宮本直樹 (Naoki MIYAMOTO) - マイポータル

基本情報

所属: 日新イオン機器株式会社新事業推進部注入評価グループ主任

研究者番号: 80727660
ORCID iD: https://orcid.org/0009-0007-7011-2314
J-GLOBAL ID: 202201017295121409
researchmap会員ID: R000032623

研究キーワード

研究分野

学歴

2008年4月 - 2010年3月

同志社大学大学院博士後期課程, 理工学研究科, 電気電子工学専攻
1985年4月 - 1991年3月

同志社大学, 工学部, 電気工学科

論文

Molecular ion beam current enhancement by noble gas-mixed discharge

N. Miyamoto, R. Nakagawa, T. Nagayama, N. Hamamoto

MRS Advances 2025年3月12日査読有り筆頭著者責任著者
Duoplasmatron type molecular carbon ion source

M Wada, H Aki, N Miyamoto

Journal of Physics: Conference Series 2244(1) 012095-012095 2022年4月1日査読有り
Plasma electrode structure suitable for H^- extraction from Bernas type ion source

M. Ishikawa, K. Oura, N. Miyamoto, M. Wada

AIP Conference Proceedings 2052 2018年12月28日査読有り
Development of a carbon cluster ion source with a hollow cathode

Yuta Imamura, Naoki Miyamoto, Toshiro Kasuya, Motoi Wada

AIP Conference Proceedings 2011 2018年9月21日査読有り
Profile Control of Donor Ions by Sn Co-implantation in Germanium

Ryota Wada, Takahiro Higuchi, Naoki Miyamoto, Tsutomu Nagayama, Takashi Kuroi, Tadashi Ikejiri, Hideaki Tanimura, Takayuki Aoyama, Shinichi Kato, Ippei Kobayashi

Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology 2018-September 311-314 2018年9月査読有り
Hydrocarbon Gettering Effect for Contaminants from Factory Environment

Naoki Miyamoto, Takahiro Higuchi, Ryota Wada, Takashi Kuroi, Tsutomu Nagayama

Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology 2018-September 287-290 2018年9月査読有り筆頭著者責任著者
Development of a Polyatomic Molecular Ion Source with a Hollow Cathode

Yuta Imamura, Naoki Miyamoto, Hajime Aki, Kensuke Tomita, Motoi Wada

Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology 2018-September 188-191 2018年9月査読有り
Space Charge Neutralization by a Microwave Linear Antenna Plasma Flood Gun

Takahito Arai, Yusuke Kuwata, Naoki Miyamoto, Toshiro Kasuya, Motoi Wada

Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology 2018-September 196-199 2018年9月査読有り
Extraction of a Metal Ion Beam from a Planar Magnetron Sputter Ion Source

Motoi Wada, Shoma Kanda, Yusuke Kuwata, Naoki Miyamoto, Kentaro Yoshioka

Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology 2017年3月20日査読有り
A Dual Microwave Antenna Plasma Source

Yusuke Kuwata, Toshiro Kasuya, Naoki Miyamoto, Shun Yamamoto, Yuta Watanabe, Motoi Wada

Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology 2017年3月20日査読有り
Development of a Full Metal Seal Low Energy Ion Source

Yuta Watanabe, Naoki Miyamoto, Toshiro Kasuya, Motoi Wada

Proceedings of the International Conference on Ion Implantation Technology 2017年3月20日査読有り
Development of a long-slot microwave plasma source

Y. Kuwata, T. Kasuya, N. Miyamoto, M. Wada

Review of Scientific Instruments 87(2) 2016年2月1日査読有り
Dust particle diffusion in ion beam transport region

N. Miyamoto, Y. Okajima, C. F. Romero, Y. Kuwata, T. Kasuya, M. Wada

Review of Scientific Instruments 87(2) 2016年2月1日査読有り筆頭著者
Development of a Low Energy Carbon Molecular Ion Source

Shun Yamamoto, Naoki Miyamoto, Toshiro Kasuya, Magdaleno R. Vasquez, Motoi Wada

2016 21ST INTERNATIONAL CONFERENCE ON ION IMPLANTATION TECHNOLOGY (IIT) 7882861/1-7882861/4 2016年査読有り
Negative hydrogen ion beam extraction from an AC heated cathode driven Bernas-type ion source

Y. Okano, N. Miyamoto, T. Kasuya, M. Wada

AIP Conference Proceedings 1655 2015年4月査読有り
Fluctuation of an ion beam extracted from an AC filament driven Bernas-type ion source

N. Miyamoto, Y. Okajima, M. Wada

Review of Scientific Instruments 85(2) 2014年2月1日査読有り筆頭著者
Ion sources for ion implantation technology (invited)

Shigeki Sakai, Nariaki Hamamoto, Yutaka Inouchi, Sei Umisedo, Naoki Miyamoto

Review of Scientific Instruments 85(2) 2014年2月1日査読有り招待有り
High frequency operation of a hot filament cathode for a magnetized plasma ion source

Y. Takahashi, N. Miyamoto, T. Kasuya, M. Wada

Review of Scientific Instruments 83(2) 2012年2月査読有り
Oscillation phenomena of a plasma produced by an AC driven hot cathode

Yuki Takahashi, Naoki Miyamoto, Toshiro Kasuya, Motoi Wada

AIP Conference Proceedings 1496 414-417 2012年査読有り
Extraction of aluminum ions from a plasma-sputter-type ion source

M. Wada, T. Kasuya, T. Kenmotsu, N. Miyamoto, D. Sasaki

AIP Conference Proceedings 1496 390-393 2012年査読有り

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MISC

小型デュオプラズマトロンイオン源からのイオン引き出し特性

安藝基, 宮本直樹, 粕谷俊郎, 和田元

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バーナス型イオン源におけるH-ビーム引き出しプラズマ電極温度が与える影響

石川勝己, 宮本直樹, 和田元

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永久磁石を用いたホールスラスタの性能特性評価

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炭素クラスターイオン注入Siエピウェーハの特徴(3)-多元素・分子イオン注入技術の開発検討(2)-

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低周波交流放電からの水素負イオンビーム引き出し

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イオンビーム機器内部のパーティクル輸送検出

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熱陰極近傍磁場に伴うプラズマ揺動

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26aB17P 同軸円筒型熱陰極の開発(プラズマ基礎・応用)

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FNS用バケット型イオン源の開発

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小栗英知, 宮本直樹, 奥村義和, 水本元治

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Experimental results on ITER-NBI concept source

N. Miyamoto, H. Oguri, Y. Okumura, T. Inoue, Y. Fujiwara, K. Miyamoto, A. Nagase, Y. Ohara, K. Watanabe

AIP Conference Proceedings 380 300-308 1996年査読有り筆頭著者