向川政治 (seiji mukaigawa) - マイポータル

基本情報

所属: 岩手大学理工学部システム創成工学科教授

研究者番号: 60333754
ORCID iD: https://orcid.org/0009-0007-2300-6455
J-GLOBAL ID: 202401013883753933
researchmap会員ID: R000064136

論文

Silicon Wafer Etching Rate Characteristics with Burst Width Using 150 kHz Band High-Power Burst Inductively Coupled Plasma.

Hisaki Kikuchi, Katsuyuki Takahashi, Seiji Mukaigawa, Koichi Takaki, Ken Yukimura

Micromachines 12(6) 2021年5月22日

MISC

352

準大気圧下マイクロ波放電のフィラメント構造の生成と放電様相の観測—Generation of filament structure of microwave discharge and observation of the discharge configuration in sub-atmospheric pressure—放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー

小宮佳恵, 二部汐栞, 佐々木善太郎, 高橋克幸, 高木浩一, 向川政治, 鎌田貴晴

電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編] 2025(77-83) 21-24 2025年6月13日
大気圧マイクロ波プラズマの放電様相の観測と放電モードの同定—Observation of Spatial Discharge Patterns of Atmospheric Pressure Microwave Plasma and Identification of Discharge Mode—放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー

二部汐栞, 小宮佳恵, 鎌田貴晴, 高橋克幸, 高木浩一, 向川政治

電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編] 2025(58-73・75・76) 39-42 2025年6月12日
150kHz帯大電力パルスバースト型高周波放電のガス種依存性—Gas Species Dependence of High-Power Pulse-Burst RF Discharges in the 150 kHz Band—放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー

中居林優, 髙橋直宏, 高橋克幸, 高木浩一, 向川政治

電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編] 2025(46-57) 59-64 2025年6月11日
岩手支所における最近の活動状況

向川政治

電気学会誌 145(5) 278-278 2025年5月1日
窒素マイクロギャップ誘電体バリア放電の自己組織構造の観測—Observation of the self-organized structure of nitrogen microgap dielectric barrier discharge in atmospheric pressure—放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー一般

松田夏実, 赤石崚太, 狩野遼也, 髙橋克幸, 高木浩一, 向川政治

電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編] 2024(29-51・54-59) 19-22 2024年6月
ヘリウムマイクロギャップDBDにおける放電モード遷移と放電開始電圧—Discharge mode transition and discharge inception voltage in atmospheric pressure helium microgap DBD—放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー一般

狩野遼也, 松田夏実, 髙橋克幸, 高木浩一, 向川政治

電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編] 2024(29-51・54-59) 15-18 2024年6月
150kHz帯域バーストパルスによる1インチエッチングプロセス用高密度プラズマの生成

高木浩一, 高橋直弘, 高橋克幸, 向川政治

電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM) 2024 2024年
ヘリウムマイクロギャップDBDにおける放電モード遷移と放電開始電圧

狩野遼也, 松田夏実, 高橋克幸, 高木浩一, 向川政治

電気学会研究会資料(Web) (EPP-24-029-051.054-059) 2024年
窒素マイクロギャップ誘電体バリア放電の自己組織構造の観測

松田夏実, 赤石峻太, 狩野遼也, 高橋克幸, 高木浩一, 向川政治

電気学会研究会資料(Web) 125(EPP-24-029-051.054-059) 33-35 2024年
擬火花放電によるAr/C₂H₂プラズマを用いたアモルファス炭素膜の作製

鎌田貴晴, 渡部政行, 中村嘉孝, 向川政治

プラズマ・核融合学会年会(Web) 41st 2024年
高速度カメラを用いた150 kHz帯大電力パルスバースト型高周波放電の観測—Observation of 150 kHz band high power pulse burst high-frequency discharge using a high speed camera—放電・プラズマ・パルスパワー研究会・放電・プラズマ・パルスパワー一般

髙橋直宏, 末永光, 一井元太, 高橋克幸, 向川政治, 高木浩一

電気学会研究会資料. EPP = The papers of technical meeting, IEE Japan / [放電・プラズマ・パルスパワー研究会] [編] 2023(74・76-81・83) 1-5 2023年10月5日
高速度カメラを用いた150kHz帯大電力パルスバースト型高周波放電の観測—Observation of 150 kHz band high power pulse burst high-frequency discharge using a high speed camera—新エネルギー・環境研究会・新エネルギー・環境関連技術

髙橋直宏, 末永光, 一井元太, 高橋克幸, 向川政治, 高木浩一

電気学会研究会資料. FTE = The papers of Technical Meeting on "Frontier Technology and Engineering", IEE Japan / 電気学会新エネルギー・環境研究会 [編] 2023(15-18・20-36) 23-27 2023年9月
岩手支所における最近の活動状況

向川政治

電気学会誌 143(5) 288-288 2023年5月1日
Filamentation of 2.45-GHz microwave discharge plasmas in sub-atmospheric pressure

鎌田貴晴, 向川政治

NIFS 研究紀要集 NIFS-PROC-125 125 36-38 2023年
Influence of Gas Species on Electrical Characteristics of High-Power Pulsed Sputtering

向川政治

NIFS 研究紀要集 NIFS-PROC-125 125 28-32 2023年
制動抵抗による擬火花放電の放電特性に与える影響

鎌田貴晴, 月舘悠斗, 向川政治, 中村嘉孝, 角館俊行, 渡部政行

プラズマ・核融合学会年会(Web) 40th 2023年
擬火花放電プラズマCVD法による水素化アモルファスカーボン膜の成膜

月舘悠斗, 鎌田貴晴, 渡部政行, 中村嘉孝, 角館俊行, 向川政治

プラズマ・核融合学会年会(Web) 40th 2023年
大電力パルススパッタリングのガス種依存性

五十嵐爽斗, 佐藤太進, 高橋克幸, 高橋克幸, 向川政治, 高木浩一, 高木浩一

応用物理学会東北支部学術講演会(CD-ROM) 78th 2023年
大気圧ヘリウムマイクロギャップDBDにおける自己組織構造と放電開始電圧

狩野遼也, 高橋克幸, 高木浩一, 向川政治

応用物理学会東北支部学術講演会(CD-ROM) 78th 2023年
誘導結合プラズマのE-Hモード遷移におけるファラデーシールドの影響

中村瑞希, 高橋響, 高橋克幸, 高木浩一, 鎌田貴晴, 向川政治

応用物理学会東北支部学術講演会(CD-ROM) 78th 2023年

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書籍等出版物

パワーエレクトロニクス : 基礎から応用

高木, 浩一, 南谷, 靖史, 阿部, 晃大, 石山, 俊彦, 上野, 崇寿, 川合, 勇輔, 菊池, 祐介, 民田, 太一郎, 真島, 隆司, 向川, 政治

理工図書 2024年1月 (ISBN: 9784844609438)
基礎からの高電圧工学

高木, 浩一, 向川, 政治, 竹内, 希, 高橋, 克幸, 門脇, 一則

森北出版 2022年10月 (ISBN: 9784627787513)
電気機器

高木, 浩一, 上田, 茂太, 上野, 崇寿, 郷, 冨夫, 河野, 晋, 三島, 裕樹, 向川, 政治

理工図書 2020年4月 (ISBN: 9784844608912)
大学1年生のための電気数学 : 電気回路・電磁気学の基礎数学

高木, 浩一, 猪原, 哲, 佐藤, 秀則, 高橋, 徹 ( 電気電子工学), 向川, 政治

森北出版 2014年12月 (ISBN: 9784627734623)
大学1年生のための電気数学 : 電気回路・電磁気学の基礎数学

高木, 浩一, 猪原, 哲, 佐藤, 秀則, 高橋, 徹 ( 電気電子工学), 向川, 政治

森北出版 2006年4月 (ISBN: 4627734611)

共同研究・競争的資金等の研究課題

表面波プラズマのフィラメント配列とプラズマフォトニック結晶

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2021年4月 - 2024年3月

向川政治, 鎌田貴晴
マイクロプラズマ散逸ソリトンの周期配列の可変化とプラズマフォトニック結晶への応用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2018年4月 - 2021年3月

向川政治, 鎌田貴晴
ICP／PSDプラズマCVDハイブリッド法によるDLC膜の高速成膜技術の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 2015年4月 - 2018年3月

鎌田貴晴, 向川政治, 渡部政行, 中村嘉孝
マイクロ波励起マイクロプラズマ散逸ソリトンの高密度化とその応用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2014年4月 - 2017年3月

向川政治
パルスグロープラズマの高密度化と複合表面処理プロセスへの利用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2012年4月 - 2015年3月

高木浩一, 向川政治, 高橋和貴
近未来居住環境における木質系磁性電波吸収ボードの木質・電波吸収調整機能設計法

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2009年4月 - 2014年3月

岡英夫, 関野登, 向川政治, 三浦健司, 久保田賢二, 浪崎安治, DAWSON FRANCIS P.
マイクロプラズマ散逸ソリトンの安定生成とプラズマフォトニック結晶

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2011年 - 2013年

向川政治
マイクロプラズマによる微細チューリング構造の形成とフォトニック結晶への応用

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 2009年 - 2010年

向川政治
新方式大気圧低温プラズマ源の開発と応用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2008年 - 2010年

藤原民也, 高木浩一, 向川政治, 高橋和貴
シャンティングアークベースの複合プラズマ生成とその材料表面処理利用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2006年 - 2008年

高木浩一, 向川政治, 藤原民也
エネルギー伝送系によるマイクロプラズマの高精度制御

日本学術振興会科学研究費助成事業特定領域研究 2006年 - 2007年

高木浩一, 藤原民也, 向川政治, 服部邦彦
容量結合多極放電を用いた大気圧プラズマの新技術とその応用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2005年 - 2006年

藤原民也, 高木浩一, 向川政治
容量連結型マルチギャップを用いたプラズマ生成とその制御

日本学術振興会科学研究費助成事業特定領域研究 2004年 - 2005年

高木浩一, 藤原民也, 向川政治
エネルギー可変型バリア放電による高密度広断面大気圧プラズマの発生と産業応用

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2002年 - 2004年

藤原民也, 高木浩一, 向井川政治, 小石原利明, 桑島孝幸