2020年 高温アニールしたスパッタAlN上に成長させたAlNの陰極線蛍光評価(2) 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 中須大蔵, 嶋紘平, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 小島一信, 上殿明良, 三宅秀人, 秩父重英 巻 67th 号 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=202002225969022558 ID情報 J-Global ID : 202002225969022558 エクスポート BibTeX RIS
