2023年3月29日
Micro- and Nanostructure Analysis of Vapor-Phase-Grown AlN on Face-to-Face Annealed Sputtered AlN/Nanopatterned Sapphire Substrate Templates
Journal of Electronic Materials
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- 開始ページ
- 1
- 終了ページ
- 10
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- DOI
- 10.1007/s11664-023-10348-3
- 出版者・発行元
- Springer Science and Business Media LLC
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.1007/s11664-023-10348-3
- ISSN : 0361-5235
- eISSN : 1543-186X