film transistors with bilayer structures

Kazuyori Oura, Hideo Wada, Masatoshi Koyama, Toshihiko Maemoto, Shigehiko Sasa

Journal of Information Display 23(1) 105-113 2022年査読有り

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MISC

119

κ-Ga2O3 薄膜を用いた GaN HEMT における 2DEG 濃度変調の検討

西川未咲, 土居晃, 小山政俊, 藤井彰彦, 前元利彦, 牧山剛三, 中田健

第73回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集 2026年3月責任著者
Au蒸着におけるTa添加の悪影響とその解決策

稲垣雄大, 伊藤汰一, 山崎貴暢, 小山政俊, 野口浩二

第73回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集 2026年3月
合成石英基板上にミストCVD成長した酸化ガリウム薄膜における結晶構造と光学特性の成長温度依存性

榎駿介, 山崎伊織, 西川未咲, 小山政俊, 小池一歩, 藤井彰彦, 前元利彦

第73回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集 2026年3月責任著者
CSD法およびミストCVD法で成膜したGaOx薄膜の物性と紫外線応答特性の評価

中野有貴, 山崎伊織, 堀部彰人, 小山政俊, 小池一歩, 藤井彰彦, 前元利彦

第73回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集 2026年3月責任著者
塗布／乾燥プロセス分離によるD‐A型π共役高分子の配向メカニズムの検討Ⅱ

岩井誠至, 宇戸禎仁, 小山政俊, 前元利彦, 藤井彰彦

第73回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集 2026年3月
ヨウ化鉛メチルアンモニウムのバーコート製膜における膜厚制御と太陽電池特性

堀江真沙綺, 小山政俊, 前元利彦, 藤井彰彦

第73回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集 2026年3月
真空紫外エキシマ光溶液プロセスにおける雰囲気制御が In2O3薄膜トランジスタの伝達特性に及ぼす影響

上田一輝, 落合秀哉, 野村卓矢, 藤元章, 和田英男, 小山政俊, 藤井彰彦, 清水昭宏, 前元利彦

第73回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集 2026年3月
172 nmエキシマ光照射雰囲気がGaAs表面およびAu/GaAsショットキーバリアダイオードの整流特性に与える影響

門田陽登, 上田一輝, 野村卓矢, 長谷川尊之, 和田英男, 小山政俊, 藤井彰彦, 清水昭宏, 前元利彦

第73回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集 2026年3月
Fabrication of (Ga1-xInx)2O3 alloy films on a c-plane sapphire substrate by chemical solution deposition and their application to solar-blind ultra-violet photodetectors

Akito Horibe, Hiroto Tsuruyama, Iori Yamasaki, Shunsuke Enoki, Nobuya Hiroshiba, Masatoshi Koyama, Kazuto Koike

Materials Research Meeting 2025年12月
Characterization of MIM Diodes Fabricated Using ZnO for Rectenna Applications

Haruto Monda, Kensuke Nakata, Naoki Takada, Hideo Wada, Masatoshi Koyama, Akihiko Fujii, Toshihiko Maemoto

Materials Research Meeting 2025年12月
Characterization of Indium Oxide TFTs Fabricated by Aqueous Solution Processing and Excimer Light Irradiation

Kazuki Ueda, Ryosuke Kasahara, Hideya Ochiai, Akira Fujimoto, Hideo Wada, Masatoshi Koyama, Akihiko Fujii, Akihiro Shimizu, Noritaka Takezoe, Hiroyasu Ito …

Materials Research Meeting 2025年12月
Low-Temperature Processed AlOx/ZnO Multilayer Oxide TFTs for OLED Pixel Driving Applications

Naoki Takada, Kensuke Nakata, Kaiko Yuge, Akira Fujimoto, Hideo Wada, Masatoshi Koyama, Akihiko Fujii, Toshihiko Maemoto

Materials Research Meeting 2025 2025年12月
非晶質 GaOx 薄膜光検出器における深紫外線応答特性の基板による影響

榎駿介, 山崎伊織, 西川未咲, 小山政俊, 小池一歩, 藤井彰彦, 前元利彦

2025年度応用物理学会関西支部第２回講演会 2025年11月責任著者
Oxide MIM Diodes with ZnO/AlOx Bilayer for High-Frequency Rectenna Applications

Haruto Monda, Kensuke Nakata, Naoki Takada, Hideo Wada, Masatoshi Koyama, Akihiko Fujii, Toshihiko Maemoto

The 2025 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai 2025年11月
High-Mobility In2O3 and InGaO TFTs Using Aqueous Precursor Solutions and Excimer Light Irradiation Process

Hideya Ochiai, Kazuki Ueda, Takuya Nomura, Akira Fujimoto, Hideo Wada, Masatoshi Koyama, Akihiko Fujii, Toshihiko Maemoto, Akihiro Shimizu, Noritaka Takezoe …

The 2025 International Meeting for Future of Electron Devices, Kansai 2025年11月査読有り
(111) 3C-SiC/Si テンプレート上 orthorhombic 構造 Ga2O3 系混晶薄膜の結晶成長

土居晃, 西川未咲, 田中悠馬, 小山政俊, 藤井彰彦, 前元利彦

2025年度電気学会関西支部若手研究発表会 2025年11月責任著者
酸化ガリウム薄膜における赤外吸収特性の成膜温度および成膜後アニール温度依存性

山崎伊織, 榎駿介, 西川未咲, 中野有貴, 小山政俊, 小池一歩, 藤井彰彦, 前元利彦

2025年電子情報通信学会関西支部若手研究発表会 2025年11月責任著者
AlOx/ZnO MIM Diodes for Transparent Rectenna Applications

Haruto Monda, Kensuke Nakata, Naoki Takada, Hideo Wada, Masatoshi Koyama, Akihiko Fujii, Toshihiko Maemoto

International Conference on Hybrid Quantum Systems and Nanotechnologies 2025()HQSN2025 / International Workshop on Hybrid Quantum Materials, Sciences, and Technologies 2025(HQMST2025) 2025年10月査読有り
Characterization of Indium Oxide TFTs Fabricated from an Aqueous Precursor with 172-nm Excimer-Light Activation

Kazuki Ueda, Ryosuke Kasahara, Hideya Ochiai, Takuya Nomura, Akira Fujimoto, Hideo Wada, Masatoshi Koyama, Akihiko Fujii, Akihiro Shimizu, Noritaka Takezoe …

International Conference on Hybrid Quantum Systems and Nanotechnologies 2025()HQSN2025 / International Workshop on Hybrid Quantum Materials, Sciences, and Technologies 2025(HQMST2025) 2025年10月査読有り
10,000-Cycle Bending Durability of ZnO Thin-Films on Flexible Polymer Substrates for Flexible Oxide Devices

Toshihiko Maemoto, Kazuyori Oura, Kensuke Nakata, Naoki Takada, Hideo Wada, Masatoshi Koyama, Akihiko Fujii

International Conference on Hybrid Quantum Systems and Nanotechnologies 2025()HQSN2025 / International Workshop on Hybrid Quantum Materials, Sciences, and Technologies 2025(HQMST2025) 2025年10月

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担当経験のある科目(授業)

所属学協会

2025年8月 - 現在

European Materials Reserach Society
2023年12月 - 現在

電気学会
2020年8月 - 現在

The Electrochemical Society
2018年7月 - 現在

電子情報通信学会
2015年8月 - 現在

日本材料学会
2007年2月 - 現在

American Physical Society
2006年1月 - 現在

IEEE
2004年12月 - 現在

応用物理学会

共同研究・競争的資金等の研究課題

モノリシック3次元集積回路に向けた高移動度・高信頼性酸化物薄膜トランジスタの開発

日本学術振興会日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2026年4月 - 2029年3月

前元利彦, 小山政俊
深紫外線光検出器を目指した化学溶液堆積法によるGa2O3薄膜の構造的・光学的特性

公益財団法人徳山科学技術振興財団国際交流助成国際交流助成 2026年6月 - 2027年5月
大気圧プロセスによるGa2O3 薄膜を用いた波長選択型紫外線センサの開発とリモートセンシング応用

一般財団法人リモート・センシング技術センター RESTEC研究助成 2026年7月 - 2027年3月
カーボンニュートラルを目指した次世代パワーデバイス応用に向けた酸化ガリウム高電子移動度トランジスタのための結晶成長技術に関する研究

公益財団法人増屋記念基礎研究振興財団研究助成 2025年4月 - 2026年3月
高電子移動度トランジスタ応用を目指した高熱伝導率基板上への酸化ガリウム薄膜の結晶成長技術に関する研究

公益財団法人天野工業技術研究所研究助成 2024年4月 - 2025年3月
シリコン基板を用いた「酸化ガリウム高電子移動度トランジスタ」の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2021年4月 - 2024年3月

小山政俊
腎機能低下の早期発見に役立つ「絹フィブロインを用いたバイオセンサー」の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2020年4月 - 2024年3月

小池一歩, 小山政俊
ヘテロ接合を利用した高強度テラヘルツパルス光源の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2019年4月 - 2022年3月

佐々誠彦, 小山政俊
InAs系複合構造を用いた室温動作テラヘルツ波検出器の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 2017年4月 - 2021年3月

小山政俊
集積型ヘルスケアチップ実現に向けた溶液ゲートタイプのグルコースセンサーの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2017年4月 - 2020年3月

小池一歩, 小山政俊
高品質InAs薄膜を利用した高強度テラヘルツパルス光源の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2016年4月 - 2019年3月

佐々誠彦, 小山政俊

産業財産権

特許第6641876号半導体装置の製造方法

小山政俊
特許第6627408号半導体装置及び半導体装置の製造方法

小山政俊
特開2017-079282 半導体装置の製造方法

小山政俊
特開2017-079287 半導体装置及び半導体装置の製造方法

小山政俊
特開2017-079288 半導体装置の製造方法及び半導体装置

小山政俊
特許第5991609号半導体装置の製造方法

松浦一暁, 小山政俊, 駒谷務
特許第5714250号半導体装置の製造方法

小山政俊
特開2013-182951 半導体装置の製造方法

松浦一暁, 小山政俊, 駒谷務
特開2013-105898 半導体装置の製造方法

小山政俊, 松浦一暁, 駒谷務
特開2012-023213 半導体装置の製造方法

小山政俊

小山政俊

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研究キーワード

研究分野

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学歴

委員歴

論文

MISC

担当経験のある科目(授業)

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

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