その他

2012年4月 - 2012年4月

3次元アトムプローブ(3DAP)法による多層薄膜材料の解析


TDKが作製する垂直磁気記録ヘッド磁極、およびTMR素子などの多層膜構造を持つ材料の組成分布および界面の構造を3次元アトムプローブ装置を用いて解析し、磁気的特性との因果関係を明らかにする。TMR膜中のBの挙動について研究する。