HfO2/AlN 横型擬似位相整合チャネル導波路を用いた 230 nm 遠紫外第二高調波発生 第83回応用物理学会秋季学術講演会 本田 啓人, 正直 花奈子, 上杉 謙次郎, 三宅 秀人, 芹田 和則, 村上 博成, 斗内 政吉, 上向井 正裕, 谷川 智之, 片山 竜二 開催年月日 2022年9月20日 - 2022年9月23日 記述言語 日本語 会議種別 口頭発表(一般)