2014年 最新計測技術が変える加工の現場 超精密加工の貢献する「エア式精密着座センサ」と活用事例-治具とワークの10μmの浮き上りを安定検出- 機械と工具 甲斐智 巻 4 号 12 リンク情報 J-GLOBALhttps://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201402254597254656 ID情報 ISSN : 0387-1053J-Global ID : 201402254597254656 エクスポート BibTeX RIS