松尾繁樹 (Shigeki Matsuo) - マイポータル

基本情報

所属: 芝浦工業大学工学部機械工学科教授

J-GLOBAL ID: 200901000046495584
researchmap会員ID: 1000223290

外部リンク: https://sites.google.com/shibaura-it.ac.jp/matsuos

研究キーワード

研究分野

経歴

2014年4月 - 現在

芝浦工業大学, 機械工学科, 教授
2007年4月 - 2014年3月

徳島大学, 大学院ソシオテクノサイエンス研究部, 准教授
2002年1月 - 2007年3月

徳島大学
2006年

徳島大学大学院・ソシオテクノサイエンス研究部, 助教授
2004年 - 2005年

徳島大学工学(系)研究科(研究院), 助教授
2005年

徳島大学, 助教授・工学研究科
2005年

徳島大学大学院工学研究科, 助教授
2002年 - 2004年

徳島大学大学院, 助教授・工学研究科
1997年4月 - 2001年12月

徳島大学
1997年 - 2001年

徳島大学工学部, 助手
1995年 - 1997年

Okazaki Nafional Research Institutes, Institute for Molecular Sclence, IMS fellow
1995年 - 1997年

岡崎国立共同研究機構分子科学研究所非常勤研究員

論文

151

Laser-induced Tetragonal Periodic Surface Structures Using Circularly-Polarized Laser Pulses

Keisuke Fukuhara, Shigeki Matsuo

Journal of Laser Micro/Nanoengineering 21(2) 124-127 2026年8月査読有り最終著者責任著者
Scanning strategy-dependent etching rate in the formation of through-via holes by femtosecond laser-assisted etching

Shogo Matsuda, Shigeki Matsuo

Japanese Journal of Applied Physics 63(5) 052001-052001 2024年5月1日査読有り責任著者
Anisotropic reversing motion in laser-induced periodic surface structures

Ryoji Kato, Shigeki Matsuo

Applied Physics Express 16(8) 082002-082002 2023年8月1日査読有り最終著者責任著者
Activation energy of kink incorporation of particles into colloidal crystals with attractive interactions

Masahiro Kanno, Yutaka Tsuboi, Shigeki Matsuo, Yoshihisa Suzuki

CrystEngComm 25(12) 1828-1832 2023年査読有り
Short and ultrashort pulsed laser-based micro-scribing of copper film on a dielectric substrate for functional devices

S. Sooraj, Y. R. Yugandhara, N. J. Vasa, A. Kavitha, S. Krishnan, M. Shigeki

Applied Physics A 128(11) 2022年11月4日査読有り
Pulse-by-pulse optical observation of laser-irradiated thin glass substrate using oil-immersion microscopy

Yuta Yanagisawa, Shigeki Matsuo

Japanese Journal of Applied Physics 61(1) 010901-010901 2022年1月1日査読有り最終著者責任著者
Nanosecond and sub-nanosecond laser-assisted microscribing of Cu thin films in a salt solution

Sooraj Shiby, Nilesh J Vasa, Matsuo Shigeki

Journal of Micromanufacturing 4(2) 138-146 2021年4月22日査読有り
Inscribing diffraction grating inside silicon substrate using a subnanosecond laser in one photon absorption wavelength

Kozo Sugimoto, Shigeki Matsuo, Yoshiki Naoi

Scientific Reports 10(1) 21451 2020年12月査読有り責任著者
Pulse-by-Pulse Optical Observation of Growth of Laser-Induced Periodic Surface Structure at Oblique Incidence

Kyosuke Shibata, Shigeki Matsuo

Journal of Laser Micro/Nanoengineering 15(2) 128-131 2020年9月査読有り責任著者
Pulsed Laser-Based Hybrid Microscribing of Cu and Al in Salt Solution

Sooraj Shiby, Nammi Srinagalakshmi, Nilesh J. Vasa, Shigeki Matsuo, Muralidhar Miryala

Journal of Micro and Nano-Manufacturing 8(3) 031002 2020年9月1日査読有り
Optical Communication and Positioning Method of Underwater Observation Apparatus for Environmental Monitor

Eriko Enomoto, Umamaheswari Rajagopalan, So Yoon Lee, Xiaobin Zhang, Yoshikazu Koike, Hideki Yokoi, Hiroyuki Nishikawa, Sumito Nagasawa, Nobuyuki Futai, Takahiro Kohno …

2020 10th Annual Computing and Communication Workshop and Conference, CCWC 2020 784-788 2020年1月
Water-assisted laser drilling for miniature internal thread in glass and evaluation of its strength

Reo Murakami, Hiroyuki Nakagawa, Shigeki Matsuo

Journal of Laser Micro Nanoengineering 12(3) 203-206 2017年12月1日査読有り責任著者
High-spatial-frequency periodic surface structures on steel substrate induced by subnan osecond laser pulses

Haruki Hikage, Nami Nosaka, Shigeki Matsuo

APPLIED PHYSICS EXPRESS 10(11) 112701 2017年11月査読有り責任著者
Removal processing inside PDMS by short pulse laser

Katsuyuki Hayashi, Shigeki Matsuo

Journal of Laser Micro Nanoengineering 12(2) 141-145 2017年9月査読有り
Laser Fabrication of Miniature Internal Thread in Glass Substrate

Hiroyuki Degawa, Noriaki Urano, Shigeki Matsuo

MICROMACHINES 8(2) 48 2017年2月査読有り責任著者
Subnanosecond-laser-induced periodic surface structures on prescratched silicon substrate

Motoharu Hongo, Shigeki Matsuo

APPLIED PHYSICS EXPRESS 9(6) 062703-1-062703-3 2016年6月査読有り責任著者
Effect of solvent surface tension on optical limiting properties of graphene dispersions

Xuehui Sun, Lihe Yan, Tao Chen, Yang Yu, Shigeki Matsuo

LASER PHYSICS 25(3) 2015年3月査読有り
Spontaneous formation of 10-μm-scale periodic patterns in transverse-scanning femtosecond laser processing

Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto

Optics Express 23(1) 165-171 2015年1月査読有り責任著者
High-frame-rate observation of single femtosecond laser pulse propagation in fused silica using an echelon and optical polarigraphy technique

Xiaofang Wang, Lihe Yan, Jinhai Si, Shigeki Matsuo, Huailiang Xu, Xun Hou

APPLIED OPTICS 53(36) 8395-8399 2014年12月査読有り
フェムト秒レーザー支援エッチングにおけるエッチャント加熱の効果

松尾繁樹, 遠所慶, 橋本修一

レーザー研究 41(10) 827-829 2013年10月査読有り

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MISC

103

Editorial

Koji Sugioka, Yasuyuki Tsuboi, Shigeki Matsuo

Applied Physics B: Lasers and Optics 119(3) 399 2015年6月28日
フェムト秒レーザによる透明材料内部へのマイクロ構造形成 : フェムト秒レーザ照射による改質とエッチングとによる三次元マイクロ除去加工 (特集フェムト秒レーザ加工の最先端)

松尾繁樹

光アライアンス 24(1) 12-16 2013年1月
Three-Dimensional Micro Modification and Selective Etching of Crystalline Silicon Using 1.56-mu m Subpicosecond Laser Pulses

Shigeki Matsuo, Keiji Oda, Yoshiki Naoi

2013 CONFERENCE ON LASERS AND ELECTRO-OPTICS PACIFIC RIM (CLEO-PR) 2013年
Breakdown Voltage In Silicon Carbide Metal-Oxide-Semiconductor Devices Induced By Ion Beams

T. Ohshima, M. Deki, T. Makino, N. Iwamoto, S. Onoda, T. Hirao, K. Kojima, T. Tomita, S. Matsuo, S. Hashimoto

APPLICATION OF ACCELERATORS IN RESEARCH AND INDUSTRY 1525 654-658 2013年
Observation of Quill Effect induced by Distortion of Spatial Beam Profile

Shigeki Matsuo, Kei Enjo Yoshifumi Umeda, Shuichi Hashimoto

PROGRESS IN ULTRAFAST LASER MODIFICATIONS OF MATERIALS 8 2013年
21aAF-6 剛体球系のモンテカルロシミュレーションから示唆されるコロイドエピタキシーにおける重力テンパリングの可能性(21aAF 領域11,領域12合同ガラス合同セッション2,領域11(統計力学,物性基礎論,応用数学,力学,流体物理))

森篤史, 鈴木良尚, 松尾繁樹

日本物理学会講演概要集 67(2) 311-311 2012年8月24日
Formation of Nanovoids in Femtosecond Laser-Irradiated Single Crystals of Silicon Carbide

Tatsuya Okada, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Ryota Kashino, Takuto Ito

Materials Science Forum 725 19-22 2012年7月査読有り
Rotation formulas in the jones calculus extended to axially symmetrically polarized beam

Shigeki Matsuo

Optics InfoBase Conference Papers 2011年12月1日
Femtosecond laser modification aiming at the enhancement of local electric conductivities in SiC

Manato Deki, Minoru Yamamoto, Takuto Ito, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Takahiro Kitada, Toshiro Isu, Shinobu Onoda, Takeshi Ohshima

PHYSICS OF SEMICONDUCTORS: 30TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON THE PHYSICS OF SEMICONDUCTORS 1399 119-120 2011年
レーザー誕生50周年記念シンポジウム「窒化物半導体発光デバイスとその応用」開催報告

西田信夫, 原口雅宣, 松尾繁樹

レーザー研究 38(12) 995-996 2010年12月15日
フェムト秒レーザー照射によるガラスのエッチングレート増大のメカニズム

松尾繁樹, 富田卓朗, 橋本修一

レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan 408 7-11 2010年11月29日
Laser internal modification plus wet etching for micro-structuring crystalline and glassy materials

Shigeki Matsuo

ICALEO 2009 - 28th International Congress on Applications of Lasers and Electro-Optics, Congress Proceedings 102 942-945 2009年12月1日
透明固体材料の内部加工と内部駆動

松尾繁樹, 木山聡, 徳見憲亮, 富田卓朗, 橋本修一

レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan 382 19-23 2009年1月15日
ラマン分光測定を用いた4H-SiCにおけるフェムト秒レーザー内部改質部の応力評価

山本稔, 出来真斗, 高橋智則, 富田卓朗, 岡田達也, 松尾繁樹, 橋本修一, 山口誠, 中川圭, 上原信知 …

応用物理学会学術講演会講演予稿集 70th(3) 2009年
Cross-sectional TEM analysis of structural change in 4H-SiC single crystal irradiated by femtosecond laser pulses

Hiroyuki Kawahara, Tatsuya Okada, Ryota Kumai, Takuro Tomita, Shigeki Matsuo, Shuichi Hashimoto, Makoto Yamaguchi

Materials Science Forum 600/603(Pt.2) 883-886 2009年1月1日
26aPS-45 レーザー誘起ナノ周期構造の断面形状と物性解析(ポスターセッション,領域5,光物性)

富田卓朗, 河原啓之, 熊井亮太, 川本昌子, 山口誠, 岡田達也, 松尾繁樹, 橋本修一

日本物理学会講演概要集 63(1) 742-742 2008年2月29日
19pPSB-35 初期表面粗さがフェムト秒レーザー誘起ナノ周期構造生成に及ぼす影響(ポスターセッション,領域5,光物性)

富田卓朗, 熊井亮太, 木下敬太, 松尾繁樹, 橋本修一

日本物理学会講演概要集 62(1) 737-737 2007年2月28日
光変換ポリタイプを用いたワイドバンドギャップ半導体デバイスの開発

富田卓朗, 松尾繁樹, 岡田達也, 直井美貴

徳島大学大学院ソシオテクノサイエンス研究部研究報告 52 2007年
Three-dimensional laser microfabrication of metals, semiconductors, and dielectrics

Saulius Juodkazis, Koichi Nishimura, Hiroki Okuno, Yusuke Tabuchi, Shigeki Matsuo, Satoru Tanaka, Hiroaki Misawa

INTERNATIONAL CONFERENCE ON LASERS, APPLICATIONS, AND TECHNOLOGIES 2007: LASER-ASSISTED MICRO- AND NANOTECHNOLOGIES 6732 1-67320 2007年
感光性を付与されていない透明固体材料の内部加工

松尾繁樹, 富田卓朗, 橋本修一, 岡田達也, ヨードカシスサウリウス, 三澤弘明

レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan 356 47-51 2006年12月11日

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所属学協会

学歴

委員歴

2009年6月 - 現在

Journal of Laser Micro/Nanoengineering, Editor
2026年3月 - 2028年2月

電気学会多様化するレーザプロセシングとその応用調査専門委員会, 委員
2024年7月 - 2026年5月

一般社団法人レーザー学会, レーザー学会東京支部委員
2023年12月 - 2025年11月

電気学会, 次世代レーザプロセシング技術と応用調査専門委員会
- 2025年9月

LPM2025 Steering Committee
2021年12月 - 2023年11月

電気学会, レーザプロセシング先端技術と応用調査専門委員会委員
2022年7月 - 2023年7月

LPM2023 Program Committee
2022年7月 - 2023年7月

LPM2023 Steering Committee
2019年10月 - 2022年9月

COLA2021, Organizing Committee
2019年12月 - 2021年11月

電気学会持続可能な社会発展に向けたスマートレーザプロセシング調査専門委員会, 委員
2020年9月 - 2021年9月

LPM2021 Program Committee
2020年9月 - 2021年9月

LPM2021 Steering Committee
2019年 - 2020年

LPM2020, Programme Committee
2017年12月 - 2019年11月

電気学会持続可能な社会と先端技術を支えるレーザプロセシング技術第二期調査専門委員会, 委員
2018年8月 - 2019年9月

LPM2019 Program Committee
2018年1月 - 2019年9月

LAMP2019 Steering Committee
2018年6月 - 2019年1月

レーザー学会, 学術講演会第39回年次大会現地実行委員
2017年6月 - 2018年9月

LPM2018 Program Committee
2014年12月 - 2017年11月

電気学会, 持続可能な社会と先端技術を支えるレーザプロセシング技術調査専門委員会
2016年6月 - 2017年9月

LPM2017 Program Committee

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