論文

査読有り 筆頭著者 責任著者
1998年

Infrared surface analysis of semiconductors by a noncontact air gap ATR method

  • N. Nagai
    • ,
  • Y. Izumi
    • ,
  • H. Ishida
    • ,
  • Y. Suzuki
    • ,
  • A. Hatta
記述言語
掲載種別
研究論文（国際会議プロシーディングス）
DOI
10.1063/1.55730
出版者・発行元
AIP
リンク情報
DOI
https://doi.org/10.1063/1.55730
ID情報
  • DOI : 10.1063/1.55730
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