杢野由明 (Yoshiaki Mokuno) - マイポータル

基本情報

所属: 国立研究開発法人産業技術総合研究所関西センター

学位: 博士（工学）(1996年9月東北大学)

J-GLOBAL ID: 200901091901509518
researchmap会員ID: 0000044832

研究キーワード

研究分野

ものづくり技術（機械・電気電子・化学工学） / 電気電子材料工学 /

経歴

2025年4月 - 現在

国立研究開発法人産業技術総合研究所, 関西センター, キャリアエキスパート
2024年4月 - 2025年3月

国立研究開発法人産業技術総合研究所, 関西センター, 所長代理
2022年4月 - 2024年4月

国立研究開発法人産業技術総合研究所, 関西センター, 審議役
2020年4月 - 2022年3月

国立研究開発法人産業技術総合研究所, エネルギー・環境領域先進パワーエレクトロニクス研究センター, 総括研究主幹
2018年4月 - 2020年3月

国立研究開発法人産業技術総合研究所, 企画本部, 総括企画主幹
2015年4月 - 2018年3月

国立研究開発法人産業技術総合研究所, エネルギー・環境領域先進パワーエレクトロニクス研究センターダイヤモンド材料チーム, 研究チーム長
2014年9月 - 2015年3月

独立行政法人法人産業技術総合研究所, ユビキタスエネルギー研究部門ダイヤモンドデバイス化研究グループ, 研究グループ長
2001年4月 - 2014年8月

独立行政法人産業技術総合研究所
1993年10月 - 2001年3月

通商産業省工業技術院大阪工業技術研究所
1990年4月 - 1993年9月

通商産業省工業技術院大阪工業技術試験所

学歴

1988年4月 - 1990年3月

東北大学, 大学院工学研究科, 電子工学専攻
1984年4月 - 1988年3月

東北大学, 工学部, 電子工学科

受賞

2017年9月

第１５回産学官連携功労者表彰内閣総理大臣賞, 単結晶ダイヤモンドの工業製品化, 内閣府

藤森直治, 茶谷原昭義, 山田英明, 杢野由明
2008年5月

Outstanding Poster Award, Growth of large single crystal diamond plates by high rate CVD growth, 2nd International Conference on New Diamond and Nano Carbons (NDNC2008)

Y. Mokuno, A. Chayahara, H. Yamada, N. Tsubouchi

論文

130

Detection of solid particles in H2/CH4/Ar plasma for chemical vapor deposition of diamond by laser light scattering and their effect on crystal growth

Kaishu Nitta, Takehiro Shimaoka, Hideaki Yamada, Akiyoshi Chayahara, Nobuteru Tsubouchi, Yoshiaki Mokuno

Diamond and Related Materials 2025年10月
In-situ microscopic observation of single-crystal diamond during chemical vapor deposition

Kaishu Nitta, Takehiro Shimaoka, Hideaki Yamada, Nobuteru Tsubouchi, Akiyoshi Chayahara, Yoshiaki Mokuno

Diamond and Related Materials 154 112154-112154 2025年4月
High-temperature Operation Characteristics of Diamond Radiation Detectors

Yoshiaki Mokuno

SENSORS AND MATERIALS 2025年
High-spatial resolution analysis of dislocation bundles in homoepitaxial single-crystal diamond by HR-EBSD

Yoshiaki Mokuno

DIAMOND AND RELATED MATERIALS 2025年
Fabrication of nanocrystalline diamond capsules by hot-filament chemical vapor deposition for direct-drive inertial confinement fusion experiments

K. Kawasaki, H. Yamada, H. Nagatomo, Y. Hironaka, K. Yamanoi, D. Tanaka, T. Idesaka, Y. Mokuno, A. Chayahara, T. Shimaoka …

Diamond and Related Materials 109896-109896 2023年3月
Oxygen concentration dependence in MWPCVD diamond growth under (H, C, O, N) system

Takehiro Shimaoka, Hideaki Yamada, Yoshiaki Mokuno, Akiyoshi Chayahara

physica status solidi (a) 2022年3月23日
GaN-HEMTs on diamond prepared by room-temperature bonding technology

S. Hiza, Y. Shirayanagi, Y. Takiguchi, K. Nishimura, T. Matsumae, Y. Kurashima, E. Higurashi, H. Takagi, A. Chayahara, Y. Mokuno …

2021 7th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2021 16 2021年10月5日
Direct-drive implosion experiment of diamond capsules fabricated with hot filament chemical vapor deposition technique

K. Kawasaki, D. Tanaka, H. Yamada, S. Ohmagari, Y. Mokuno, A. Chayahara, T. Tamagawa, Y. Hironaka, K. Yamanoi, M. Tsukamoto …

Physics of Plasmas 28(10) 104501-104501 2021年10月
Dependences of morphology and surface roughness on growth conditions of diamond capsules for the direct-drive inertial confinement fusion

T. Iwasaki, K. Kawasaki, H. Yamada, S. Ohmagari, D. Takeuchi, A. Chayahara, Y. Mokuno, Y. Hironaka, K. Shigemori

High Energy Density Physics 37 100849-100849 2020年11月
Method to increase the thickness and quality of diamond layers using plasma chemical vapor deposition under (H, C, N, O) system

Hidaeki Yamada, Akiyoshi Chayahara, Yoshiaki Mokuno

Diamond and Related Materials 101 2020年1月1日
Toward High-Performance Diamond Electronics: Control and Annihilation of Dislocation Propagation by Metal-Assisted Termination

Ohmagari, Shinya, Yamada, Hideaki, Tsubouchi, Nobuteru, Umezawa, Hitoshi, Chayahara, Akiyoshi, Mokuno, Yoshiaki, Takeuchi, Daisuke

PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLICATIONS AND MATERIALS SCIENCE 216(21) 2019年11月査読有り
Heat and radiation resistances of diamond semiconductor in gamma-ray detection

Katsunori Ueno, Takahiro Tadokoro, Yuichiro Ueno, Keisuke Sasaki, Satoshi Koizumi, Akiyoshi Chayahara, Yoshiaki Mokuno, Shintaro Hirano, Junichi H. Kaneko

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 58(10) 2019年10月
Doping-induced strain in heavily B-doped (100)diamond films prepared by hot-filament chemical vapor deposition

Shinya Ohmagari, Hideaki Yamada, Hitoshi Umezawa, Akiyoshi Chayahara, Yoshiaki Mokuno

Thin Solid Films 680 85-88 2019年6月30日
Schottky barrier diodes fabricated on diamond mosaic wafers: Dislocation reduction to mitigate the effect of coalescence boundaries

Shinya Ohmagari, Hideaki Yamada, Nobuteru Tsubouchi, Hitoshi Umezawa, Akiyoshi Chayahara, Akinori Seki, Fumiaki Kawaii, Hiroaki Saitoh, Yoshiaki Mokuno

Applied Physics Letters 114(8) 2019年2月25日
Diamond slicing using ultrashort laser-induced graphitization and additional nanosecond laser illumination

Yoshiaki Mokuno

DIAMOND AND RELATED MATERIALS 2019年
Substrate Effects on Charge Carrier Transport Properties of Single-Crystal CVD Diamonds and an 8 mm Square Radiation Energy Spectrometer

Shintaro Hirano, Junichi H. Kaneko, Takanori Hanada, Shogo Ito, Takehiro Shimaoka, Hiroaki Shimmyo, Masakatsu Tsubota, Akiyoshi Chayahara, Yoshiaki Mokuno, Hitoshi Umezawa

PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLICATIONS AND MATERIALS SCIENCE 215(22) 2018年11月
Effect of Ar addition on uniformity of diamond growth by using microwave plasma chemical vapor deposition

Hideaki Yamada, Akiyoshi Chayahara, Yoshiaki Mokuno

Diamond and Related Materials 87 143-148 2018年8月1日査読有り
Large reduction of threading dislocations in diamond by hot-filament chemical vapor deposition accompanying W incorporations

Yoshiaki Mokuno

APPLIED PHYSICS LETTERS 113(3) 2018年7月16日査読有り
Thermal conductivity measurement of diamond and β-Ga2O3 thin films by a 3ω method

Shinichiro Suzuki, Shinya Ohmagari, Yusuke Akutsu, Naoki Okamoto, Takeyasu Saito, Hitoshi Umezawa, Yoshiaki Mokuno

2018 International Conference on Electronics Packaging and iMAPS All Asia Conference, ICEP-IAAC 2018 583-584 2018年6月6日査読有り
Synthesis and characterization of diamond capsules for direct-drive inertial confinement fusion

Hiroki Kato, Hideaki Yamada, Shinya Ohmagari, Akiyoshi Chayahara, Yoshiaki Mokuno, Yuji Fukuyama, Neo Fujiwara, Kouhei Miyanishi, Yoichiro Hironaka, Keisuke Shigemori

Diamond and Related Materials 86 15-19 2018年6月査読有り

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MISC

8mm角CVDダイヤモンド基板上にホモエピタキシャル成長した試料の電荷キャリア輸送特性

金子純一, 平野慎太郎, 嶋岡毅紘, 新名宏章, 坪田雅功, 水越司, 山本航平, 茶谷原昭義, 杢野由明, 梅沢仁 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 64th 2017年
8mm角CVDダイヤモンド単結晶基板上にホモエピタキシャル成長させた試料の電荷キャリア輸送特性評価

平野慎太郎, 金子純一, 嶋岡毅紘, 新名宏章, 坪田雅功, 伊藤彰悟, 茶谷原昭義, 杢野由明, 梅沢仁

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM) 2017 2017年
CVDホモエピ薄膜中に形成されるドーム状成長丘の微細構造

坪内信輝, 小倉政彦, 杢野由明, 牧野俊晴

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 64th 2017年
α線に対する単結晶CVDダイヤモンド放射線検出器のFano因子評価

嶋岡毅紘, 金子純一, 佐藤優樹, 坪田雅功, 新名宏明, 茶谷原昭義, 渡邊幸志, 梅澤仁, 杢野由明

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 63rd 2016年
Lift-off法により作製した単結晶CVDダイヤモンド放射線検出器のFano因子評価

嶋岡毅紘, 金子純一, 佐藤優樹, 坪田雅功, 新名宏明, 茶谷原昭義, 渡邊幸志, 梅澤仁, 杢野由明

日本原子力学会北海道支部研究発表会講演要旨集 33rd (CD-ROM) 2016年
荷電粒子誘起電荷解析法を利用したダイヤモンド検出器内部の欠陥準位計測

加田渉, 神林佑哉, 神林佑哉, 小野田忍, 牧野高紘, 安藤裕士, 梅沢仁, 杢野由明, 鹿田真一, 花泉修 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 62nd 2015年
ダイヤモンドショットキバリアダイオードを用いた高エネルギー荷電粒子の検出

小野田忍, 神林佑哉, 神林佑哉, 加田渉, 岩本直也, 岩本直也, 牧野高紘, 梅沢仁, 杢野由明, 鹿田真一 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 75th 2014年
過酷事故対応を目指した原子炉用ダイヤモンド半導体デバイスの開発-(1)開発計画概要-

金子純一, 小泉聡, 鹿田真一, 桑原均, 小泉均, 坪田雅功, 嶋岡毅弘, MEIYONG Liao, 寺地徳行, 梅沢仁 …

日本原子力学会春の年会予稿集(CD-ROM) 2013 2013年
1P1-8 大型ダイヤモンドウェハの開発(ポスターセッション)

鹿田真一, 山田英明, 坪内信輝, 杢野由明, 茶谷原昭義

超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集 33 33-34 2012年11月13日
大型自立単結晶CVDダイヤモンド板の作製と結晶性,放射線応答

坪内信輝, 杢野由明, 垣本明憲, 山田英明, 茶谷原昭義, 藤田文行, 金子純一, 鹿田真一

応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM) 58th 2011年
大型自立単結晶CVDダイヤモンド板の作製とその結晶性及び放射線応答

坪内信輝, 杢野由明, 垣本明憲, 藤田文行, 金子純一, 山田英明, 茶谷原昭義, 鹿田真一

ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集 25th 2011年
単結晶ダイヤモンド・ウェハの開発--マイクロ波プラズマCVD法による大型化とウェハ化技術

茶谷原昭義, 杢野由明, 坪内信輝

構成学 3(4) 272-280 2010年11月
Measurement of charge carrier's transportation in a large size self-standing CVD single crystal diamond film fabricated using lift-off method

F. Fujita, A. Kakimoto, J. H. Kaneko, N. Tsubouchi, Y. Mokuno, A. Chayahara, K. Sato, Y. Konno, A. Homma, S. Shikata …

DIAMOND AND RELATED MATERIALS 19(2-3) 162-165 2010年2月
積極的電荷捕獲と光I-V測定を用いたCVD合成ダイヤモンド中における電荷キャリア捕獲準位の評価

後藤拓人, 藤田文行, 金子純一, 佐藤圭, 坪内信輝, 杢野由明, 茶谷原昭義, 垣本明徳, 本間彰, 鹿田真一 …

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM) 2010 2010年
合成条件と使用基板がホモエピタキシャルCVD単結晶ダイヤモンドの電荷キャリア輸送特性に与える影響

垣本明徳, 今野雄太, 金子純一, 藤田文行, 後藤拓人, 坪内信輝, 杢野由明, 茶谷原昭義, 渡邊幸志, 梅澤仁 …

日本原子力学会秋の大会予稿集(CD-ROM) 2010 2010年
積極的電荷捕獲と光漏れ電流測定を用いたCVDダイヤモンド中における電荷キャリア捕獲準位の評価

後藤拓人, 藤田文行, 金子純一, 今野雄太, 佐藤圭, 坪内信輝, 杢野由明, 茶谷原昭義, 垣本明徳, 本間彰 …

ダイヤモンドシンポジウム講演要旨集 24th 2010年
マイクロ波プラズマCVD法による大型単結晶ダイヤモンドウェハの合成 (特集産業材料としてのダイヤモンド)

杢野由明, 山田英明, 坪内信輝

科学と工業 83(4) 135-139 2009年4月
ダイヤモンド単結晶の基礎音響特性および格子定数測定

櫛引淳一, 大橋雄二, 荒川元孝, 獅子谷卓, 杢野由明, 茶谷原昭義, 鹿田真一

電子情報通信学会技術研究報告. US, 超音波 107(75) 21-26 2007年5月23日
中性子照射によるSi中のイオン注入層の増速アニーリング

木野村淳, 茶谷原昭義, 杢野由明, 坪内信輝, 堀野裕治, 義家敏正, 林禎彦, XU Q, 伊藤慶文, 石神龍哉 …

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 54th(2) 795 2007年3月27日
Qualitative correspondences of experimentally obtained growth rates and morphology of single-crystal diamond with numerical predictions of plasma and gas dynamics in microwave discharges for various substrate holder shapes

Hideaki Yamada, Akiyoshi Chayahara, Yoshiaki Mokuno, Yousuke Soda, Yuji Horino, Shin-ichi Shikata, Naoji Fujimori

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS 45(10B) 8177-8182 2006年10月

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所属学協会

2004年8月 - 現在

ニューダイヤモンドフォーラム
2002年6月 - 現在

日本表面真空学会
1990年12月 - 現在

応用物理学会

共同研究・競争的資金等の研究課題

高エネルギーイオン大気取出し窓兼位置敏感型検出器としてのダイヤモンド薄膜の研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2014年4月 - 2017年3月

神谷富裕, 鹿田真一, 加田渉, 佐藤隆博, 杢野由明, 大島武
低欠陥ダイヤモンドウェハ

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2013年5月 - 2016年3月

鹿田真一, 峠睦, 茶谷原昭義, 杢野由明, 梅沢仁, 加藤有香子

産業財産権

特許第7802350号マイクロ波モード変換器

山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明
特許第7582695号マイクロ波プラズマ処理装置

山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明
特開2023-179964 マイクロ波モード変換器

山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明
特開2023-179963 マイクロ波プラズマCVD装置

山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明
特開2022-184075 モザイクダイヤモンドウェハと異種半導体との接合体及びその製造方法、並びに、異種半導体との接合体用モザイクダイヤモンドウェハ

山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明, 松前貴司, 倉島優一, 日暮栄治, 高木秀樹, 檜座秀一, 今村謙, 白柳裕介, 吉嗣晃治, 西村邦彦
特許第7084586号単結晶ダイヤモンド基板を含む積層体

大曲新矢, 山田英明, 梅沢仁, 坪内信輝, 茶谷原昭義, 杢野由明, 関章憲, 川井文彰, 斎藤広明
特許第7032554号マイクロ波プラズマ処理装置

仲村恵右, 品川友宏, 西村邦彦, 柳生栄治, 弥政和宏, 今村謙, 山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明
特許第7023477号ホウ素ドープダイヤモンド

大曲新矢, 山田英明, 梅沢仁, 茶谷原昭義, 杢野由明
WO2021-131097 マイクロ波プラズマ処理装置

仲村恵右, 品川友宏, 西村邦彦, 柳生栄治, 弥政和宏, 今村謙, 山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明
特許第6858384号単結晶ダイヤモンドおよびそれを用いた半導体素子

大曲新矢, 山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明
特許第6775771号マイクロ波プラズマCVD装置及びそれを用いたダイヤモンドの合成方法

山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明
特許第6765651号ダイヤモンド電子素子

梅沢仁, 大曲新矢, 杢野由明, 徳田規夫, 中西一浩, 黒島裕貴, 長井雅嗣
特開2020-128328 単結晶ダイヤモンドおよびそれを用いた半導体素子

大曲新矢, 山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明
特許第6746124号単結晶ダイヤモンドの製造方法

山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明
特許第6703683号単結晶ダイヤモンドおよびそれを用いた半導体素子

大曲新矢, 山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明
特許第6635675号不純物ドープダイヤモンド及びその製造方法

大曲新矢, 山田英明, 茶谷原昭義, 鹿田真一, 杢野由明
特開2019-178065 単結晶ダイヤモンドの製造方法

山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明
特開2019-125639 単結晶ダイヤモンド基板を含む積層体

大曲新矢, 山田英明, 梅沢仁, 坪内信輝, 茶谷原昭義, 杢野由明, 関章憲, 川井文彰, 斎藤広明
特許第6551953号単結晶ダイヤモンドの製造方法

山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明
特開2019-112290 単結晶ダイヤモンドおよびそれを用いた半導体素子

大曲新矢, 山田英明, 茶谷原昭義, 杢野由明

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杢野由明

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