三田信 (Makoto Mita) - マイポータル

基本情報

所属: 国立研究開発法人宇宙航空研究開発機構宇宙科学研究所

学位: 博士(工学)(2002年3月東京大学)

J-GLOBAL ID: 202001017301959342
researchmap会員ID: R000015216

研究キーワード

研究分野

受賞

2020年1月

電気学会論文誌E「センサ・マイクロマシン英文特集号」優秀論文賞, 電気学会

三田信, 安宅学, 年吉洋
2012年10月

優秀論文賞, ハードウェア記述言語を用いた集積化CMOS-MEMS 統合設計技術, 応用物理学会

小西敏文, 丸山智史, 三田信, 山根大輔, 伊藤浩之, 町田克之, 石原昇, 益一哉, 藤田博之, 年吉洋
2009年4月

ポスター発表賞, 集積化ＭＥＭＳのための連成解析手法に関する研究, 豊橋技術科学大学Ｇ−ＣＯＥ

丸山智史, 三田信, 藤田博之, 年吉洋

論文

116

Out-of-plane polysilicon actuator with a smooth vertical mirror for optical fiber switch application

Makoto Mita, Daisuke Miyauchi, Hiroshi Toshiyoshi, Hiroyuki Fujita

LEOS Summer Topical Meeting 33-34 1998年
Micromechanical tunneling probes & actuators on a silicon chip

Hiroshi Toshiyoshi, Makoto Mita, Masahide Goto, Gen Hashiguchi, Hiroyuki Fujita, Dai Kobayashi, Junji Endo, Yasuo Wada

1999 International Microprocesses and Nanotechnology Conference 180-181 1999年査読有り
Micromachined tunneling current device for the direct observation of the tunneling gap

Hiroyuki Fujita, Gen Hashiguchi, Makoto Mita, Hiroshi Toshiyoshi, Dai Kobayashi, Masahide Goto, Yasuo Wada, Junji Endo

IEEE Symposium on Emerging Technologies and Factory Automation, ETFA 1 367-372 1999年
遅延マスク法によるシリコンの3次元バルクマイクロ構造

三田信, 三田吉郎, 年吉洋, 藤田博之

電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 119(5) 310-311 1999年5月査読有り
A digital-to-analog converter of displacement by an integrated micromechanism

H Toshiyoshi, D Kobayashi, M Mita, G Hashiguchi, H Fujita, J Endo, Y Wada

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS 38(5B) L593-L595 1999年5月
<研究速報>シリコンマイクロマシニングによるステップアクチュエータ (<小特集>マイクロマシン)

年吉洋, 小林大, 三田信, 橋口原, 藤田博之, 遠藤潤二, 和田恭雄

生産研究 51(8) 647-650 1999年8月
Fabrication of micromechanical tunneling probes and actuators on a silicon chip

H Toshiyoshi, M Goto, M Mita, H Fujita, D Kobayashi, G Hashiguchi, J Endo, Y Wada

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES & REVIEW PAPERS 38(12B) 7185-7189 1999年12月
Fabrication of an Inverted Scratch-Drive-Actuator for a Pwerful and Precise Conveyance System

MITA Yoshio, COLLARD Dominique, MITA Makoto, FUJITA Hiroyuki

電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 119(12) 648-649 1999年12月1日
Multiple-height Microstructures Fabricated by ICP-RIE and Embedded Masking Layers

Makoto Mita, Yoshio Mita, Hiroshi Toshiyoshi, Hiroyuki Fujita

IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines 120(11) 493-497 2000年査読有り筆頭著者
Embedded-mask-methods for mm-scale multi-layer vertical/slanted Si structures

Yoshio Mita, Makoto Mita, Agnes Tixier, Jean Philippe Gouy, Hiroyuki Fujita

Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 300-305 2000年
Self aligned vertical mirrors and V-grooves applied to a self-latching matrix switch for optical networks

Philippe Helin, Makoto Mita, Hiroyuki Fujita

Proceedings of the IEEE Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) 467-472 2000年
Self-aligned mirror and V-grooves in free-space micromachined optical switches

P Helin, M Mita, H Fujita

ELECTRONICS LETTERS 36(6) 563-564 2000年3月査読有り
Microelectromechanical digital-to-analog converters of displacement for step motion actuators

H Toshiyoshi, D Kobayashi, M Mita, G Hashiguchi, H Fujita, J Endo, Y Wada

JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS 9(2) 218-225 2000年6月査読有り
A Silicon Shadow Mask with Unlimited Patterns and a Mechanical Alignment Structure by Al-Delay Masking Process (特集:立体的微細加工)

Mita Yoshio, Tixer Agnes, Oshima Satoshi, MITA Makoto, GOUY Jean-philippe, FUJITA Hiroyuki

電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 120(7) 357-362 2000年7月1日
Micromachined tools for nano technology-twin nano-probes and nano-scale gap control by integrated microactuators

K Kakushima, M Mita, D Kobayashi, G Hashiguchi, J Endo, Y Wada, H Fujita

14TH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST 294-297 2001年査読有り
Characterization of bulk micromachined tunneling tip integrated with positioning actuator

M Mita, H Toshiyoshi, K Kakushima, G Hashiguchi, D Kobayashi, J Endo, Y Wada, H Fujita

FIFTEENTH IEEE INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS, TECHNICAL DIGEST 352-355 2002年査読有り
Electrostatic piggyback microactuators for head element positioning

M. Mita, H. Toshiyoshi, H. Fujita

Digest of the Asia-Pacific Magnetic Recording Conference 2002, APMRC 2002 2002年査読有り
Si鋳型を用いた微細穴の試作

安井学, 角嶋邦之, 平林康男, 三田信, 藤田博之

電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン準部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. A publication of Sensors and Micromachines Society 122(8) 415-416 2002年8月1日
A MEMS piggyback actuator for hard-disk drives

H Toshiyoshi, M Mita, H Fujita

JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS 11(6) 648-654 2002年12月
A Micromachined Impact Microactuator Driven by Electrostatic Force

MITA M.

J. Microelectromech. Syst. 12(1) 37-41 2003年筆頭著者

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MISC

宇宙科学の技術フロントローディング活動について

山田和彦, 船瀬龍, 福田盛介, 野中聡, 山崎典子, 臼井寛裕, 和泉究, 山口弘悦, 三浦昭, 三田信 …

宇宙科学技術連合講演会講演集(CD-ROM) 66th 2022年
地球磁気圏X線撮像計画GEO-X(GEOspace X-ray imager)の現状

江副祐一郎, 船瀬龍, 船瀬龍, 永田晴紀, 三好由純, 中嶋大, 三石郁之, 石川久美, 上野宗孝, 山崎敦 …

日本地球惑星科学連合大会予稿集(Web) 2021 2021年
宇宙開発の今~究極のクリーン化を目指して~宇宙ナノエレクトロニクスクリーンルームを用いた研究開発

山崎典子, 川崎繁男, 三田信, 和田武彦, 石川久美

クリーンテクノロジー 30(9) 2020年
小型プローブの放出実験

三田信, 福島洋介, Mita Makoto, Fukushima Yosuke

観測ロケットシンポジウム2018 講演集 = Proceedings of Sounding Rocket Symposium 2018 2018年7月
S-310-45号機PI機器準備状況

福島洋介, 三田信, Fukushima Yosuke, Mita Makoto

観測ロケットシンポジウム2018 講演集 = Proceedings of Sounding Rocket Symposium 2018 2018年7月
Development of the Laser Altimeter (LIDAR) for Hayabusa2

T. Mizuno, T. Kase, T. Shiina, M. Mita, N. Namiki, H. Senshu, R. Yamada, H. Noda, H. Kunimori, N. Hirata …

SPACE SCIENCE REVIEWS 208(1-4) 33-47 2017年7月
ミリ波ホーンOMT-MKIDカメラの開発

関本裕太郎, 新田冬夢, 杉山洋佑, 服部将吾, 永井誠, Dominjon Agnes, Shan Wenlei, 長谷部孝, 木内等, 松尾宏 …

第4回宇宙ナノエレクトロニクスワークショップ予稿集 = 4th Workshop of Nano-Electronics For Space Use 2016年12月
観測ロケット PI 部用慣性プラットフォームの試み

福島洋介, 三田信, Fukushima Yosuke, Mita Makoto

大気球シンポジウム: 平成28年度 = Balloon Symposium: 2016 2016年11月
小型・軽量な宇宙機用IRU実現へ向けたMEMSジャイロの研究開発

鈴木カレブ, 中下修治, 小林健二, 福田智洋, 吉田幸久, 小島正人, 坂井真一郎, 福田盛介, 三田信

宇宙科学技術連合講演会講演集 60 4p 2016年9月6日
将来は宇宙で仕事超軽量シリコン・メカ部品

三田信

トランジスタ技術 51(3) 2014年
光MEMS技術の宇宙衛星・探査機への応用

三田信

光技術コンタクト 49(8) 2011年
C-3-65 MEMS空間光位相変調器を用いた光ビーム形状操作(C-3.光エレクトロニクス,一般セッション)

山下真司, 三田信, 藤田博之, 山本毅, 河合正昭, 矢野光博

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集 2008(1) 187-187 2008年9月2日
Evaluation of X-ray reflectivity of a MEMS X-ray optic

I. Mitsuishi, Y. Ezoe, M. Koshiishi, M. Mita, Y. Maeda, N. Y. Yamasaki, K. Mitsuda, T. Shirata, T. Hayashi, T. Takano …

2008 IEEE/LEOS INTERNATIONAL CONFERENCE ON OPTICAL MEMS AND NANOPHOTONICS 104-105 2008年査読有り
2次元走査型LIDAER用MEMSスキャナ

三田信, 水野貴秀, 年吉洋, 藤田博之

電子情報通信学会技術研究報告. SANE, 宇宙・航行エレクトロニクス 107(365) 25-28 2007年11月23日
Silicon micro-pore X-ray optics

Y. Ezoe, M. Koshiishi, M. Mita, K. Mitsuda, A. Hoshino, Y. Ishisaki, T. Takano, R. Maeda

NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION A-ACCELERATORS SPECTROMETERS DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT 579(2) 817-820 2007年9月
B-10-34 一次元MEMSアレイを用いた空間光位相変調器(B-10.光通信システムA(線路),一般講演)

山下真司, 三田信, 藤田博之, 山本毅, 河合正昭, 矢野光博

電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集 2007(2) 228-228 2007年8月29日
AN OVERVIEW AND LESSONS-LEARNED OF SMALL SCIENTIFIC SATELLITE "INDEX" (REIMEI)

Saito Hirobumi, Mizuno Takahide, Tanaka Koji, SONE Yoshitsugu, FUKUDA Seisuke, SAKAI Shin-ichiro, OKUIZUMI Nobukats, MITA Makoto, FUKUSHIMA Yosuke, HIRAHARA Masafumi …

電子情報通信学会技術研究報告. SANE, 宇宙・航行エレクトロニクス 107(2) 43-48 2007年4月9日
Design and fabrication of a MEMS X-ray optic using anisotrospic wet eetching of Si Wafers

M. Koshiishi, Y. Ezoe, M. Mita, K. Mitsuda, T. Takano, R. Maeda, Y. Ishisaki

IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Their Applications Conference, 2006 84-85 2006年12月1日
2次元走査LIDARのためのMEMS技術を用いた送信系に関する実験研究

梶川泰広, 林卓矢, 三田信, 水野貴秀

電子情報通信学会技術研究報告. SANE, 宇宙・航行エレクトロニクス 106(380) 13-16 2006年11月17日
22pSH-10 半導体微細加工技術MEMSを用いた超軽量X線光学系の開発(1)(22pSH X線・γ線,宇宙線・宇宙物理領域)

江副祐一郎, 輿石真樹, 三田信, 満田和久, 星野晶夫, 石崎欣尚, 高野貴之, 前田龍太郎

日本物理学会講演概要集 61(2) 70-70 2006年8月18日

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書籍等出版物

電気学会誌135 巻 , 11 号

(担当:分担執筆, 範囲:宇宙開発におけるMEMSの役割)

2015年11月
MEMS/NEMS工学全集

桑野, 博喜 (担当:分担執筆)

テクノシステム 2009年4月 (ISBN: 9784924728592)

講演・口頭発表等

観測ロケット用実験プラットフォームの実証実験

三田信, 福島洋介

2024年度観測ロケットシンポジウム 2025年3月6日
月の縦孔・地下空洞探査用全方位カメラの検討

池谷広大, 三田信, 春山純一, 三宅亙, 田中真

第68回宇宙科学技術連合講演会
観測ロケット用実験プラットフォームの開発

三田信

第68回宇宙科学技術連合講演会
将来の宇宙観測・探査と必要とされる技術

三田信

2024年度神奈川支所第1回講演会 2024年7月1日招待有り
観測ロケット用実験プラットフォームの実証実験

三田信, 年吉洋, 安宅学

2023年度観測ロケットシンポジウム
観測ロケット S-520-33 号機による PDC の実証実験結果

三田信, 池谷広大, 三吉昭, 内御堂敬一, 大館誠, 中村久雄, 助川達哉

2023年度観測ロケットシンポジウム
科学衛星「あらせ」のEMC試験

三田信

EMC設計対策コンテストおよびEMCワークショップ 2021年11月4日招待有り
観測ロケットS-310-45号機実験計画・実験報告

福島洋介, 三田信

宇宙航空研究開発機構研究開発資料 JAXA-RM-(Web) 2021年
Flash LIDARのためのガイガーモード3Dイメージセンサ

水野貴秀, 池田博一, 牧野健二, 田村有正, 鈴木祥仁, 枦達也, 足立俊介, 馬場隆, 三田信, 三桝裕也, 星野健

宇宙科学技術連合講演会講演集(CD-ROM) 2020年
MEMSジャイロを適用した宇宙用小型IMUの開発検討

鈴木カレブ, 寅谷敬紀, 小林健二, 中下修治, 中尾秀高, 星加幹, 浦山淳, 吉田幸久, 坂井真一郎, 福田盛介, 三田信

宇宙科学技術連合講演会講演集(CD-ROM) 2020年
地球磁気圏X線撮像計画GEO-X(GEOspace X-ray imager)の現状 III

江副祐一郎, 船瀬龍, 永田晴紀, 三好由純, 笠原慧, 中嶋大, 三石郁之, 石川久美, 上野宗孝, 山崎敦, 長谷川洋, 三田信, 藤本正樹, 川勝康弘, 岩田隆浩, 満田和久, 平賀純子, 小泉宏之, 佐原宏典, 金森義明, 森下浩平, 沼澤正樹

日本天文学会年会講演予稿集 2020年
地球磁気圏X線撮像計画GEO-X(GEOspace X-ray imager)の現状 II

江副祐一郎, 船瀬龍, 永田晴紀, 三好由純, 笠原慧, 中嶋大, 三石郁之, 石川久美, 上野宗孝, 山崎敦, 長谷川洋, 三田信, 満田和久, 藤本正樹, 川勝康弘, 岩田隆浩, 平賀純子, 小泉宏之, 佐原宏典, 金森義明, 森下浩平

日本天文学会年会講演予稿集 2020年
地球磁気圏X線撮像計画GEO-X(GEOspace X-ray imager)の現状

江副祐一郎, 三好由純, 笠原慧, 船瀬龍, 永田晴紀, 中嶋大, 三石郁之, 石川久美, 山崎敦, 長谷川洋, 三田信, 満田和久, 藤本正樹, 川勝康弘, 岩田隆浩, 上野宗孝, 平賀純子, 小泉宏之, 佐原宏典

日本天文学会年会講演予稿集 2019年
Arase衛星における電磁適合性について

小嶋浩嗣, 松岡彩子, 三田信, 熊本篤志, 石坂圭吾, 尾崎光紀, 寺本万里子, 野村麗子, 中澤暁, 浅村和史

宇宙科学技術連合講演会講演集(CD-ROM) 2018年
小型衛星搭載の合成開口レーダその2-搭載機器とデータ伝送-

三田信, 齋藤宏文, 田中孝治, 冨木淳史, 渡邊宏弥, 深見友也, 金子智喜

宇宙科学技術連合講演会講演集(CD-ROM) 2018年
X帯2.8Gbps両偏波ダウンリンク衛星通信システムの開発

金子智喜, 三田信, 齋藤宏文

宇宙科学技術連合講演会講演集(CD-ROM) 2018年
Flash LIDAR用試作InGaAs SPADアレイの評価

水野貴秀, 足立俊介, 枦達也, 藤田卓也, 馬場隆, 中村重幸, 池田博一, 三田信

宇宙科学技術連合講演会講演集(CD-ROM) 2018年
地球磁気圏X線撮像計画GEO-Xの現状

江副祐一郎, 三好由純, 笠原慧, 船瀬龍, 永田晴紀, 上野宗孝, 中嶋大, 木村智樹, 石川久美, 三田信, 満田和久, 藤本正樹, 大橋隆哉

日本天文学会年会講演予稿集 2018年
X帯2.8Gbps両偏波ダウンリンク衛星通信システムの開発

金子智喜, 三田信, 冨木淳史, 齋藤宏文

電子情報通信学会技術研究報告 2018年
火星衛星探査計画MMXのサンプリング装置概念検討報告

澤田弘崇, 加藤裕基, 大槻真嗣, 吉川健人, 菊池隼仁, 三田信, 佐藤泰貴

宇宙科学技術連合講演会講演集(CD-ROM) 2017年