特許権 低欠陥化炭素材料の製造方法 向井紳, 荻野勲, 岩村振一郎, 皆上昂ノ介, 小野博信 出願番号 特願2019-169768 出願日 2019年9月18日 公開番号 特開2021-006497 公開日