論文

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2002年

Measurement of thermal conductivity of silicon dioxide thin films using a 3ω method

J. Appl. Phys.

Tsuneyuki Yamane
Naoto Nagai
Shin-ichiro Katayama
Minoru Todoki

巻: 91
号: 12
開始ページ: 9772
終了ページ: 9772
記述言語
掲載種別: 研究論文（学術雑誌）
DOI: 10.1063/1.1481958

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DOI: https://doi.org/10.1063/1.1481958
CiNii Articles: http://ci.nii.ac.jp/naid/10024262000

ID情報

DOI : 10.1063/1.1481958
ISSN : 0021-8979
CiNii Articles ID : 10024262000

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