2023年4月1日
静電駆動カンチレバーを用いたMEMS自励発振子
電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
- ,
- 巻
- 143
- 号
- 4
- 開始ページ
- 55
- 終了ページ
- 61
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- DOI
- 10.1541/ieejsmas.143.55
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.1541/ieejsmas.143.55
- ISSN : 1341-8939
- eISSN : 1347-5525