廖梅勇 (Meiyong Liao) - マイポータル

基本情報

所属: 国立研究開発法人物質・材料研究機構主席研究員

学位: 博士（半導体工学）(中国科学院半導体研究所)

研究者番号: 70528950
ORCID iD: https://orcid.org/0000-0003-1361-4266
J-GLOBAL ID: 202001011923943208
Researcher ID: B-8333-2011
researchmap会員ID: R000014187

外部リンク: https://samurai.nims.go.jp/profiles/meiyong_liao

研究キーワード

ダイヤモンド、ワイドギャップ半導体、光・電子デバイス、MEMS、センサ

研究分野

経歴

2022年4月 - 現在

国立研究開発法人物質・材料研究機構, 主席研究員
2016年4月 - 2022年3月

国立研究開発法人物質・材料研究機構, 主幹研究員
2008年4月 - 2016年3月

国立研究開発法人物質・材料研究機構, 主任研究員
2006年10月 - 2008年3月

国立研究開発法人物質・材料研究機構, ICYS 研究員
2004年7月 - 2006年9月

国立研究開発法人物質・材料研究機構, NIMS ポスドク
2002年7月 - 2004年3月

京都大学工学部, 客員准教授
2001年3月 - 2001年8月

香港城市大学COSDAF, 研究助手

学歴

1999年9月 - 2002年8月

中国科学院半導体研究所, 半導体工学博士課程修了
1996年9月 - 1999年7月

蘭州大学, 理学研究科, 修士課程修了
1992年9月 - 1996年7月

蘭州大学, 理学部, 物理学科卒業

委員歴

2021年1月 - 現在

Journal of Semiconductor (IOP), 編集者
2020年1月 - 現在

Functional Diamond (Taylor&Francis), 編集長
2016年 - 現在

Nanophotonics and Micro/Nano Optics International Conference (NANOP), 科学委員会
2024年10月 - 2025年3月

The 9th IEEE Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM 2025), Technical committees
2016年5月

International Conference on New Diamond and Nano Carbons, International Advisory Board

受賞

2022年6月

Young Scholar Award

Zilong Zhang, Liwen Sang, Yasuo Koide, Satoshi Koizumi, Meiyong Liao
2008年5月

Outstanding Poster Award

Meiyong Liao, Masataka Imura, Yasuo Koide

論文

268

Editorial for the special issue on diamond and III-nitride wide bandgap semiconductors

Meiyong Liao, Jose Alvarez, Masataka Imura, Jiangwei Liu

Functional Diamond 2026年12月31日
Ultrathin, Low‐Dissipation Nanomechanical Resonators of Single‐Crystal Diamond

Guo Chen, Wen Zhao, Zhaozong Zhang, Satoshi Koizumi, Meiyong Liao

Small 2026年5月
Computational analysis of visible frequency plasmonic properties of graphene on wide band gap heterostructures

Muhammad Qamar, Ghulam Abbas, Meiyong Liao, Satoshi Koizumi, Takatoshi Yamada, Bohuslav Rezek

Scientific Reports 16(1) 2026年2月15日
Optical properties of single-crystal diamond MEMS: mitigating substrate interference

Keyun Gu, Zilong Zhang, Zhaozong Zhang, Jian Huang, Yasuo Koide, Satoshi Koizumi, Meiyong Liao

Functional Diamond 2025年12月31日
Mapping phonon dynamics to thermal transport via deep-learning NEMD: AlN/diamond interface engineering for GaN heat dissipation

Kongping Wu, Meiyong Liao

Functional Diamond 2025年12月31日
Ultraprecise anisotropy mapping of Young's modulus in single-crystal diamond via mechanical resonance

Zhaozong Zhang, Grace Wong, Zilong Zhang, Wen Zhao, Guo Chen, Satoshi Koizumi, Meiyong Liao

Applied Physics Letters 2025年11月3日
Ultra‐High Sensitivity, Wide‐Range Thermometry Based on High‐Quality Microscale Diamond Resonators

Wen Zhao, Guo Chen, Tokuyuki Teraji, Yasuo Koide, Masaya Toda, Meiyong Liao

Advanced Materials 2025年10月査読有り最終著者責任著者
Surface desorption properties of hydrogen-terminated diamond detected by micromechanical resonator

Keyun Gu, Zilong Zhang, Jian Huang, Yasuo Koide, Satoshi Koizumi, Meiyong Liao

Applied Physics Letters 2025年6月2日査読有り最終著者責任著者
High-order resonance enhancing the mass sensitivity of diamond cantilevers

Wen Zhao, Guo Chen, Keyun Gu, Masaya Toda, Yasuo Koide, Meiyong Liao

APL Materials 2025年4月1日査読有り招待有り最終著者責任著者
Synergistic Effect of Surface States and Deep Defects for Ultrahigh Gain Deep‐Ultraviolet Photodetector with Low‐Voltage Operation

Keyun Gu, Kongping Wu, Zilong Zhang, Takeo Ohsawa, Jian Huang, Yasuo Koide, Masaya Toda, Meiyong Liao

Advanced Functional Materials 2025年4月査読有り最終著者責任著者
A perspective on diamond MEMS magnetic sensors

Zilong Zhang, Keyun Gu, Masaya Toda, Meiyong Liao

Applied Physics Letters 2025年3月1日査読有り招待有り最終著者責任著者
Photo-response performance regulation of a type-Ib diamond-based photodetector by H2 annealing and ozone treatment

Keyun Gu, Zilong Zhang, Takeo Ohsawa, Masataka Imura, Jian Huang, Yasuo Koide, Meiyong Liao

Journal of Materials Chemistry C 2025年査読有り最終著者責任著者
Effect of surface vacancy defects on the phonon thermal transport across GaN/diamond interface

Kongping Wu, Renxiang Cheng, Leng Zhang, Wenxiu Wang, Fangzhen Li, Meiyong Liao

Surfaces and Interfaces 2025年1月査読有り最終著者責任著者
Electrical actuation of single-crystal diamond MEMS resonators at high temperatures

Zilong Zhang, Keyun Gu, Guo Chen, Masataka Imura, Meiyong Liao

Functional Diamond 2024年12月31日査読有り最終著者責任著者
P-Channel MOSFETs on Phosphorous-Doped n-Type Diamond

Wen Zhao, Satoshi Koizumi, Meiyong Liao

IEEE Electron Device Letters 2024年12月査読有り最終著者責任著者
Low-Energy Dissipation Diamond MEMS

Guo Chen, Satoshi Koizumi, Yasuo Koide, Meiyong Liao

Accounts of Materials Research 2024年9月27日
Highly Reliable Diamond MEMS Dual Sensor for Magnetic Fields and Temperatures with Self‐Recognition Algorithms

Zilong Zhang, Keyun Gu, Guo Chen, Liwen Sang, Tokuyuki Teraji, Yasuo Koide, Satoshi Koizumi, Masaya Toda, Meiyong Liao

Advanced Materials Technologies 2024年7月査読有り最終著者責任著者
Ultrahigh Responsivity of Diamond-based Solar-blind Photodetectors Using Hydrogen Plasma Treatment

Keyun Gu, Zilong Zhang, Guo Chen, Liwen Sang, Jian Huang, Yasuo Koide, Meiyong Liao

2024 IEEE 19th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS) 1-4 2024年5月2日査読有り最終著者責任著者
High-order resonance of single-crystal diamond MEMS with high-quality factor at high temperatures

Guo Chen, Zilong Zhang, Keyun Gu, Liwen Sang, Satoshi Koizumi, Masaya Toda, Yasuo Koide, Zhaohui Huang, Meiyong Liao

2024 IEEE 19th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS) 1-4 2024年5月2日査読有り最終著者責任著者
Diamond NEMS Resonators for Real-Time Dual Sensing of Magnetic Fields and Temperatures up to 500°C

Zilong Zhang, Keyun Gu, Guo Chen, Yasuo Koide, Satoshi Koizumi, Meiyong Liao

2024 IEEE 19th International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS) 1-5 2024年5月2日査読有り最終著者責任著者

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MISC

Galfenol-Ti-Diamond Multilayer MEMS Resonator for Magnetic Sensor Working up to 773 K

Z. Zhang, L. Sang, H. Wu, J. Huang, L. Wang, S. Koizumi, Y. Kodie, M. Liao

Technical Digest - International Electron Devices Meeting, IEDM 2019-December 2019年12月
窒化アルミニウム/ダイヤモンドヘテロ接合を用いた電界効果トランジスタ

井村将隆, 廖梅勇, 小出康夫

New diamond 28(2) 36-38 2012年4月
ダイヤモンド紫外線センサとセンシング物理 (センサ応用特集)

小出康夫, 廖梅勇

New diamond 28(1) 14-20 2012年1月
同位体濃縮したダイヤモンド薄膜の化学気相合成

寺地徳之, 小泉聡, LIAO Meiyong, 磯谷順一

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 72nd 2011年
ダイヤモンド薄膜の同位体濃縮

寺地徳之, 小野田忍, 小泉聡, LIAO M., 谷口尚, 大島武, JELEZKO Fedor, WRACHTRUP Joerg, 磯谷順一

ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集 25th 2011年
ダイヤモンドを用いた光センサの開発 (特集発光材料の新展開)

小出康夫, 廖梅勇, Alivalez Jose

マテリアルインテグレ-ション 21(12) 1-7 2008年12月
金属/ダイヤモンド界面と深紫外線センサ素子

小出康夫, 廖梅勇, アルバレッツホセ

電気学会研究会資料. EFM, 電子材料研究会 2007(15) 5-10 2007年11月30日
Schottky-barrier diamond photodiode using thermally stable WC-based contacts

LIAO Meiyong, ALVAREZ Jose, KOIDE Yasuo

Extended abstracts of the ... Conference on Solid State Devices and Materials 2005 350-351 2005年9月13日

書籍等出版物

Ultra-wide Bandgap Semiconductors Materials

Meiyong Liao, Bo Shen, Zhanguo Wang (担当:共著, 範囲:Editor)

Elsevier 2019年6月

講演・口頭発表等

Diamond as an extreme semiconductor for electronics and MEMS

The 4th Asian Pacific Conference on Chemistry of Materials (APCCOM2023) 2023年12月8日招待有り
オンチップダイヤモンドMEMS 磁気トランスデューサ

第３７回ダイヤモンドシンポジウム 2023年11月15日
リンドープn型ダイヤモンドを用いたnチャネルMOSFETの作製

第３７回ダイヤモンドシンポジウム 2023年11月15日
Effect of magnetostrictive film thickness for enhancing magnetic sensing performance of diamond MEMS resonator

2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月21日
Effect of Energy Dissipation in Higher-Order Resonance on SCD MEMS Cantilevers Toward High f·Q

2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月21日
On-chip Diamond MEMS: concept and sensing applications.

European Materials Research Society (E-MRS) 2023 Fall meeting 2023年9月20日招待有り
ON-CHIP DIAMOND MEMS RESONATORS MAGNETIC SENSING UP TO 500℃

The 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023) 2023年6月27日
Sensing the point defects by single-crystal diamond MEMS resonators

. The 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2023) 2023年6月26日
Diamond-based photodetectors

The 6th International Workshop on Ultraviolet Materials and Devices (IWUMD 2023) 2023年6月8日招待有り
Diamond MEMS: from fundamentals to sensing applications

2023 Symposium on Chemical Science and Material Engineering of WUST 2023年5月20日招待有り
Air damping effect on the quality factor of single-crystal diamond MEMS resonators

第83回応用物理学会秋季学術講演会 2022年9月21日
Effect of deep-defects on the energy dissipation of diamond MEMS resonator

19th International Conference on Defects-Recognition, Imaging and Physics in Semiconductors (DRIP XIX) 2022年8月31日
Investigation of the seeding process of diamond growth on GaN for thermal management

15th International Conference on New Diamond and Nano Carbons 2022 2022年6月8日
Enhancement of Magnetic Sensing Performances of Single-crystal Diamond Resonators through Various Interlayers

15th International Conference on New Diamond and Nano Carbons 2022 (NDNC2022) 2022年6月8日
Effect of pressure on quality-factor of single-crystal diamond micro cantilevers

15th International Conference on New Diamond and Nano Carbons 2022 (NDNC2022) 2022年6月7日
Efficient etching of diamond by oxygen annealing toward high-Q factor diamond MEMS resonators

E-MRS Spring Meeting 2022 2022年6月1日招待有り
CVD diamond film with nanodiamond seeding on grown GaN for effective thermal dissipation

E-MRS Spring Meeting 2022 2022年5月31日
ダイヤモンド MEMS 磁気センサ

第３５回ダイヤモンドシンポジウム 2021年11月18日
High-temperature Magnetic Sensor Based on Single-crystal Diamond MEMS

2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月12日
Self-temperature-compensated GaN MEMS resonator through strain engineering

第82回応用物理学会秋季学術講演会 2021年9月11日

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所属学協会

2005年10月 - 現在

ニューダイヤモンドフォーラム
2004年12月 - 現在

応用物理学会
2025年6月

日本機械学会

共同研究・競争的資金等の研究課題

超磁歪材料/ダイヤモンドMEMS異種接合用いた革新的な磁気イメージセンサの創製

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2024年4月 - 2029年3月

廖梅勇, 戸田雅也
ダイヤモンドNEMS技術に基づく超高感度・高速赤外線イメージセンサー

日本学術振興会科学研究費助成事業特別研究員奨励費 2024年11月 - 2027年3月

廖梅勇
高感度・高信頼性ダイヤモンドMEMS腐食性ガスセンサ

日本学術振興会科学研究費助成事業特別研究員奨励費 2024年4月 - 2026年3月

廖梅勇, ZHAO WEN
MEMS技術に基づく応力制御によるダイヤモンドのバンドエンジニアリング

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的研究(萌芽) 挑戦的研究(萌芽) 2022年6月 - 2025年3月

廖梅勇
高温対応ダイヤモンドMEMS磁気センサ

日本学術振興会科学研究費助成事業特別研究員奨励費 2023年3月 - 2024年3月

廖梅勇, ZHANG ZILONG
高温対応ダイヤモンドMEMS磁気センサ

日本学術振興会科学研究費助成事業特別研究員奨励費特別研究員奨励費 2022年7月 - 2024年3月

廖梅勇
異種接合ドーピング法に基づくダイヤモンドのキャリア制御法構築

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 基盤研究(A) 2020年4月 - 2024年3月

小出康夫, 劉江偉, 廖梅勇, 井村将隆
革新的な高機能・高信頼ダイヤンモンド MEMSの基盤構築と磁気センサの応用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2020年4月 - 2023年3月

廖梅勇, 戸田雅也
Ⅲ族窒化物ナノラミネート特異構造を用いたダイヤモンド電子デバイスの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業新学術領域研究(研究領域提案型) 新学術領域研究(研究領域提案型) 2016年6月 - 2021年3月

小出康夫, 劉江偉, 廖梅勇, 井村将隆
極限環境用ダイヤモンドナノマシンロジック回路基盤技術の構築

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2015年4月 - 2019年3月

廖梅勇, 戸田雅也, 小出康夫
巨大分極電荷を利用する新機能ダイヤモンド電子デバイスの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 基盤研究(A) 2013年4月 - 2017年3月

小出康夫, 廖梅勇, 井村将隆, 津谷大樹
単結晶ダイヤモンドを用いた革新的マイクロ／ナノマシンスイッチの創製

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 若手研究(B) 2012年4月 - 2014年3月

廖梅勇
自己組織化によるナノワイヤー架橋構造を用いた深紫外線センサーの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2010年 - 2012年

ドロネージェイジェイ, 小出康夫, 廖梅勇, 福谷克之
高温動作・高感度ダイヤモンドマイクロマシン応力センサーの開発

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 若手研究(B) 2009年 - 2010年

廖梅勇

産業財産権

特願2023-115578 ｎ型ダイヤモンドＭＯＳＦＥＴおよびその製造方法
特許7217876 電子素子、温度センサ、磁気センサ、振動センサおよび加速度センサ

廖梅勇,小出康夫
特許7195539 半導体装置、パワーデバイスおよび制御用電子装置

廖梅勇, サンリウエン, 小泉聡, 小出康夫
特許6989091 ダイヤモンド構造体、ダイヤモンド・カンチレバー、およびダイヤモンド構造体の製造方法

廖梅勇, 小出康夫, サンリウエン
特願2020-011503 磁気センサ

廖梅勇, ジャンジロン, サンリウエン, 小出康夫
特開2015-149376 半導体光検出器

サンリウエン, リャオメイヨン, 小出康夫, 胡俊青, 雛儒佳
特許5747245 電界効果トランジスタ及びその製造方法

小出康夫, メイヨンリョオ, ホセアルバレッツ, ジーンポールクライダー
特許5504565 8. 小出康夫, 廖梅勇, ホセアルバレッツ, ジーンポールクライダー, ダイヤモンド紫外線センサ素子とその製造方法、並びに紫外線センサ装置, ,登録日:2014. 03. 28.

小出康夫, 廖梅勇, ホセアルバレッツ, ジーンポールクライダー
特許5500543 硫化亜鉛ナノベルト、紫外線検知センサー及びこれらの製造法

板東義雄, ファンショーシェン, リャオメイヨン, ウジャルガウタム, チュンイズィ, ベンジャミンディエール, 関口隆史, 小出康夫, デミトリーゴルバーグ, ザイテンヨウ, リュウボウダン
特許5344482 単結晶ダイヤモンド上にＰＺＴ薄膜を形成する方法、ＰＺＴ薄膜が形成された単結晶ダイヤモンド、及びＰＺＴ薄膜が形成された単結晶ダイヤモンドを使用したキャパシタ

リャオメイヨン, 小出康夫
特許5403519 結晶ダイヤモンド・エアギャップ構造体の作製方法

リャオメイヨン, 小出康夫, 菱田俊一
特許5626972 電子機械スイッチの製造方法

リャオメイヨン, 小出康夫, 菱田俊一
特許5158777 ダイヤモンド半導体整流素子

小出康夫, リョウメイヨン, ホセ, アントニオ・アルバレッツ
特許5019305 ダイヤモンド紫外線センサー

小出康夫 , メイヨンリョウ , ホセアントニオアルバレッツ
特開WO2011102474A1 SINGLE CRYSTAL DIAMOND MOVABLE STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

LIAO MEIYONG, KOIDE YASUO, HISHIDA SHUNICHI
特開2011-119291 単結晶ＺｎＳｅナノベルトを使用した青色／紫外線光検知デバイス、及びその製造方法

ファンシーシェン, 板東義雄, ザイテンヨウ, リャオメイヨン, ウジャルガウダム, 小出康夫, デミトリーゴルバーグ
特許4650491 ダイヤモンド紫外線センサー素子

小出康夫,リョウメイヨン,ホセ, アントニオ・アルバレッツ
特許US20110045173A1 DIAMOND UV-SENSOR ELEMENT AND MANUFACTURING METHOD THEREOF, UV-SENSOR UNIT, AND METHOD OF TREATING DIAMOND SINGLE CRYSTAL

KOIDE Yasuo, LIAO Meiyong, JOSE Antonio Alvarez,KLEIDER Jean-Paul
特許5414050 マイクロスケールの紫外線センサー及びその製造方法

ファンショーシェン, 板東義雄, リャオメイヨン, ザイテンヨウ, ウジャルガウタム, リリャン, 小出康夫, デミトリーゴルバーグ
特許4123496 ダイヤモンド紫外光センサー

小出康夫, リョウメイヨン, ホセアントニオアルバレッツ

メディア報道

「n型ダイヤMOSFET」「銅パターンに新技術」半導体動向

日経テックフォーサイト 2024年2月7日
電界効果トランジスタｎ型ダイヤモンド開発

日刊産業新聞 2024年2月6日
物材機構、n型を開発ダイヤモンド半導体素子パワー半導体へ応用

日刊工業新聞 2024年1月30日
500℃でも高感度で動作が安定：NIMS、高温ダイヤモンドMEMS磁気センサーを開発

EE Times Japan 2020年11月20日インターネットメディア
500℃でも安定動作物材機構、ＭＥＭＳ磁気センサー開発

日刊工業新聞 2020年11月20日新聞・雑誌
NIMSが高感度磁気センサーダイヤモンド利用 500度でも安定動作

電波新聞 2020年11月19日新聞・雑誌
NIMS、高温ダイヤモンドMEMS磁気センサーの開発に成功、500℃でも高感度で安定して動作

金属時評 2020年11月16日新聞・雑誌
高温で動作する磁気センサをダイヤモンド用いて開発 NIMSなどの研究

財経新聞 2020年11月16日新聞・雑誌
高温ダイヤモンドMEMS磁気センサの開発に成功

NIMS プレス発表 2020年11月13日その他

廖梅勇

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研究キーワード

研究分野

経歴

学歴

委員歴

受賞

論文

MISC

書籍等出版物

講演・口頭発表等

所属学協会

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