2021年8月5日
Different Etching Mechanisms of Diamond by Oxygen and Hydrogen Plasma: a Reactive Molecular Dynamics Study
The Journal of Physical Chemistry C
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- 巻
- 125
- 号
- 30
- 開始ページ
- 16711
- 終了ページ
- 16718
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- DOI
- 10.1021/acs.jpcc.1c03919
- 出版者・発行元
- American Chemical Society (ACS)
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.1021/acs.jpcc.1c03919
- ISSN : 1932-7447
- eISSN : 1932-7455