2021年9月 スパッタアニールAlNテンプレート上UV-C AlGaN量子井戸成長 第82回応用物理学会秋季学術講演会 石原頌也, 窪谷茂幸, 正直花奈子, 上杉謙次郎, 肖世玉, 三宅秀人 開催年月日 2021年9月10日 - 2021年9月13日 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表(一般)