2013年6月 対向ターゲット式DCマグネトロンスパッタ法によるアモルファスIZおよびIGZO薄膜の作製 森賀 俊広 出版者・発行元 株式会社 技術情報協会 記述言語 日本語 著書種別 リンク情報 URLhttps://web.db.tokushima-u.ac.jp/cgi-bin/edb_browse?EID=268646
