2007年10月 - 2011年3月
アトムプローブによる半導体中の不純物の三次元評価技術に関する研究
㈱半導体先端テクノロジーズ 次世代半導体材料・プロセス基盤（MIRAI）プロジェクト
- 担当区分
- 研究代表者
- 配分額
-
- (総額)
- 619,500,000円
- (直接経費)
- 54,284,000円
- (間接経費)
- 7,666,000円
- 資金種別
- 競争的資金
永井 康介
ナガイ ヤスヨシ (Yasuyoshi Nagai)
更新日: 04/23