特許権 膜の製造方法 日本イットリウム株式会社, 国立大学法人豊橋技術科学大学 福本昌宏, 山田基宏, 佐藤龍一 出願番号 特願2018-206049 出願日 2018年10月31日 リンク情報 共同研究・競争的資金等の研究課題大気中固体セラミックス粒子結合メカニズムの解明および成膜技術への展開