高田 聡
Akira Takada
更新日: 2021/03/04
基本情報
- 所属
- （株）トプコン
- 学位
-
博士（工学）(東京工芸大学)
- J-GLOBAL ID
- 201201099175895981
- researchmap会員ID
- B000222463
専門は光学。レーザ、波動光学、共鳴領域
研究キーワード
1研究分野
1論文
15-
JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS 15(2) 2016年4月 査読有り
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FIBER LASERS XII: TECHNOLOGY, SYSTEMS, AND APPLICATIONS 9344 2015年 査読有り
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OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXVIII 9426 2015年 査読有り
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FIBER LASERS XI: TECHNOLOGY, SYSTEMS, AND APPLICATIONS 8961 2014年 査読有り
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OPTICS EXPRESS 20(4) 4753-4762 2012年2月 査読有り
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OPTICAL ENGINEERING 49(7) 073003.1-073003.7 2010年7月 査読有り
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OPTICAL ENGINEERING 49(2) 023202.1-023202.12 2010年2月 査読有り
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Optical Review 16(3) 355-360 2009年5月 査読有り
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OPTICAL REVIEW 16(2) 59-65 2009年3月 査読有り
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JOURNAL OF MICRO-NANOLITHOGRAPHY MEMS AND MOEMS 7(4) 0430101-0430108 2008年10月 査読有り
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Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS 7(4) 2008年 査読有り
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Optical Review 14(6) 384-394 2007年11月 査読有り
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METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL FOR MICROLITHOGRAPHY XXI, PTS 1-3 6518 2007年 査読有り
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JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS 45(8B) 6687-6690 2006年8月 査読有り
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METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL FOR MICROLITHOGRAPHY XX, PTS 1 AND 2 6152 2006年 査読有り
MISC
12-
OPTICAL MICROLITHOGRAPHY XXIV 7973(Pt.2) 79732Y.1-79732Y.9 2011年
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O plus E (370) 1070-1074 2010年8月25日
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METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL FOR MICROLITHOGRAPHY XXIV 7638(Pt.2) 76382Y.1-76382Y.8 2010年
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Tech Dig Int Conf Opt photonics Des Fabr 7th 421-422 2010年
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OPTICAL REVIEW 16(2) 59-65 2009年3月
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Tech Dig Int Conf Opt photonics Des Fabr 6th 263-264 2008年
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METROLOGY, INSPECTION, AND PROCESS CONTROL FOR MICROLITHOGRAPHY XXII, PTS 1 AND 2 6922(1-2) 692229.1-692229.11 2008年
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 68th(2) 735 2007年9月4日
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日本分光学会講演要旨集 2006 412-413 2006年11月8日
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応用物理学会学術講演会講演予稿集 66th(3) 861 2005年9月7日
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光学 25(12) 684-689 1996年12月
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応用物理学関係連合講演会講演予稿集 43rd 1411 1996年3月