国際会議 Polarity Control of Face-to-Face Annealed Sputtered AlN The 22nd International Vacuum Congress (IVC-22) Kanako Shojiki, Kenjiro Uesugi, Shiyu Xiao, Hideto Miyake 開催年月日 2022年9月11日 - 2022年9月16日 記述言語 英語 会議種別 口頭発表(一般) 開催地 Sapporo Convention Center, Sapporo 国・地域 日本