特許権 研磨材料、研磨用組成物及び研磨方法 ファインセラミックスセンター 本間隆行, 川原浩一, 須田聖一, 久保百司, 尾澤伸樹 出願番号 特願2011-93388 出願日 2011年4月19日 公開番号 特開2012-224745号 公開日 2012年11月15日 特許番号/登録番号 特許5726612号 登録日 発行日 2015年4月10日