德田規夫 (TOKUDA NORIO) - マイポータル

基本情報

所属: 金沢大学ダイヤモンド研究センターセンター長・教授

学位: 博士（工学）

研究者番号: 80462860
ORCID iD: https://orcid.org/0000-0003-3313-362X
J-GLOBAL ID: 200901063024635988
researchmap会員ID: 5000086802

外部リンク: http://wwwtf.ee.t.kanazawa-u.ac.jp/members/tokuda/

研究キーワード

半導体、表面科学、ダイヤモンド、グラフェン

研究分野

経歴

2025年10月 - 現在

金沢大学, ダイヤモンド研究センター, センター長・教授 (博士（工学）)
2018年12月 - 2025年9月

金沢大学, ナノマテリアル研究所, 教授 (リサーチプロフェッサー)
2024年4月 - 2025年3月

Arizona State Univeristy, Visiting Professor
2020年4月 - 2021年3月

京都大学, 化学研究所, 客員教授
2018年4月 - 2020年3月

産業技術総合研究所, 先進パワーエレクトロニクス研究センター, 特定フェロー（クロスアポイントメントフェロー）
2011年9月

金沢大学, 理工研究域電子情報学系, 准教授
2009年4月 - 2011年8月

金沢大学, 理工研究域電子情報学系, 助教
2005年4月 - 2009年3月

産業技術総合研究所, 特別研究員

学歴

受賞

2024年3月

功労表彰, 金沢大学

德田規夫
2019年3月

第3回薄膜・表面物理分科会論文賞, 応用物理学会薄膜・表面物理分科会

德田規夫
2016年9月

第38回（2016年度）応用物理学会優秀論文賞, 応用物理学会
2015年10月

2015年秋季学術講演会Poster Award, 多結晶ダイヤモンドを⽤いたVDF/TrFEゲートFET構造の作製, 応用物理学会

古市浩幹, 柄谷涼太, 森陽介, 中島宇史, 徳田規夫, 川江健
2010年3月

第11回（表面技術協会第120回講演大会）優秀講演賞
2008年11月

第38回結晶成長国内会議講演奨励賞, 日本結晶成長学会
2007年5月

ナノ学会第5回大会若手優秀発表賞, ナノ学会
2007年3月

第21回（2006年秋季）応用物理学会講演奨励賞, 応用物理学会
2006年11月

第20回ダイヤモンドシンポジウムポスターセッション賞, JNDF
2005年3月

筑波大学大学院数理物質科学研究科長賞, 筑波大学大学院数理物質科学研究科
2005年3月

筑波大学学長表彰, 筑波大学

論文

141

Selective homoepitaxial growth of buried diamond films with NV centers

K. Hayashi, Y. Nakamura, M. Katayama, K. Shimamura, R. Yoshida, K. Kobayashi, K. Ichikawa, T. Yoshikawa, T. Matsumoto, T. Inokuma …

Carbon 251 121307-121307 2026年3月
Performance enhancement of diamond p⁺-i-n⁺ diodes employing electron injection through heavily nitrogen-doped layers☆

Taichi Miyazaki, Kan Hayashi, Kazuki Kobayashi, Kimiyoshi Ichikawa, Taro Yoshikawa, Satoshi Yamasaki, Takao Inokuma, Norio Tokuda, Tsubasa Matsumoto

DIAMOND AND RELATED MATERIALS 163 2026年3月
Suppression of on-resistance variability by buried source/drain structures in inversion type diamond MOSFETs

Kai Sato, Tsubasa Yoshimoto, Kimiyoshi Ichikawa, Kan Hayashi, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Masahiko Ogura, Daisuke Takeuchi, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki …

DIAMOND AND RELATED MATERIALS 162 2026年2月
Effects of nitrogen addition on hydrogen plasma etching of diamond

K. Hayashi, Y. Nakamura, M. Katayama, R. Yoshida, K. Kobayashi, K. Ichikawa, T. Yoshikawa, T. Matsumoto, T. Inokuma, S. Yamasaki …

Diamond and Related Materials 160 113045-113045 2025年12月
Formation of diamond trenches with flat {111} sidewalls via thermochemical etching by Ni films in water vapor

Masatsugu Nagai, Tsubasa Matsumoto, Satoshi Yamasaki, Norio Tokuda, Moriyoshi Haruyama, Yukako Kato, Hironori Yoshioka, Hitoshi Umezawa, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura …

Applied Surface Science Advances 2025年12月
Band offset between cubic boron nitride and nitrogen-plasma terminated boron-doped diamond (111)

Ali Ebadi Yekta, Martha R. McCartney, David J. Smith, Norio Tokuda, Robert J. Nemanich

Applied Physics Letters 2025年10月23日
Switching reduction selectivity of diamond electrodes with heavily N-doped surface nanolayers by visible light irradiation

Taro Yoshikawa, Akira Kaga, Kimiyoshi Ichikawa, Kan Hayashi, Tsubasa Matsumoto, Mitsuru Ohno, Satoshi Yamasaki, Hitoshi Asakawa, Norio Tokuda

CARBON 244 2025年9月
First-principles study of interface states in diamond(111)/Al2O3 with different terminations

Yaotang Zhang, Naoya Yamaguchi, Xufang Zhang, Mineo Saito, Norio Tokuda, Fumiyuki Ishii

SURFACES AND INTERFACES 72 2025年9月1日
Fabrication of inversion channel diamond MOSFET with atomically step-free Al<inf>2</inf>O<inf>3</inf>/diamond interface

Kazuki Kobayashi, Kai Sato, Hiromitsu Kato, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Tsubasa Matsumoto, Kimiyoshi Ichikawa, Kan Hayashi, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki …

Carbon 235 2025年3月10日
Enhanced performance of diamond electrodes with heavily N-doped surface nanolayers grown by CVD for high reduction current density

Taro Yoshikawa, Akira Kaga, Kimiyoshi Ichikawa, Kan Hayashi, Tsubasa Matsumoto, Ryosuke Izumi, Mitsuru Ohno, Satoshi Yamasaki, Norio Tokuda, Hitoshi Asakawa

Electrochimica Acta 146058-146058 2025年3月
Control of impurity incorporation into CVD diamond synthesized with tert-butylphosphine for quantum applications

Riku Kawase, Hiroyuki Kawashima, Hiromitsu Kato, Norio Tokuda, Satoshi Yamasaki, Masahiko Ogura, Toshiharu Makino, Naoya Morioka, Norikazu Mizuochi

Applied Physics Letters 126(7) 2025年2月17日
Diamond (111) Homoepitaxy Via Hot-Filament Chemical Vapor Deposition: Growth Mode, Transition Metal Incorporation, and Twin Formation

Kimiyoshi Ichikawa, Kazuki Kobayashi, Tsubasa Matsumoto, Kan Hayashi, Takao Inokuma, Christoph E. Nebel, Satoshi Yamasaki, Norio Tokuda

2025年
Formation of low-dimensional nanopit structures on atomically flat surfaces of diamond (111) by nickel nanoparticles

Kan Hayashi, Kazuki Kobayashi, Madoka Katayama, Yuhi Kaneko, Kimiyoshi Ichikawa, Taro Yoshikawa, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Norio Tokuda

Applied Surface Science 669 2024年10月1日
Diamond Homoepitaxial Growth Technology toward Wafer Fabrication, Atomically Controlled Surfaces, and Low Resistivity

Kimiyoshi Ichikawa, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Christoph E. Nebel, Norio Tokuda

ACCOUNTS OF MATERIALS RESEARCH 5(10) 1181-1193 2024年8月14日
Fabrication of lateral diamond MOSFET with buried pn-junctions by diamond surface planarization based on carbon solid solution into nickel

Tsubasa Kano, Kimiyoshi Ichikawa, Kan Hayashi, Taro Yoshikawa, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Norio Tokuda, Tsubasa Matsumoto

Diamond and Related Materials 147 2024年8月
Fabrication and characterization of diamond (100) p⁺-i-n⁺ diodes with heavily nitrogen-doped films

Yuki Matsushima, Mikiya Mura, Tsubasa Matsumoto, Kimiyoshi Ichikawa, Kan Hayashi, Satoshi Yamasaki, Takao Inokuma, Taro Yoshikawa, Toshiharu Makino, Norio Tokuda

Diamond and Related Materials 145 2024年5月
Impact of water vapor annealing treatments on Al2O3/diamond interface

Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Mitsuru Sometani, Masahiko Ogura, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Norio Tokuda

AIP Advances 2024年3月1日査読有り
CO<inf>2</inf> reduction by visible-light-induced photoemission from heavily N-doped diamond nano-layer

Taro Yoshikawa, Hitoshi Asakawa, Tsubasa Matsumoto, Kimiyoshi Ichikawa, Akira Kaga, Shintaro Yamamoto, Ryosuke Izumi, Mitsuru Ohno, Tomoaki Mahiko, Mitsuteru Mutsuda …

Carbon 218 2024年1月31日
Frequency-tunable magnetic field sensing using continuous-wave optically detected magnetic resonance with nitrogen-vacancy centers in diamond

Ryusei Okaniwa, Takumi Mikawa, Yuichiro Matsuzaki, Tatsuma Yamaguchi, Rui Suzuki, Norio Tokuda, Hideyuki Watanabe, Norikazu Mizuochi, Kento Sasaki, Kensuke Kobayashi …

Journal of Applied Physics 135(4) 2024年1月22日
Electron-spin double resonance of nitrogen-vacancy centers in diamond under a strong driving field

Takumi Mikawa, Ryusei Okaniwa, Yuichiro Matsuzaki, Norio Tokuda, Junko Ishi-Hayase

Physical Review A 108(1) 2023年7月10日

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MISC

原子レベルで平坦な酸化膜/ダイヤモンド(111)界面をもつ反転層チャネルMOSFETの作製

小林和樹, 佐藤解, 加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴, 松本翼, 市川公善, 林寛, 猪熊孝夫, 山崎聡 …

New diamond = ニューダイヤモンド / ニューダイヤモンドフォーラム編 41(4) 34-36 2025年10月
成長・ドーピング・表面・界面制御を駆使したステップフリーダイヤモンドMOSFETの作製

小林和樹, 佐藤解, 加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴, 松本翼, 市川公善, 林寛, 猪熊孝夫, 山崎聡 …

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 72nd 2025年
熱化学エッチングによるダイヤモンドトレンチ{111}平坦側面の形成

長井雅嗣, 松本翼, 山崎聡, 徳田規夫, 春山盛善, 加藤有香子, 吉岡裕典, 梅沢仁, 加藤宙光, 小倉政彦 …

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 72nd 2025年
発光中心の量子特性向上に向けたリンドープダイヤモンドの内部応力評価

中川大夢, 川瀬凜久, 川島宏幸, 森岡直也, 森岡直也, 加藤宙光, 徳田規夫, 山崎聡, 小倉政彦, 牧野俊晴 …

応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 72nd 2025年
ダイヤモンド量子センサによる交流磁場位相の連続的変化イメージング

大坪楓季, 大坪楓季, 見川巧弥, 見川巧弥, 松崎雄一郎, 徳田規夫, 早瀬潤子, 早瀬潤子

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 85th 2024年
原子的に平坦なAl₂O₃/ダイヤモンド(111)界面を持つp型反転層MOSFETの作製

小林和樹, 佐藤解, 加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴, 松本翼, 市川公善, 林寛, 猪熊孝夫, 山崎聡 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 85th 2024年
Lindbladマスター方程式を用いたダイヤモンド電子スピン二重共鳴スペクトルの解析

鈴木琉生, 鈴木琉生, 見川巧弥, 見川巧弥, 岡庭龍聖, 岡庭龍聖, 松崎雄一郎, 徳田規夫, 早瀬潤子, 早瀬潤子

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 84th 2023年
ダイヤモンド中電子スピンのRF-Dressed状態を用いた温度と交流磁場強度の複合センシング

田淵響, 田淵響, 鈴木琉生, 鈴木琉生, 松崎雄一郎, 渡邊幸志, 徳田規夫, 水落憲和, 水落憲和, 水落憲和 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
Lindbladマスター方程式を用いたダイヤモンド電子スピン二重共鳴スペクトルの解析

鈴木琉生, 鈴木琉生, 田淵響, 田淵響, 見川巧弥, 見川巧弥, 岡庭龍聖, 岡庭龍聖, 松崎雄一郎, 徳田規夫 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
ダイヤモンド中電子スピンのRF-Dressed状態を用いた微細回路の交流磁場強度・位相イメージング

大坪楓季, 大坪楓季, 見川巧弥, 見川巧弥, 松崎雄一郎, 渡邊幸志, 徳田規夫, 水落憲和, 水落憲和, 水落憲和 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
Floquet理論を用いたダイヤモンド中電子スピン二重共鳴現象の解析

見川巧弥, 見川巧弥, 松崎雄一郎, 岡庭龍星, 岡庭龍星, 徳田規夫, 早瀬潤子, 早瀬潤子

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
TBPによる(111)面リンドープn型ダイヤモンド膜のホール移動度

川島宏幸, 川瀬凜久, 加藤宙光, 徳田規夫, 山崎聡, 小倉政彦, 牧野俊晴, 森岡直也, 森岡直也, 水落憲和 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 84th 2023年
表面終端処理,酸化膜堆積の連続プロセスによるダイヤモンドMOSFETのヒステリシス低減

佐藤解, 市川公善, 林寛, 小倉政彦, 牧野俊晴, 加藤宙光, 竹内大輔, 猪熊孝夫, 山崎聡, 徳田規夫 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
ダイヤモンドMOSFETにおけるドリフト抵抗フリー構造の提案

松本翼, 佐藤解, 中村勇斗, ABOULAYE Traore, 牧野俊晴, 加藤宙光, 小倉政彦, 市川公善, 林寛, 猪熊孝夫 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
不純物制御したダイヤモンド中のNV中心コヒーレンス時間長時間化

川瀬凜久, 川島宏幸, 加藤宙光, 徳田規夫, 山崎聡, 小倉政彦, 牧野俊晴, 水落憲和, 水落憲和

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
強RF下におけるダイヤモンド電子スピン二重共鳴現象のFloquet理論解析

見川巧弥, 見川巧弥, 松崎雄一郎, 岡庭龍聖, 岡庭龍聖, 中野裕太, 徳田規夫, 早瀬潤子, 早瀬潤子

日本物理学会講演概要集(CD-ROM) 77(2) 2022年
ダイヤモンド中NV中心のRF-Dressed状態を用いた高感度温度測定

田淵響, 田淵響, 松崎雄一郎, 古谷登, 中野裕太, 渡邊幸志, 徳田規夫, 水落憲和, 早瀬潤子, 早瀬潤子

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 83rd 2022年
ダイヤモンド中NV中心の電子スピン三重共鳴現象を用いた周波数可変な交流磁場センサ

岡庭龍聖, 岡庭龍聖, 松崎雄一郎, 山口達万, 渡邊幸志, 水落憲和, 中野裕太, 徳田規夫, 佐々木健人, 小林研介 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 83rd 2022年
NV量子センサ高感度化のためのtert-butylphosphineを用いたn型ダイヤモンド合成

川瀬凜久, 川島宏幸, 川島宏幸, 加藤宙光, 徳田規夫, 窪田幹大, 小倉政彦, 牧野俊晴, 水落憲和, 水落憲和

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 83rd 2022年
チャネル部追成長による反転層ダイヤモンドMOSFETのチャネル移動度改善

山河智哉, 松本翼, 猪熊孝夫, 山崎聡, ZHANG Xufang, 加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴, NEBEL C.E., 徳田規夫

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 82nd 2021年

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書籍等出版物

次世代パワー半導体の開発動向と応用展開

岩室, 憲幸

シーエムシー出版 2021年8月 (ISBN: 9784781316130)
次世代パワー半導体デバイス・実装技術の基礎 : Siから新材料への新展開

田中, 保宣

科学情報出版 2021年1月 (ISBN: 9784904774953)
Diamond for quantum applications

Nebel, Christoph E., Aharonovich, Igor, Mizuochi, Norikazu, Hatano, Mutsuko (担当:分担執筆, 範囲:Chapter Three - Step-edge growth and doping of diamond)

Academic Press 2020年 (ISBN: 9780128202401)
Novel aspects of diamond : from growth to applications

Yang, Nianjun (担当:分担執筆, 範囲:Homoepitaxial Diamond Growth by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition)

Springer Nature Switzerland 2019年 (ISBN: 9783030124687)
Power electronics device applications of diamond semiconductors

Koizumi, Satoshi, Umezawa, Hitoshi, Pernot, Julien, Suzuki, Mariko (担当:分担執筆, 範囲:4.3. Formation of atomically flat diamond surfaces)

Woodhead Publishing 2018年 (ISBN: 9780081021835)
Novel Aspects of Diamond

Yang, Nianjun, Chapter, Tokuda, Norio

Springer International Publishing 2014年11月
2013ナノカーボン技術大全

電子ジャーナル 2012年11月

講演・口頭発表等

次世代ダイヤモンド半導体の現状

次世代ダイヤモンド半導体の現状

QST-ARIM放射光利用研究セミナー 2026年2月20日
Diamond MOSFETs: A Promising Platform for Electronics in Extreme Environments

Norio Tokuda

Q-RadSemi2026 2026年1月22日招待有り
ダイヤモンド半導体の現状

徳田規夫

北陸半導体フォーラム第２回 2025年12月13日招待有り
ダイヤモンドパワーデバイスの現状

徳田規夫

電気学会電子デバイス/半導体電力変換合同研究会 2025年10月23日招待有り
Advances in inversion channel diamond MOSFET technologies

Norio Tokuda

DMA2025 2025年7月28日招待有り
Recent Advances in Diamond MOSFET Technologies

N. Tokuda, T. Matsumoto, X. Zhang, K. Sato, K. Kobayashi, K. Ichikawa, K. Hayashi, T. Inokuma, S. Yamaski, C.E. Nebel, M. Ogura, H. Kato, T. Makino, D. Takeuchi

The 11th Asia-Pacific Workshop on Widegap Semiconductors (APWS 2024) 2024年10月16日招待有り
Progress in Diamond MOSFET Technologies

N. Tokuda, T. Matsumoto, X. Zhang, K. Sato, K. Kobayashi, K. Ichikawa, K. Hayashi, T. Inokuma, S. Yamaski, C.E. Nebel, M. Ogura, H. Kato, T. Makino, D. Takeuchi

International Conference on Compound Semiconductor Manufacturing Technology(CS MANTECH 2024) 2024年5月21日招待有り
Inversion type diamond MOSFET technology

Norio Tokuda

2023 Functional Diamond Symposium 2023年9月19日招待有り
Diamond MOSFET technology:current status and future perspectives

Norio Tokuda

33rd International Conference on Diamond and Carbon Materials 2023年9月11日招待有り
Advances in diamond MOSFET technologies

E-MRS 2023 Spring Meeting 2023年5月29日招待有り
Progress in Inversion Channel Diamond MOSFET Technologies

Norio Tokuda, Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Christoph E. Nebel, Satoshi Yamasaki

2022 MRS Spring Meeting & Exhibit 2022年5月24日招待有り
Inversion type p-channel diamond MOSFET issues

Norio Tokuda

MRS Webinar - Ultrawide Bandgap Materials and Devices 2022年3月31日招待有り
Diamond Etching Based on Carbon Solid Solution into Nickel for Wafer and Device Fabrication Processes

Norio Tokuda, Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Christoph E. Nebel, Satoshi Yamasaki

2021 MRS Fall Meeting & Exhibt 2021年12月8日招待有り
Advances in Diamond MOS Interface

Norio Tokuda, Xufang Zhang, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Daisuke Takeuchi, Christoph E. Nebel, Satoshi Yamasaki

2021 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ELECTRON DEVICES 2021年11月16日招待有り
Inversion Layer Diamond MOSFET

Norio Tokuda

Second Workshop on Diamond Electronics 2020年10月19日招待有り
MOS interface control for inversion channel diamond MOSFET

Norio Tokuda, Tsubasa Matsumoto, Xufang Zhang, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Christoph E. Nebel, Robertson J. Nemanich

Hasselt Diamond Workshop 2020 - SBDD XXV 2020年3月11日招待有り
Recent Progress in Inversion Channel Diamond MOSFET

Norio Tokuda, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Christoph E. Nebel

2019 MRS Fall Meeting 2019年12月3日招待有り
Advances in inversion channel diamond MOSFETs

Norio Tokuda, Tsubasa Matsumoto, Takao Inokuma, Satoshi Yamasaki, Hiromitsu Kato, Toshiharu Makino, Christoph E. Nebel

SSDM2019 2019年9月5日招待有り
革新的パワーデバイスの実現に向けた半導体ダイヤモンドの研究

第3回有機・無機エレクトロニクスシンポジウム 2016年7月応用物理学会北陸・信越支部
マイクロ波プラズマCVD 法によるダイヤモンド膜の成長～原子レベル制御から高速化、そして自立ウェハの開発へ

第63回CVD研究会 CVD研究会

所属学協会

共同研究・競争的資金等の研究課題

ダイヤモンド電子スピン二重共鳴量子センサによる交流磁場－温度の同時イメージング

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2025年4月 - 2028年3月

早瀬潤子, 徳田規夫, 渡邊幸志, 岩本敏
ダイヤモンドパワー半導体技術の研究開発

NEDO NEDO先導研究プログラム/環境新技術先導研究プログラム 2024年5月
ダイヤモンドNV中心の量子状態高度制御による量子センシング顕微鏡計測研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 2021年4月 - 2024年3月

水落憲和, 白川昌宏, 大木出, 徳田規夫
半導体ダイヤモンドウェハの革新的製造技術の開発

科学技術振興機構産学が連携した研究開発成果の展開/研究成果展開事業/研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)/産学共同(育成型) 2020年 - 2022年

徳田規夫
ダイヤモンド表面核スピン格子を用いた室温量子シミュレータの基盤構築

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 基盤研究(A) 2018年4月 - 2021年3月

山崎聡, 水落憲和, 波多野睦子, 徳田規夫, 牧野俊晴
ダイヤモンドパワーエレクトロニクスの創成

日本学術振興会科学研究費助成事業国際共同研究加速基金(国際共同研究強化(A)) 国際共同研究加速基金(国際共同研究強化(A)) 2019年 - 2021年

徳田規夫
ダイヤモンドを用いた革新的アンモニア合成法の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的研究(萌芽) 挑戦的研究(萌芽) 2017年6月 - 2020年3月

徳田規夫
低損失縦型ダイヤモンドパワーMOSFET

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2017年4月 - 2020年3月

徳田規夫, 加藤宙光, 大曲新矢
強誘電体の巨大分極を利用した超低損失ダイヤモンドパワーFETの創出

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2017年4月 - 2020年3月

川江健, 徳田規夫
ダイヤモンドによる超高感度・超高分解能量子ナノセンサ

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(A) 基盤研究(A) 2016年4月 - 2019年3月

水落憲和, 山崎聡, 加藤宙光, 徳田規夫
ダイヤモンド放熱基板の低コスト製造技術の開発

科学技術振興機構産学が連携した研究開発成果の展開/研究成果展開事業/研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)/機能検証フェーズ/試験研究タイプ 2018年

徳田規夫
インチスケールダイヤモンドウェハ開発のための基盤研究

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究挑戦的萌芽研究 2014年4月 - 2017年3月

徳田規夫, 伊藤槙哉
立体形状ダイヤモンドの製造技術の開発

科学技術振興機構産学が連携した研究開発成果の展開/研究成果展開事業/マッチングプランナープログラム 2015年 - 2016年

徳田規夫
半導体ダイヤモンドの開発

科学技術振興機構産学が連携した研究開発成果の展開/研究成果展開事業/研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)/ハイリスク挑戦タイプ 2013年 - 2016年

徳田規夫
超低損失ダイヤモンドパワーデバイス開発のための基盤研究

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(A) 若手研究(A) 2012年4月 - 2015年3月

徳田規夫
巨大残留分極を用いたカーボン系材料の表面キャリア制御

日本学術振興会科学研究費助成事業挑戦的萌芽研究挑戦的萌芽研究 2012年4月 - 2014年3月

川江健, 森本章治, 徳田規夫, 高野義彦
超低損失ダイヤモンドパワーデバイス開発のための基盤研究

2012年 - 2014年
原子的に平坦なダイヤモンド(111)表面の大面積形成及びその機能の創出

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 若手研究(B) 2008年 - 2009年

徳田規夫

産業財産権

特開2018-157076 MFS型の電界効果トランジスタ

川江健, 徳田規夫, 松本翼, 馬場一気, 柄谷涼太, 中嶋宇史
特開2018-127367 ダイヤモンド製膜用下地基板及びそれを用いたダイヤモンド基板の製造方法

野口仁, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 川島宏幸, 山崎聡, 徳田規夫
特開2018-006572 ダイヤモンド半導体装置及びその製造方法

加藤宙光, 小倉政彦, 牧野俊晴, 竹内大輔, 山崎聡, 小山和博, 松本翼, 徳田規夫, 猪熊孝夫
特許第6252900号半導体装置

小山和博, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 竹内大輔, 山崎聡, 徳田規夫, 猪熊孝夫, 南山拓真
特開2017-160087 プラズマCVD装置及びダイヤモンドの成長方法

徳田規夫, 猪熊孝夫, 馬場一気, 渡邊俊介, 金田大輝, 有屋田修
特開2017-154908 ダイヤモンド基板の製造方法、ダイヤモンド基板及びダイヤモンド自立基板

野口仁, 白井省三, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 川島宏幸, 桑原大輔, 山崎聡, 竹内大輔, 徳田規夫, 猪熊孝夫, 松本翼
特開2017-154909 ダイヤモンド基板の製造方法

野口仁, 白井省三, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 川島宏幸, 桑原大輔, 山崎聡, 竹内大輔, 徳田規夫, 猪熊孝夫, 松本翼
特開2017-092398 ダイヤモンド電子素子

梅沢仁, 大曲新矢, 杢野由明, 徳田規夫, 中西一浩, 黒島裕貴, 長井雅嗣
特開2017-092356 ダイヤモンドの加工方法

徳田規夫, 猪熊孝夫, 中西一浩, 長井雅嗣
特開2017-022240 水素終端ダイヤモンドを用いた電界効果トランジスタ

川江健, 徳田規夫, 古市浩幹, 柄谷涼太, 中嶋宇史
特開2016-216298 ダイヤモンドの製造方法

徳田規夫, 猪熊孝夫, 伊藤槙哉, 有屋田修
特許第5948578号ダイヤモンドの表面処理方法

徳田規夫, 猪熊孝夫, 福井真, 神谷昇吾, 山崎聡, 竹内大輔, 牧野俊晴
特許第5887742号ダイヤモンド基板

徳田規夫, 猪熊孝夫, 有屋田修, 山崎聡
特開2015-120610 ダイヤモンド基板及びその製造方法

徳田規夫, 猪熊孝夫, 森本隆介, 北條大介
特開2015-115502 ダイヤモンド半導体装置及びその製造方法

松本翼, 加藤宙光, 牧野俊晴, 竹内大輔, 小倉政彦, 山崎聡, 徳田規夫
特開2015-106650 半導体装置

小山和博, 牧野俊晴, 小倉政彦, 加藤宙光, 竹内大輔, 山崎聡, 徳田規夫, 猪熊孝夫, 南山拓真
特許第5681959号グラフェン・ダイヤモンド積層体

徳田規夫, 猪熊孝夫, 福井真, 山崎聡, 竹内大輔, 牧野俊晴
特許第5565895号半導体装置

谷本智, 桐谷範彦, 牧野俊晴, 小倉政彦, 徳田規夫, 加藤宙光, 大串秀世, 山崎聡
特許第5545567号単結晶ダイヤモンド成長用の基材及び単結晶ダイヤモンドの製造方法

野口仁, 徳田規夫, 猪熊孝夫, 福井真
特許第5454867号単結晶ダイヤモンド基板

徳田規夫, 小倉政彦, 加藤宙光, 竹内大輔, 牧野俊晴, 小山和博, 大串秀世, 山崎聡

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德田規夫

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