三宅秀人 (Hideto Miyake) - マイポータル

基本情報

所属: 三重大学工学研究科　電気電子工学専攻教授

学位: 工学修士(1988年3月大阪大学大学院基礎工学研究科)
工学博士(1994年4月大阪大学)

J-GLOBAL ID: 200901094228645780
researchmap会員ID: 1000025932

外部リンク: http://www.opt.elec.mie-u.ac.jp/

研究キーワード

研究分野

経歴

2022年4月 - 現在

三重大学大学院工学研究科電気電子工学専攻教授
2021年4月 - 2022年3月

三重大学大学院地域イノベーション学研究副研究科長
2017年4月 - 2021年3月

三重大学大学院地域イノベーション学研究科研究科長
2015年4月 - 2021年3月

三重大学大学院地域イノベーション学研究科教授
2015年3月 - 2015年4月

三重大学大学院工学研究科教授
2007年4月 - 2015年3月

三重大学大学院工学研究科准教授
1997年4月 - 2007年3月

三重大学工学部助教授
1988年4月 - 1997年3月

三重大学工学部助手

学歴

- 1988年

大阪大学基礎工学研究科物理系電気工学分野
- 1986年

山梨大学工学部電気工学科

受賞

2022年3月

三重大学優秀論文・著書・作品賞三重大学

三宅秀人
2022年3月

三重大学賞三重大学

三宅秀人
2021年

論文賞日本結晶成長学会

佐藤恒輔(名城大学、旭化成)、岩谷素顕(名城大学)、竹内哲也(名城大学)、三宅秀人(三重大学)
2021年

論文賞応用物理学会

佐藤恒輔(名城大学、旭化成)、岩谷素顕(名城大学)、竹内哲也(名城大学)、三宅秀人(三重大学)
2020年9月

第14回（2020年度）フェロー応用物理学会

AlGaN系窒化物半導体のエピタキシャル成長と光デバイス応用
2017年11月

知的財産最優秀出願賞三重大学

窒化アルミニウム(AlN, 膜を有する基板および窒化アルミニウム(AlN, 膜の製造方法
2015年10月

第22回日本結晶成長学会技術賞サファイア基板上への高品質窒化アルミニウム成長技術日本結晶成長学会
2015年

ISPlasma2015 Best Presentation Award
2008年

JABEE 感謝状日本技術者認定機構
2008年

APEX/JJAP貢献賞応用物理学会
1996年

日本MRSシンポジウム奨励賞日本材料学会
1994年

応用物理学会賞B(奨励賞) 応用物理学会

論文

282

Optical characterization of point defects on internal quantum efficiency in AlGaN quantum wells grown on face-to-face-annealed sputtered AlN templates

Satoshi Kurai, Megumi Fujii, Yuta Ohnishi, Ryota Oshimura, Kosuke Inai, Kunio Himeno, Narihito Okada, Kenjiro Uesugi, Hideto Miyake, Yoichi Yamada

AIP Advances 13(4) 2023年4月1日
Micro- and Nanostructure Analysis of Vapor-Phase-Grown AlN on Face-to-Face Annealed Sputtered AlN/Nanopatterned Sapphire Substrate Templates

Yudai Nakanishi, Yusuke Hayashi, Takeaki Hamachi, Tetsuya Tohei, Yoshikata Nakajima, Shiyu Xiao, Kanako Shojiki, Hideto Miyake, Akira Sakai

Journal of Electronic Materials 1-10 2023年3月29日査読有り
Development of AlGaN-based laser diodes in the UV-A to UV-B regions

Motoaki Iwaya, Sho Iwayama, Tetsuya Takeuchi, Satoshi Kamiyama, Hideto Miyake

Novel In-Plane Semiconductor Lasers XXII PC1244005 2023年3月17日査読有り
Demonstration of ultraviolet-B AlGaN-based laser diode operation with a peak light output power of 150 mW by improving injection efficiency through polarization charge modulation

Ryosuke Kondo, Ayumu Yabutani, Tomoya Omori, Kazuki Yamada, Eri Matsubara, Ryota Hasegawa, Toma Nishibayashi, Sho Iwayama, Tetsuya Takeuchi, Satoshi Kamiyama, Hideto Miyake, Motoaki Iwaya

Applied Physics Letters 121(25) 253501-253501 2022年12月19日査読有り
Deep ultraviolet light sources for post-COVID-19 sustainable society

Yoichi Kawakami, Hideki Hirayama, Hideto Miyake, Motoaki Iwaya, Yoshitaka Taniyasu

Japanese Journal of Applied Physics 61(11) 110401-110401 2022年10月18日査読有り
A method for exfoliating AlGaN films from sapphire substrates using heated and pressurized water

Eri Matsubara, Ryota Hasegawa, Toma Nishibayashi, Ayumu Yabutani, Ryoya Yamada, Yoshinori Imoto, Ryosuke Kondo, Sho Iwayama, Tetsuya Takeuchi, Satoshi KAMIYAMA, Kanako SHOJIKI, Shinya Kumagai, Hideto MIYAKE, Motoaki Iwaya

Applied Physics Express 15(11) 116502 2022年10月5日査読有り
Molecular beam homoepitaxy of N-polar AlN: Enabling role of aluminum-assisted surface cleaning

Zexuan Zhang, Yusuke Hayashi, Tetsuya Tohei, Akira Sakai, Vladimir Protasenko, Jashan Singhal, Hideto Miyake, Huili Grace Xing, Debdeep Jena, YongJin Cho

Science Advances 8(36) 2022年9月9日査読有り
Thermal radiation resonating with longitudinal optical phonon from surface micro-stripe structures on metal-gallium nitride and sapphire

Bojin Lin, Hnin Lai Lai Aye, Yuto Imae, Kotaro Hayashi, Haruki Orito, Bei Ma, Shigeyuki Kuboya, Hideto Miyake, Yoshihiro Ishitani

Materials Science in Semiconductor Processing 147 106726-106726 2022年8月査読有り
大腸菌クローン集団中のUV耐性細胞の存在とそのUV殺菌条件の確立

市川俊輔, 岡崎美香, 岡村実奈, 西村訓弘, 三宅秀人

日本水環境学会年会講演集 231 112448-112448 2022年6月査読有り
Impacts of Si-doping on vacancy complex formation and their influences on deep ultraviolet luminescence dynamics in Al_xGa_1−xN films and multiple quantum wells grown by metalorganic vapor phase epitaxy

Shigefusa F. Chichibu, Hideto Miyake, Akira Uedono

Japanese Journal of Applied Physics 61(5) 050501-050501 2022年5月1日査読有り
263 nm wavelength UV-C LED on face-to-face annealed sputter-deposited AlN with low screw- and mixed-type dislocation densities

Kenjiro Uesugi, Shigeyuki Kuboya, Kanako Shojiki, Shiyu Xiao, Takao Nakamura, Masataka Kubo, Hideto Miyake

Applied Physics Express 15(5) 055501-055501 2022年5月1日査読有り
Centimeter-scale laser lift-off of an AlGaN UVB laser diode structure grown on nano-patterned AlN

Kanako Shojiki, Moe Shimokawa, Sho Iwayama, Tomoya Omori, Shohei Teramura, Akihiro Yamaguchi, Motoaki Iwaya, Tetsuya Takeuchi, Satoshi Kamiyama, Hideto Miyake

Applied Physics Express 15(5) 051004-051004 2022年5月1日査読有り
Fabrication of vertical AlGaN-based deep-ultraviolet light-emitting diodes operating at high current density (∼43 kA cm⁻²) using a laser liftoff method

Moe Shimokawa, Yuya Yamada, Tomoya Omori, Kazuki Yamada, Ryota Hasegawa, Toma Nishibayashi, Ayumu Yabutani, Sho Iwayama, Tetsuya Takeuchi, Satoshi Kamiyama, Motoaki Iwaya, Hideto Miyake, Kohei Miyoshi, Koichi Naniwae, Akihiro Yamaguchi

Applied Physics Express 15(4) 041006-041006 2022年4月1日査読有り
Cathodoluminescence Study of m‐Plane α‐Ga ₂ O ₃ Grown by Mist Chemical Vapor Deposition

Ryo Moriya, Junjiro Kikawa, Shinichiro Mouri, Takashi Shinohe, Shiyu Xiao, Hideto Miyake, Tsutomu Araki

physica status solidi (b) 259(4) 2100598-2100598 2022年4月査読有り
Recent development of UV-B laser diodes

Motoaki Iwaya, Shunya Tanaka, Tomoya Omori, Kazuki Yamada, Ryota Hasegawa, Moe Shimokawa, Ayumu Yabutani, Sho Iwayama, Kosuke Sato, Tetsuya Takeuchi, Satoshi Kamiyama, Hideto Miyake

Japanese Journal of Applied Physics 61(4) 040501-040501 2022年4月1日査読有り
Reduction of dislocation density in lattice-relaxed Al_0.68Ga_0.32N film grown on periodical 1 μm spacing AlN pillar concave-convex patterns and its effect on the performance of UV-B laser diodes

Tomoya Omori, Ayumu Yabutani, Shunya Tanaka, Kazuki Yamada, Moe Shimokawa, Ryota Hasegawa, Sho Iwayama, Hideto Miyake, Tetsuya Takeuchi, Satoshi Kamiyama, Motoaki Iwaya

Applied Physics Express 15(3) 031004-031004 2022年3月1日査読有り
Emission color modulation of InGaN/GaN multiple quantum wells by selective area metalorganic vapor phase epitaxy on hexagonal windows

Shin Yoshida, Kanako Shojiki, Hideto Miyake, Masahiro Uemukai, Tomoyuki Tanikawa, Ryuji Katayama

Japanese Journal of Applied Physics 61(3) 030904-030904 2022年3月1日査読有り
Reduction of dislocation density in Al<inf>0.6</inf>Ga<inf>0.4</inf>N film grown on sapphire substrates using annealed sputtered AlN templates and its effect on UV-B laser diodes

Moe Shimokawa, Shohei Teramura, Shunya Tanaka, Tomoya Omori, Kazuki Yamada, Yuya Ogino, Ayumu Yabutani, Sho Iwayama, Kosuke Sato, Motoaki Iwaya, Tetsuya Takeuchi, Satoshi Kamiyama, Isamu Akasaki, Hideto Miyake

Journal of Crystal Growth 575 2021年12月1日査読有り
Extremely high internal quantum efficiency of AlGaN-based quantum wells on face-to-face annealed sputter-deposited AlN templates

Hideaki Murotani, Atsushi Fujii, Ryota Oshimura, Takafumi Kusaba, Kenjiro Uesugi, Hideto Miyake, Yoichi Yamada

Applied Physics Express 14(12) 122004-122004 2021年12月1日査読有り
Fabrication of AlN templates by high-temperature face-to-face annealing for deep UV LEDs

Kenjiro Uesugi, Hideto Miyake

Japanese Journal of Applied Physics 60(12) 120502-120502 2021年12月1日査読有り

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MISC

238

高温アニールしたスパッタ成膜AlNテンプレートを用いたUV-C LEDの開発 (光・量子デバイス研究会・パワー光源システム技術研究会)

上杉謙次郎, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 肖世玉, 三宅秀人

電気学会研究会資料. OQD = The papers of technical meeting on optical and quantum devices, IEE Japan 2021(34) 17-22 2021年7月20日
異なるAlNテンプレート上AlGaN量子井戸構造の内部量子効率

押村遼太, 稲井滉介, 草場崇史, 藤井厚志, 倉井聡, 岡田成仁, 室谷英彰, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 山田陽一

応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会講演予稿集 2021 2021年
ナノビームX線回折法によるNPSS上AlN厚膜の深さ分解結晶性トモグラフィック評価

山本望, 林侑介, 濱地威明, 中西悠太, 藤平哲也, 隅谷和嗣, 今井康彦, 木村滋, 正直花奈子, 三宅秀人, 酒井朗

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 68th 2021年
Estimating efficiency of AlGaN light-emitting diodes with numerical simulations

Konrad Sakowski, Kazuki Yamada, Kosuke Sato, Pawel Kempisty, Motoaki Iwaya, Hideto Miyake, Pawel Strak, Akira Kusaba, Yoshihiro Kangawa, Stanislaw Krukowski

日本結晶成長学会誌 47(3) 47-3-05:1-47-3-05:9 2020年10月30日査読有り
高温アニールしたスパッタAlN上に成長させたAlNの陰極線蛍光評価(1)

嶋紘平, 中須大蔵, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 小島一信, 上殿明良, 三宅秀人, 秩父重英

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th 2020年
高温アニールしたスパッタAlN上に成長させたAlNの陰極線蛍光評価(2)

中須大蔵, 嶋紘平, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 小島一信, 上殿明良, 三宅秀人, 秩父重英

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th 2020年
高温アニールスパッタAlN上にMOVPE成長させたAlNの陰極線蛍光評価(2)

粕谷拓生, 嶋紘平, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 小島一信, 上殿明良, 三宅秀人, 秩父重英

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 81st 2020年
高温アニールスパッタAlN上にMOVPE成長させたAlNの陰極線蛍光評価(1)

嶋紘平, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 小島一信, 上殿明良, 三宅秀人, 秩父重英

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 81st 2020年
深紫外LED応用に向けた低転位密度AlNの作製 (特集深紫外発光デバイスの実現に向けた窒化物半導体結晶成長の進展)

上杉謙次郎, 王丁, 正直花奈子, 窪谷茂幸, 三宅秀人

日本結晶成長学会誌 Journal of the Japanese Association for Crystal Growth 47(3) 1-10 2020年
アニール処理されたスパッタAlNテンプレート上AlGaN多重量子井戸における内部量子効率のc面サファイアm軸オフ角依存性

押村遼太, 赤松勇紀, 藤井厚志, 倉井聡, 室谷英彰, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 山田陽一

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th 2020年
高温アニールした微傾斜サファイア基板上スパッタ成膜AlNテンプレートに成長されたAlGaN多重量子井戸内部量子効率評価

押村遼太, 藤井厚志, 中谷文哉, 倉井聡, 室谷英彰, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 山田陽一

応用物理・物理系学会中国四国支部合同学術講演会講演予稿集 2020 (Web) 2020年
高温熱処理したスパッタAlN膜の熱歪解析

林侑介, 上杉謙次郎, 正直花奈子, 三宅秀人, 藤平哲也, 酒井朗

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th 2020年
スパッタ法と高温アニールで作製した-c/+c AlN薄膜の電子線回折による極性判定

林侑介, 野本健斗, 濱地威明, 藤平哲也, 三宅秀人, 五十嵐信行, 酒井朗

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 81st 2020年
N-PSS上スパッタ堆積アニールAlNテンプレートに成長させたAlN厚膜の微細構造解析

山本望, 濱地威明, 林侑介, 藤平哲也, 三宅秀人, 酒井朗

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 81st 2020年
AlGaN多重量子井戸構造における内部量子効率の井戸幅および障壁層Al組成比依存性

赤松勇紀, 藤井厚志, 倉井聡, 室谷英彰, 三宅秀人, 山田陽一

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
近赤外波長変換に向けた+c AlN/-c AlN構造の作製

林侑介, 上杉謙次郎, 正直花奈子, 片山竜二, 酒井朗, 三宅秀人

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
r面サファイア上a面AlNスパッタ膜の高品質化と特性評価 (電子デバイス)

福田涼, 正直花奈子, 蒋楠, 上杉謙次郎, 林侑介, 肖世玉, 三宅秀人

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 118(330) 83-86 2018年11月29日
Improvement mechanism of sputtered AlN films by high-temperature annealing

Shiyu Xiao, Ryoya Suzuki, Hideto Miyake, Shunta Harada, Toru Ujihara

Journal of Crystal Growth 502 41-44 2018年11月査読有り
一次元金属回折格子を用いた表面プラズモンセンサーのプラズモン励起特性及び感度特性 (マイクロ波・ミリ波フォトニクス)

伊藤優佑, 元垣内敦司, 三宅秀人, 平松和政

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 117(409) 47-52 2018年1月25日
二層型ワイヤーグリッド構造における伝搬型表面プラズモンの伝搬特性に関する研究 (マイクロ波・ミリ波フォトニクス)

渡邊直也, 元垣内敦司, 三宅秀人, 平松和政

電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 117(409) 41-45 2018年1月25日

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書籍等出版物

Solution Growth of CuGaS₂ Single Crystals(共著)

Proceedings of the 8th International Conference of Ternary & Multinary Compounds 1990年

講演・口頭発表等

158

スパッタアニール A lN を用いた波長 2 30 n m 帯 U V LED の開発

上杉謙次郎, 市川修平, 肖世玉, 正直花奈子, 中村孝夫, 土谷, 正彦, 小島一信, 三宅秀人

第70回応用物理学会春季学術講演会
ピラー形成 AlN テンプレート上への HVPE法による AlN厚膜成長

肖世玉, 岩山章, 上杉謙次郎, 正直花奈子, 岩谷素顕, 三宅秀人

第70回応用物理学会春季学術講演会
マルチ・スパッタアニール法による多層極性反転 AlN構造の作製

玉野智大, 正直花奈子, 本田啓人, 上杉, 謙次郎, 肖世玉, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二, 三宅秀人

第70回応用物理学会春季学術講演会
ゲート絶縁膜を有するAlGaNチャネルHEMTの作製と評価

中岡樹, 上杉謙次郎, 漆山真, 正直花奈子, 三宅秀人

第14回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
スパッタアニール法作製a面AlNのc軸配向方向の基板微傾斜角度依存性

小川優輝, 渋谷康太, 上杉謙次郎, 肖世玉, 正直花奈子, 秋山亨, 三宅秀人

第14回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
低転位密度N極性AlNテンプレート上MOVPEホモエピタキシャル成長のサファイア基板オフ角度依存性

並河楽空, 正直花奈子, 吉田莉久, 上杉謙次郎, 三宅秀人

第14回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
ステップ端密度が制御された AlN 表面への GaN AlN 量子井戸の MOVPE 成長

山中祐人, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 肖世玉, 三宅秀人

第14回ナノ構造・エピタキシャル成長講演会
スパッタアニール法によるAlN垂直方向極性反転構造の作製

正直花奈子, 上杉謙次郎, 肖世玉, 三宅秀人

第41回電子材料シンポジウム（EMS41）
Fabrication of high-quality AlN templates by Face-to-face annealing of sputter-deposited films

H. Miyake, K. Uesugi, S. Xiao, K. Shojiki, T. Nakamura

International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN 2022) 2022年10月9日招待有り
窒化物半導体結晶成長技術を駆使した量子光源の開発

正直花奈子, 本田啓人, 上杉謙次郎, 肖世玉, 谷川智之, 片山竜二, 三宅秀人

第83回応用物理学会秋季学術講演会
m 面サファイア基板上スパッタアニールAlN の面方位制御

上杉謙次郎, 張芸賢, 正直花奈子, 肖世玉, 三宅秀人

第83回応用物理学会秋季学術講演会
スパッタアニール法作製 a 面 AlN における結晶性のスパッタ温度依存性

小川優輝, 渋谷康太, 上杉謙次郎, 肖世玉, 正直花奈子, 三宅秀人

第83回応用物理学会秋季学術講演会
サファイア上への MOVPE法による BN成長と高温アニール

井谷彩花, 窪谷茂幸, 肖世玉, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 三宅秀人

第83回応用物理学会秋季学術講演会
HfO2/AlN 横型擬似位相整合チャネル導波路を用いた 230 nm 遠紫外第二高調波発生

本田啓人, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 芹田和則, 村上博成, 斗内政吉, 上向井正裕, 谷川智之, 片山竜二

第83回応用物理学会秋季学術講演会
スパッタAlN テンプレート上AlGaN 量子井戸構造における貫通転位近傍のCL 強度ラインプロファイル

藤井恵, 大西悠太, 稲井滉介, 押村遼太, 倉井聡, 岡田成仁, 上杉謙次郎, 三宅秀人, 山田陽一

第83回応用物理学会秋季学術講演会
Polarity Control of Face-to-Face Annealed Sputtered AlN

Kanako Shojiki, Kenjiro Uesugi, Shiyu Xiao, Hideto Miyake

The 22nd International Vacuum Congress (IVC-22)
MOVPE Homoepitaxial Growth on N-polar Annealed Sputter-Deposited AlN Films

Gaku Namikawa, Kanako Shojiki, Riku Yoshida, Kenjiro Uesugi, Hideto Miyake

The 22nd International Vacuum Congress (IVC-22) 2022年9月11日
Polarity Control of Sputter-Deposited AlN with High-Temperature Face-to-Face Annealing

Kanako Shojiki, Kenjiro Uesugi, Shiyu Xiao, Hideto Miyake

the 9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI-IX)
Fabrication of Face-to-Face Annealed Sputter-Deposited AlN for High EQE 265 nm LEDs

Kenjiro Uesugi, Shigeyuki Kuboya, Takao Nakamura, Kanako Shojiki, Shiyu Xiao, Masataka Kubo, Hideto Miyake

The 5th International Workshop on Ultraviolet Materials and Devices (IWUMD 2022) 2022年5月26日招待有り
スパッタアニールAlNの極性制御

正直花奈子, 上杉謙次郎, 肖世玉, 三宅秀人

第一回極性制御研究会 2022年5月18日招待有り

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三宅秀人

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研究分野

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学歴

受賞

論文

MISC

書籍等出版物

講演・口頭発表等

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