2014年12月11日
光学フィルタへの応用に向けた金属2次元回折格子構造の作製と光学特性評価(光パッシブコンポネント(フィルタ,コネクタ,MEMS),半導体レーザ関連技術,シリコンフォトニクス,一般)
電子情報通信学会技術研究報告. OPE, 光エレクトロニクス
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- 巻
- 114
- 号
- 377
- 開始ページ
- 11
- 終了ページ
- 14
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 出版者・発行元
- 一般社団法人電子情報通信学会
従来技術に変わる熱線遮蔽対策として,可視光は透過,赤外光は反射を同時に達成するコールドフィルタを実現するために,金属2次元回折格子を電子線リソグラフィ技術とリフトオフ工程を利用して作製し、分光器を用いて光学特性評価を行った.その結果,リフトオフ工程を省略して作製できる2層型2次元回折格子の周期800nmにおいて,可視光全体で0次光の反射率の減少が見られた.また,2層間間隔と反射率・透過率の関係を調べることによって, 2層間間隔が狭くなるとAu薄膜に特性が近くなり,反射スペクトルの極小・極大を持つ波長がシフトしていくことが分かった.
- リンク情報
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- CiNii Articles
- http://ci.nii.ac.jp/naid/110009977801
- CiNii Books
- http://ci.nii.ac.jp/ncid/AN10442691
- ID情報
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- ISSN : 0913-5685
- CiNii Articles ID : 110009977801
- CiNii Books ID : AN10442691
- identifiers.cinii_nr_id : 9000004337538