福島第一原子力発電所の廃炉に向けた炉内構造材へのCs化学吸着挙動の研究として、Cs化学吸着により生成したCs化合物の硬X線光電子分光法(HAXPES)等による評価が行われている。HAXPESの価電子のエネルギー領域ではCs 5p成分の寄与が大きく、スピン軌道相互作用によりCs 5p$_{1/2}$とCs 5p$_{3/2}$の成分のピークに分裂しているが、一部が重なっている。DFT計算を用いたHAXPESスペクトルの解析のためには、Cs 5p成分のピークをCs 5p$_{1/2}$とCs 5p$_{3/2}$の成分に分離する必要がある。そこで、DFT計算によるスピン軌道相互作用がある場合のCs 5p成分のピークを、スピン軌道相互作用を考慮せず計算したCs 5p成分を用いて分離するスキームを考案し、CsSiFeO$_4$のHAXPESスペクトルの解析に適用した。本スキームにより求めたスペクトルは測定結果を良く再現しており、本スキームはCsSiFeO$_4$のピークの解析に有効であると考えられる。