安田雅昭 (Masaaki Yasuda) - マイポータル

基本情報

所属: 大阪公立大学大学院工学研究科電子・数物系専攻電子物理工学分野准教授

学位: 博士(工学)(大阪府立大学)

J-GLOBAL ID: 200901069901570726
researchmap会員ID: 1000186512

研究キーワード

研究分野

学歴

委員歴

2023年1月 - 現在

日本顕微鏡学会, Microscopy誌編集委員
2021年4月 - 現在

応用物理学会ナノ荷電粒子ビーム産学連携委員会, 学界幹事
2013年4月 - 現在

日本顕微鏡学会, SEMの物理学分科会幹事
2007年9月 - 現在

センシング技術応用研究会, 幹事
2018年4月 - 2021年3月

日本学術振興会, 荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会委員
2010年2月 - 2014年1月

応用物理学会, 代議員
2006年6月 - 2008年5月

電気学会, 高分子材料と放射線の相互作用評価技術調査専門委員会委員
2005年4月 - 2007年3月

応用物理学会, 関西支部庶務幹事

論文

145

Molecular dynamics simulation of the early stage of the development process of negative-type non-chemically amplified resist in electron-beam lithography

R. Tanaka, K. Yamada, K. Tada, H. Wakamatsu, M. Yasuda

Journal of Vacuum Science and Technology B 43(4) 042601-1-042601-8 2025年7月査読有り最終著者責任著者
Novel approach for KrF chemically amplified resist optimization assisted by deep learning

C. Tang, T. Tanaka, A. Sekiguchi, Y. Hirai, M. Yasuda

Journal of Vacuum Science and Technology B 42(6) 062606-1-062606-8 2024年12月査読有り最終著者責任著者
Molecular Dynamics Simulation of Pattern Formation for Negative-Type Resists in Electron Beam Lithography

Kaito Yamada, Yoshihiko Hirai, Masaaki Yasuda

Journal of Photopolymer Science and Technology 37(1) 75-79 2024年5月31日査読有り責任著者
Stochastic Simulation Study of Pattern Formation in EUV resists with Photo-Decomposable Quenchers

Kyohei Imai, Bunta Inoue, Yoshihiko Hirai, Masaaki Yasuda

Journal of Photopolymer Science and Technology 37(1) 109-114 2024年5月31日査読有り責任著者
The Development of Bile Duct Stent Having Antifouling Properties by Using Atmosphere Pressure Cold Plasma (2)

A. Sekiguchi, M. Yamamoto, M. Aikawa, M. Yasuda, Y. Hirai

Journal of Photopolymer Science and Technology 37(4) 371-378 2024年査読有り
Developing a Laparoscope Lens with Super Water-Repellent Antifouling Function using Biomimetic Materials

Atsushi Sekiguchi, Hiroko Minami, Masaaki Yasuda, Yoshihiko Hirai

Journal of Photopolymer Science and Technology 36(3) 173-182 2023年6月15日査読有り
Prediction of secondary electron yield for metal materials using deep learning

Masahiro Kusumi, Bunta Inoue, Yoshihiko Hirai, Masaaki Yasuda

Microscopy 73(1) 31-36 2023年6月10日査読有り責任著者
Surface property control for 193 nm immersion resist by addition of Si compound

Chen Tang, Atsushi Sekiguchi, Yosuke Ohta, Yoshihiko Hirai, Masaaki Yasuda

Journal of Vacuum Science & Technology B 41(1) 012602 2023年1月1日査読有り最終著者責任著者
Smart Systems for Material and Process Designing in Direct Nanoimprint Lithography Using Hybrid Deep Learning

Yoshihiko Hirai, Sou Tsukamoto, Hidekatsu Tanabe, Kai Kameyama, Hiroaki Kawata, Masaaki Yasuda

Nanomaterials 12(15) 2571-2571 2022年7月27日査読有り最終著者
Automatic design of the build-in lens mask for three-dimensional photo lithography

Tomoaki Osumi, Masaru Sasago, Masaaki Yasuda, Yoshihiko Hirai

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering 11908 2021年
Stochastic Simulation of Development Process in Electron Beam Lithography

Bunta Inoue, Masanori Koyama, Atsushi Sekiguchi, Masamitsu Shirai, Yoshihiko Hirai, Masaaki Yasuda

Journal of Photopolymer Science and Technology 34(6) 661-665 2021年査読有り最終著者責任著者
Effects of acid diffusion and resist molecular size on line edge roughness for chemically amplified resists in EUV lithography: computational study

M. Koyama, K. Imai, M. Shirai, Y. Hirai, M. Yasuda

Jpn. J. Appl. Phys. 60 106505 2021年査読有り最終著者責任著者
Proposal of Hybrid Deep Learning System for Process and Material Design in Thermal Nanoimprint Lithography

S. Tsukamoto, H. Tanabe, R. Yamamura, K. Kameyama, H. Kawata, M. Yasuda, Y. Hirai

J. Photopolym. Sci. Technol. 34(2) 145-148 2021年査読有り
Computational Lithography for 3-Dimensional Fine Photolithography using Sophisticated Built-in Lens Mask

T. Osumi, A. Misaka, K. Sato, M. Yasuda, M. Sasago, Y. Hirai

J. Photopolym. Sci. Technol. 34(2) 123-126 2021年査読有り
Fabrication of nickel plasma etching mask by nano-imprint lithography and electroless plating

Shingo Shimizu, Hideki Tanabe, Masaaki Yasuda, Yoshihiko Hirai, Hiroaki Kawata

Journal of Photopolymer Science and Technology 33(5) 551-556 2020年
Stochastic Simulation of Pattern Formation for Negative-Type Chemically Amplified Resists in Extreme Ultraviolet Lithography

M. Yasuda, M. Koyama, K. Imai, M. Shirai, H. Kawata, Y. Hirai

J. Photopolym. Sci. Technol. 33 53-56 2020年査読有り筆頭著者
Computational Study of Pattern Formation for Chemically Amplified Resists in Extreme Ultraviolet Lithography

M. Yasuda, M. Koyama, K. Fukunari, M. Shirai, H. Kawata, Y. Hirai

J. Photopolym. Sci. Technol. 32 339-343 2019年査読有り
Fabrication of Self-Standing Polystyrene Thin Films with Fine Through Holes by Use of Water Soluble Resin Sacrificial Layer

H. Kawata, K. Uchida, M. Yasuda, Y. Hirai

J. Photopolym. Sci. Technol. 32 137-141 2019年査読有り
Stochastic Simulation of Pattern Formation for Chemically Amplified Resist in Electron Beam Lithography

M. Koyama, M. Shirai, H. Kawata, Y. Hirai, M. Yasuda

Jpn. J. Appl. Phys. 58 SDDB01 2019年査読有り
Stochastic simulation of pattern formation in electron beam lithography

M. Yasuda, M. Koyama, M. Shirai, H. Kawata, Y. Hirai

J. Vac. Sci. Technol. B 36 06JA04 2018年査読有り

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MISC

分子動力学法による有機ナノ薄膜のせん断特性解析(II)

多田和広, 向川慶汰, 金原光尊, 宮下侑也, 安田雅昭, 平井義彦

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th 2020年
分子動力学法による有機ナノ薄膜のせん断特性解析

多田和広, 向川慶汰, 金原光尊, 宮下侑也, 安田雅昭, 平井義彦

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
電子ビーム照射下におけるシリカガラスの構造変化解析

多田和広, 日比彗太, 安田雅昭

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
電子ビーム照射下における二次元MoS₂の構造変化解析

多田和広, 仲田健人, 安田雅昭

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
分子動力学法による有機ナノ薄膜のせん断特性解析

多田和広, 向川慶汰, 金原光尊, 宮下侑也, 安田雅昭, 平井義彦

日本表面真空学会学術講演会要旨集(Web) 2019 2019年
電子ビーム照射下におけるシリカガラスの構造変化解析

多田和広, 日比彗太, 安田雅昭

日本表面真空学会学術講演会要旨集(Web) 2019 2019年
電子線照射下における二次元MoS₂のグラフェンによる遮蔽効果に関する分子動力学解析

多田和広, 仲田健人, 安田雅昭

日本表面真空学会学術講演会要旨集(Web) 2019 2019年
原子スケールラフネスを有する基板とポリマー間のトライボロジー解析

宮下侑也, 多田和広, 安田雅昭, 平井義彦

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 65th 2018年
原子スケールラフネスを有する基板とポリマー間のナノトライボロジー現象に関する分子動力学解析

宮下侑也, 多田和広, 高畑昌真, 安田雅昭, 平井義彦

日本表面真空学会学術講演会講演要旨集 2018 2018年
せん断流れ下におけるポリマーのスリップ現象に関する分子動力学解析

多田和広, 宮下侑也, 安田雅昭, 平井義彦

表面科学学術講演会講演要旨集 37th 2017年
二次元原子層材料の電子ビームナノ加工解析

多田和広, 中川力哉, 鎌仲章, 安田雅昭

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 63rd 2016年
基板上ナノカーボン材料の電子線照射効果の分子動力学解析

木田昌吾, 山本真也, 多田和広, 川田博昭, 平井義彦, 安田雅昭

真空に関する連合講演会講演予稿集 57th 2016年
電子ビーム照射下の単層二次元SiCのダイナミクス解析

多田和広, 和泉遼, 安田雅昭

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 62nd 2015年
ナノカーボン材料の電子ビーム加工の分子シミュレーション(IX)

木田昌吾, 山本真也, 安田雅昭, 多田和広, 川田博昭, 平井義彦

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 62nd 2015年
カーボンナノチューブ片持ち梁の振動特性への電子線照射効果に関する分子動力学解析

多田和広, 種田涼佑, 安田雅昭

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 61st 2014年
トップダウンナノ加工のシミュレーションとナノ空間創生

安田雅昭, 多田和広, 平井義彦

機能材料 34(3) 41-49 2014年招待有り
応力を印加したカーボンナノチューブにおける電子線照射効果の分子動力学解析

地原由倫, 安田雅昭, 多田和広, 川田博昭, 平井義彦

分子動力学シンポジウム講演論文集(CD-ROM) 18th 2013年
カーボンナノチューブの機械的強度に及ぼす電子線照射の影響に関する原子応力解析

多田和広, 本田亮太, 安田雅昭, 川田博昭, 平井義彦

分子動力学シンポジウム講演論文集(CD-ROM) 18th 2013年
カーボンナノチューブの機械的強度に及ぼす電子線照射の影響に関する分子シミュレーション(II)

多田和広, 本田亮太, 地原由倫, 安田雅昭, 川田博昭, 平井義彦

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 60th 2013年
ナノインプリント法におけるポリマー分子配向の分子動力学解析

高井里奈, 安田雅昭, 多田和広, 川田博昭, 平井義彦

分子動力学シンポジウム講演論文集(CD-ROM) 17th 2012年

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書籍等出版物

ナノインプリント技術の基礎と応用最前線

安田雅昭 (担当:分担執筆, 範囲:第1部第3章第4節 UVナノインプリントにおける樹脂の光硬化特性のシミュレーション解析)

サイエンス＆テクノロジー 2025年9月
Computational Chemistry: Theories, Methods and Applications

M. Yasuda, K. Tada (担当:分担執筆, 範囲:Chapter 4: Molecular Simulation of Electron Beam Nanofabrication)

Nova Science Publishers 2014年
Advances in Nanotechnology. Volume 11

M. Yasuda, K. Araki, Y. Hirai (担当:分担執筆, 範囲:Chapter 5: Molecular Flow during Polymer Filling Process in Nanoimprint Lithography)

Nova Science Publishers 2014年
Lithography, Capt.26 : Molecular Dynamics Study on Mold and Pattern Breakages in Nanoimprint Lithography

IN-TECH 2010年
表面分析技術選書計算シミュレーションと分析データ解析第4・2節電子散乱のシミュレーション

丸善株式会社 2008年

講演・口頭発表等

Computational Study of Pattern Formation for Chemically Amplified Resists in Extreme Ultraviolet Lithography

M. Yasuda, M. Koyama, K. Fukunari, M. Shirai, H. Kawata, Y. Hirai

36th International Conference of Photopolymer Science and Technology 2019年6月招待有り
Computational Study of Pattern Formation in UV Nanoimprint Lithography

M. Yasuda, M. Koyama, R. Sakata, M. Shirai, H. Kawata, Y. Hirai

35th Int. Conf. of Photopolym. Sci. and Technol. 2018年6月招待有り
Computational Study of Temperature Distribution in Electron-Irradiated Graphene

Y. Ueno, H. Kawata, Y. Hirai, M. Yasuda

11th Int. Symp. on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices ’17 2017年12月招待有り
Multiscale Simulation of Development Process in Electron Beam Lithography

M. Yasuda, S. Hitomi, H. Kawata, Y. Hirai

34th Int. Conf. of Photopolym. Sci. and Technol. 2017年6月招待有り
Multiphysics Simulation of Nanopatterning in Electron Beam Lithography

M. Yasuda, K. Tada, M. Kotera

33rd Int. Conf. of Photopolym. Sci. and Technol. 2016年6月招待有り
Computational Study on Electron Beam Lithography

M. Yasuda

2014 Int. Microprocesses and Nanotechnology Conf. 2014年11月招待有り
Molecular Simulation of Electron-Irradiation Damages in Resist Materials

M. Yasuda, K. Araki, H. Sakai, H. Kawata, Y. Hirai

56th Int. Conf. on Electron, Ion and Photon Beam Technology and Nanofabrication 2012年5月招待有り
Molecular Dynamics Simulations of Local Polymer Flow

M. Yasuda, Y. Hirai

9th Int. Conf. on Nanoimprint and Nanoprint Technology 2010年10月招待有り

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

低加速二次電子像におけるコントラスト増幅観察法の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的研究(萌芽) 2019年6月 - 2021年3月

板倉賢, 熊谷和博, 都甲薫, 安田雅昭, 赤嶺大志
スケール境界領域におけるパターン形成技術に関する理論的研究

日本学術振興会科学研究費補助金挑戦的萌芽研究 2015年4月 - 2018年3月

安田雅昭
電子線ナノプロセスのマルチフィジックスシミュレーション

日本学術振興会科学研究費補助金基盤研究(A) 2013年5月 - 2016年3月

安田雅昭
モンテカルロ法・分子動力学法融合型次世代電子線リソグラフィシミュレーションの開発

日本学術振興会科学研究費補助金挑戦的萌芽研究 2011年4月 - 2014年3月

安田雅昭
ナノカーボン材料を対象とした電子ビーム構造制御の理論解析

日本学術振興会科学研究費補助金基盤研究(B) 2010年4月 - 2013年3月

安田雅昭
分子シミュレーションに基づくナノパターン電子線計測の高精度補正法の構築

科学技術振興機構産学が連携した研究開発成果の展開/研究成果展開事業/研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)/探索タイプ 2012年 - 2013年

安田雅昭
電子ビーム励起プロセシングを対象とした分子シミュレーションの開発

日本学術振興会科学研究費補助金萌芽研究 2008年4月 - 2010年3月

安田雅昭
電子ビーム照射によるナノカーボン改質シミュレーション

科学技術振興機構産学が連携した研究開発成果の展開/研究成果展開事業/地域事業/地域イノベーション創出総合支援事業/シーズ発掘試験 2009年 - 2009年

安田雅昭
電子ビームプロセシングにおける材料のナノダイナミクス

日本学術振興会科学研究費補助金基盤研究(C) 2006年4月 - 2008年3月

安田雅昭
スピン偏極電子線マイクロアナライザの開発

日本学術振興会科学研究費補助金奨励研究(A) 1998年4月 - 2000年3月

安田雅昭
Monte Carlo Simulation of Electron Scattering

The Other Research Programs

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委員歴

論文

MISC

書籍等出版物

講演・口頭発表等

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共同研究・競争的資金等の研究課題

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