基本情報

所属
東北工業大学 工学部 電気電子工学科(知能ロボティクス研究所 兼務) 准教授
東北大学 大学院工学研究科 ロボティクス専攻 (客員准教授)
株式会社レイセンス 取締役 (創業者,最高技術責任者(CTO))
学位
博士(工学)(2008年1月 九州大学)

研究者番号
80404060

外部リンク

論文

  174

書籍等出版物

  8

講演・口頭発表等

  65

担当経験のある科目(授業)

  10

共同研究・競争的資金等の研究課題

  20

産業財産権

  33

メディア報道

  29

その他

  27
  • HITACHI-Hokkai 0.35um、HITACHI 0.35um Gate-Array、ROHM 0.35um、ROHM 0.18um、STARC 0.13um、ASPLA/NEC 90nm、eShuttle 65nm、ROHM 0.18um HV(High Voltage)、SMIC 0.18um HV(High Voltage)、SMIC 0.18um、TSMC 0.18um CIS(CMOS Image Sensor)、TSMC 0.18um MS/RF(Mixed Signal/Radio Frequency)、TSMC 0.13um
  • p-TEOS CVD,スパッタ
  • レーザー描画装置,パターンジェネレータ,SUSSアライナ(露光装置),簡易露光装置
  • ダイサー(DISCO)
  • FIB(Focused Ion Beam),イオンミリング(断面観察装置)