MISC

2015年8月31日

キセノンイオンを注入したシリコンのアニールによる構造変化 III

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)

北川淳嗣
羽渕仁恵
飯田民夫
大橋史隆
伴隆幸
久米徹二
野々村修一

巻: 76th
号
開始ページ: ROMBUNNO.15A-PB3-9
終了ページ
記述言語: 日本語
掲載種別

リンク情報

J-GLOBAL: https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201502202219138158
URL: http://jglobal.jst.go.jp/public/201502202219138158

ID情報

J-Global ID : 201502202219138158

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