2013年1月
DLC薄膜のガスバリヤ特性を利用した実用化現状 : 大気圧プラズマ法による高機能薄膜の低コスト大面積化と実用化 (実用化特集(1))
New diamond
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- 巻
- 29
- 号
- 1
- 開始ページ
- 35
- 終了ページ
- 39
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 出版者・発行元
- オーム社
- リンク情報
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- CiNii Articles
- http://ci.nii.ac.jp/naid/40019574233
- CiNii Books
- http://ci.nii.ac.jp/ncid/AN1020856X
- URL
- http://id.ndl.go.jp/bib/024257514
- ID情報
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- ISSN : 1340-4792
- CiNii Articles ID : 40019574233
- CiNii Books ID : AN1020856X