産業財産権

特許権

高次シラン組成物および膜付基板の製造方法

  • 下田 達也
  • ,
  • 松木 安生
  • ,
  • 増田 貴史

出願番号
特願2009-003554
出願日
2009年1月9日
公開番号
特開2010-159191
公開日
2010年7月22日
特許番号/登録番号
特許第5604044号
登録日
発行日
2014年8月29日

リンク情報
J-GLOBAL
https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201403002396323158
URL
http://jglobal.jst.go.jp/public/201403002396323158