2021年3月3日
タルボット効果を用いた広範囲3次元リソグラフィ（第6報）—ディープラーニングを用いた露光光波の振幅位相制御
精密工学会学術講演会講演論文集
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- 巻
- 2021S
- 号
- 開始ページ
- 647
- 終了ページ
- 648
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- DOI
- 10.11522/pscjspe.2021s.0_647
- 出版者・発行元
- 公益社団法人 精密工学会
ナノ周期構造を有する機能性構造は周期や形状が微細になるにつれて高機能化するため，ナノ周期構造の大面積一括作製に適したタルボットリソグラフィの加工自由度の向上が必要とされている．そこで本報告では，ディープラーニングを用いて入射光の振幅および位相条件を逆算し、入射光の位相情報から作成したホログラムを表示させた空間位相変調器を用いて、振幅および位相の制御を行う構造作製手法を構築した．
- リンク情報
- ID情報
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- DOI : 10.11522/pscjspe.2021s.0_647
- CiNii Articles ID : 130008084151
- CiNii Research ID : 1390570729660638464