豊田紀章 (Noriaki Toyoda) - マイポータル

基本情報

所属: 兵庫県立大学大学院工学研究科工学専攻電気電子工学分野教授

学位: 博士（工学）(1999年3月京都大学)

J-GLOBAL ID: 201801017197581245
researchmap会員ID: B000300347

研究キーワード

研究分野

経歴

2026年4月 - 現在

学長特別補佐（学際研究担当、兼務）
2020年4月 - 現在

兵庫県立大学, 大学院工学研究科電子情報工学専攻, 教授
2024年4月 - 2025年3月

兵庫県立大学社会価値創造機構, 副機構長（兼務）
2021年4月 - 2024年3月

兵庫県立大学, 産学連携・研究推進機構, 副機構長兼産学公連携推進本部長（兼務）
2015年4月 - 2020年3月

兵庫県立大学, 大学院工学研究科電子情報工学専攻, 准教授
2007年7月 - 2015年3月

兵庫県立大学, 大学院工学研究科インキュベーションセンター, 准教授
2007年4月 - 2007年6月

兵庫県立大学, 大学院工学研究科, 客員准教授
2001年4月 - 2007年3月

姫路工業大学, 高度産業科学技術研究所, 客員助教授
1999年4月 - 2001年3月

マサチューセッツ工科大学, マテリアルプロセシングセンター, 博士研究員

学歴

委員歴

2026年6月 - 現在

International Conference on Ion Beam Modification of Materials, 国際委員
2024年4月 - 現在

次世代研究者挑戦的研究プログラム（SPRING）兵庫県立大学事業統括
2022年12月 - 現在

姫路市産業振興推進会議, 委員
2022年4月 - 現在

応用物理学会, ナノ荷電粒子ビーム産学連携委員会
2021年4月 - 現在

一般社団法人電子実装工学研究所, 接合界面創成技術委員会
2024年4月 - 2025年3月

播磨圏域連携中枢都市圏経済成長のけん引部会, アドバイザー
2024年4月 - 2025年3月

はりま新産業創出エコシステム, 兵庫県立大学委員
2024年1月 - 2024年11月

2024 8th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, Steering Committee
2024年1月 - 2024年10月

24th International Conference on Ion Implantation Technology 2024, Technical Program Committee Member
2021年5月 - 2023年4月

電気学会光・量子デバイス技術委員会量子ビームによるナノ構造・界面形成とバイオメディカル応用技術調査専門委員会, 委員長
2017年 - 2022年3月

応用物理学会プログラム編集委員
2013年 - 2021年4月

電気学会光・量子デバイス技術研究会幹事
2015年 - 2021年3月

日本学術振興会第191委員会幹事
2008年 - 2021年

日本学術振興会第145委員会委員
2020年 - 2020年

日本学術振興会, 科学研究費助成事業審査第二部会審査小委員会委員
2013年 - 2015年

応用物理学会関西支部幹事

受賞

2023年6月

キオクシア奨励研究2022年度プロセス部門, サーマルプロセスとガスクラスター励起表面反応を用いた原子層加工技術の開発, キオクシア株式会社

豊田紀章

論文

191

Mechanisms of stress control in SiNx membranes under gas cluster ion beam irradiation

Masaya Takeuchi, Noriaki Toyoda

Journal of Vacuum Science & Technology B 44(2) 2026年2月2日
Surface stress modification of silicon nitride film via argon gas cluster ion beam

Masaya Takeuchi, Noriaki Toyoda

MRS Advances 2025年2月7日
High Sensitivity of Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy Measurement Using Liquid Cell with Electron Transmittance Window Ultra-Thinned by a Gas Cluster Ion Beam

Masaya Takeuchi, Satoru Suzuki, Noriaki Toyoda

ECS Meeting Abstracts MA2024-02(60) 4044-4044 2024年11月22日
Highly sensitive electron-beam-induced X-ray detection from liquid using SiNx membrane ultrathinned by gas cluster ion beams

Masaya Takeuchi, Satoru Suzuki, Masaki Nakamura, Takashi Hata, Yusuke Nishiuchi, Kaori Tada, Noriaki Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics 2024年6月7日
Pressure resistance evaluation of an ultrathin SiNx membrane etched by a gas cluster ion beam

Masaya Takeuchi, Noriaki Toyoda

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 550 165317-165317 2024年5月
Atomic layer etching of silicon nitride film by oxygen gas cluster ion beam with acetylacetone

Masaya Takeuchi, Reki Fujiwara, Noriaki Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics 2023年4月26日査読有り
Surface preparation of metal films by gas cluster ion beams using organic acid vapor for Cu–Cu bonding

S. Hanahara, M. Takeuchi, N. Toyoda

Japanese Journal of Applied Physics 61(SF) SF1004-SF1004 2022年3月24日査読有り
ガスクラスタイオン照射を用いた原子層エッチング

豊田紀章

応用物理 90(4) 239-243 2021年4月査読有り招待有り筆頭著者
Ferrocene on Insulator: Silane Coupling to a SiO2 Surface and Influence on Electrical Transport at a Buried Interface with an Organic Semiconductor Layer

Takashi Ikeda, Keishiro Tahara, Tomofumi Kadoya, Hiroyuki Tajima, Noriaki Toyoda, Satoshi Yasuno, Yoshiki Ozawa, Masaaki Abe

Langmuir 36(21) 5809-5819 2020年6月2日
ガスクラスターイオンビーム照射されたPEEK表面の細胞付着性

豊田紀章

電気学会論文誌Ｃ 140(4) 443-446 2020年4月1日
ガスクラスターイオンビーム励起による表面反応と原子層エッチングへの応用

豊田紀章

表面と真空 63(12) 623-628 2020年査読有り
Immobilizing a π-Conjugated Catecholato Framework on Surfaces of SiO2 Insulator Films via a One-Atom Anchor of a Platinum Metal Center to Modulate Organic Transistor Performance

K. Tahara, Y. Ashihara, T. Ikeda, T. Kadoya, J. Fujiwara, Y Ozawa, H. Tajima, N. Toyoda, Y. Haruyama, M. Abe

Inorg. Chem. 59(24) 17945-17957 2020年査読有り
Cluster beams, nano-ripples, and bio applications

Noriaki Toyoda, Buddhi Tilakaratne, Iram Saleem, Wei-Kan Chu

Applied Physics Reviews 6(2) 020901-020901 2019年6月
Low temperature wafer bonding with gas cluster ion beams

Noriaki Toyoda, Shota Ikeda

Proceedings of 2019 6th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration, LTB-3D 2019 83 2019年5月1日
Atomic layer etching by gas cluster ion beams with acetylacetone

Noriaki Toyoda, Kota Uematsu

Japanese Journal of Applied Physics 58 SEEA01 2019年5月査読有り
Ultra-low loss ridge waveguides on lithium niobate via argon ion milling and gas clustered ion beam smoothening

Shawn Yohanes Siew, Eric Jun Hao Cheung, Haidong Liang, Andrew Bettiol, Noriaki Toyoda, Bandar Alshehri, Elhadj Dogheche, Aaron J. Danner

Optics Express 26(4) 4421-4430 2018年2月19日査読有り
Irradiation conditions of gas cluster ion beam for surface-activated bonding

Noriaki Toyoda, Tomoya Sasaki, Shota Ikeda, Isao Yamada

Japanese Journal of Applied Physics 57(2) 2018年2月1日査読有り
Low Temperature Bonding for 3D Integration FOREWORD

Tadatomo Suga, Naoteru Shigekawa, Eiji Higurashi, Takehito Shimatsu, Masakazu Sugiyama, Hideki Takagi, Noriaki Toyoda

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 57(2) 2018年2月査読有り
Surface planarization with gas cluster ion beams and application to wide-bandgap semiconductors

Noriaki Toyoda

International Journal of Automation Technology 12(2) 170-174 2018年査読有り
Atomic layer etching of Cu film using gas cluster ion beam

Noriaki Toyoda, Akihiro Ogawa

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS 50(18) 2017年5月査読有り

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MISC

クラスタービームによる表面改質と原子層プロセスへの応用

豊田紀章, 竹内雅耶

第86回応用物理学会秋季学術講演会 T15原子層プロセスシンポジウム 2025年9月招待有り
ガスクラスターイオンの衝突効果と表面評価への応用

The 24th Scientific International Symposium on SIMS and Related Techniques Based on Ion-Solid Interactions 2025年5月招待有り
Low temperature bonding for 3D integration 2024

Naoteru Shigekawa, Masahisa Fujino, Hideki Takagi, Eiji Higurashi, Noriaki Toyoda, Ryo Takigawa

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 64(5) 2025年5月1日
水素化ダイヤモンドライクカーボン薄膜に対する原子状水素照射効果

春山雄一, 部家彰, 住友弘二, 豊田紀章, 伊藤省吾

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 71st 2024年
原子状水素照射による水素フリーダイヤモンドライクカーボン薄膜の選択的エッチング

春山雄一, 森本大貴, 部家彰, 住友弘二, 豊田紀章, 伊藤省吾

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
クラスターイオンビーム励起による表面反応と原子層エッチングへの応用

豊田紀章

光技術コンタクト 60(10) 23 2022年10月招待有り筆頭著者
水素フリーダイヤモンドライクカーボン薄膜に対する原子状水素照射量依存性

春山雄一, 森本大貴, 部家彰, 住友弘二, 豊田紀章, 伊藤省吾

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 83rd 2022年
Low Temperature Bonding for 3D Integration FOREWORD

Naoteru Shigekawa, Hideki Takagi, Masahisa Fujino, Eiji Higurashi, Nobuhiko Nishiyama, Takehito Shimatsu, Noriaki Toyoda

JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 59 2020年2月
ガスクラスターイオンビームによる超精密加工

豊田紀章, 山田公

兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 55-59 2016年
ガスクラスターイオンビーム研究開発の最近の動向

豊田紀章

兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 62-68 2016年
New getting method for thinned Si using gas cluster ion beam

Toyoda Noriaki, Yamada Isao

兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 27-29 2012年
ソフトスパッタSIMSによる有機材料の極浅表面分析

田中元裕, 盛谷浩右, 豊田紀章, 乾徳夫, 持地広造

表面科学学術講演会講演要旨集 30th 2010年
Fabrication of patterned media by using gas cluster ion beams

Toyoda Noriaki, Yamada Isao

兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 26-29 2010年
Planarization of Intermetallic Films by Gas Cluster Ion Beam Irradiations

Naito Kouki, Toyoda Noriaki, Yamada Isao

兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 46-51 2010年
High-rate Etching of Organic Materials with Gas Cluster Beam

Suda Takanori, Toyoda Noriaki, Yamada Isao

兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 40-45 2010年
Gas cluster ion beam process for high-quality thin film deposition

Toyoda Noriaki, Yamada Isao

兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 20-22 2010年
ガスクラスターイオンビームによるパターン間への埋め込み構造形成

廣田智一, 豊田紀章, 山田公, 長藤圭介, 濱口哲也, 中尾政之, 谷弘詞, 坂根康夫

応用物理学関係連合講演会講演予稿集 56th(2) 2009年
ガスクラスターイオンビームによるドット状パターンの平坦化

廣田智一, 豊田紀章, 山田公, 長藤圭介, 濱口哲也, 中尾政之, 谷弘詞, 坂根康夫

応用物理学会学術講演会講演予稿集 70th(2) 2009年
ガスクラスターSIMSを用いた有機薄膜の表面高感度分析

田中元裕, 盛谷浩右, 豊田紀章, 持地広造

応用物理学会学術講演会講演予稿集 70th(2) 2009年
低損傷SIMSによる有機薄膜の極浅表面分析

田中元裕, 盛谷浩右, 豊田紀章, 持地広造

表面科学学術講演会講演要旨集 29th 2009年

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書籍等出版物

次世代半導体用の難加工結晶材料のための超精密加工技術

監修會田英雄, 土肥俊郎 (担当:分担執筆, 範囲:第8章第8節)

(株)R&D支援センター 2024年4月 (ISBN: 9784905507710)
半導体製造におけるウェット／ドライエッチング技術

豊田紀章 (担当:分担執筆, 範囲:3章4節)

(株)R&D支援センター 2022年10月 (ISBN: 9784905507611)

講演・口頭発表等

液体X-ray PEEM測定の高空間分解能化に向けた O2-GCIB照射による電子透過窓の応力制御

竹内雅耶, 豊田紀章

第72回応用物理学会春季学術講演会 2025年3月16日
GCIB を用いたクライオエッチングにおける反応性ガス供給法依存性

伊藤汰一, 北中晴也, 竹内雅耶, 豊田紀章

第72回応用物理学会春季学術講演会 2025年3月16日
Surface modification of Cu films by gas cluster ion beams using organic acid vapor for wafer bonding

N. Toyoda, M. Takeuchi

8th International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration 2024年10月31日
Cryogenic temperature dependence of SiO2 etching using gas cluster ion beam irradiation under a reactive gas atmosphere

Taichi Ito, Masaya Takeuchi, Noriaki Toyoda

International Vacuum and Surface Science Conference 2024年10月15日
High sensitivity of SEM/EDS detection by liquid cell with ultra-thin electron transmittance window irradiated by O2-GCIB

Masaya Takeuchi, Satoru Suzuki, Noriaki Toyoda

ECS Prime 2024年10月6日
Investigation of modification process of SiNx film by a gas cluster ion beam irradiation

Masaya Takeuchi, Noriaki Toyoda

2024年9月23日
X-ray PEEM測定用液体セルに向けた GCIB照射による極薄SiNxメンブレンの応力制御

竹内雅耶, 豊田亜里沙, 豊田紀章

第85回応用物理学会秋季学術講演会 2024年9月18日
中性ガスクラスタービームを用いたCu膜のドライエッチング

池田圭佑, 田中秀幸, 竹内雅耶, 豊田紀章

第85回応用物理学会秋季学術講演会 2024年9月18日
反応性ガス雰囲気下GCIB照射によるエッチングのガス分圧および基板温度依存性

伊藤汰一, 竹内雅耶, 豊田紀章

第85回応用物理学会秋季学術講演会 2024年9月18日
Surface modification and etching of metal films by neutral cluster beam irradiation

Noriaki Toyoda, Keisuke Ikeda, Masaya Takeuchi

International Vacuum and Surface Science Conference 2024年9月15日
中性ガスクラスタービームを用いたCu膜のドライALE

池田圭佑, 田中秀幸, 竹内雅耶, 豊田紀章

第71回応用物理学会春季学術講演会 2024年3月24日
反応性ガス吸着とGCIB照射を用いたエッチングにおける基板冷却効果

伊藤汰一, 竹内雅耶, 豊田紀章

第71回応用物理学会春季学術講演会 2024年3月24日
GCIB照射で極薄化した電子線透過窓を用いた液体セルによるSEM/EDS検出の高感度化

竹内雅耶, 鈴木哲, 豊田紀章

第71回応用物理学会春季学術講演会 2024年3月24日
Temperature dependence on metal etching using reactive gas adsorption and GCIB

K. Sakuta, M. Takeuchi, N. Toyoda

44th International Symposium on Dry Process 2023年11月22日
Surface modification and etching of metal films by neutral cluster beam irradiation

H. Tanaka, M. Takeuchi, N.Toyoda

44th International Symposium on Dry Process 2023年11月22日
Reactive etching and pressure resistance evaluation of SiNx film by O2-GCIB for electron transmission window of liquid cell

M. Takeuchi, S. Suzuki, M. Nakamura, T. Hata, N. Toyoda

MNC 2023 2023年11月17日
中性クラスタービーム照射による金属膜のエッチング

田中秀幸, 竹内雅耶, 豊田紀章

第83回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月20日
反応性ガス吸着とO2-GCIB照射を用いた金属エッチングの基板冷却効果

作田昂大, 竹内雅耶, 豊田紀章

第83回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月20日
GCIBを用いた電子透過窓極薄化による液中試料検出の高感度化

竹内雅耶, 鈴木哲, 豊田紀章

第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023年9月20日
Evaluation of mechanical property of ultra-thin SiNx membranes irradiated by gas cluster ion beam

M. Takeuchi, N. Toyoda

21st International Conference on Radiation Effects in Insulator 2023年9月7日

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共同研究・競争的資金等の研究課題

クラスタービーム原子層エッチングと照射位置制御を用いた超高精度形状創成

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2022年4月 - 2025年3月

豊田紀章, 竹内雅耶, 寺岡有殿
クラスタービーム原子層エッチングと照射位置制御を用いた超高精度形状創成

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 基盤研究(B) 2022年4月 - 2025年3月

豊田紀章, 寺岡有殿, 竹内雅耶
徐放化抗がん剤と非金属脊椎インプラントを併用した新しい脊椎転移治療に関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 基盤研究(C) 2020年4月 - 2023年3月

角谷賢一朗, 豊田紀章, 張鍾穎, 由留部崇, 垣内裕司
先鋭化ガラス先端の増強電場を利用した非真空イオン注入および細胞代謝活性評価

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2019年4月 - 2022年3月

大幸裕介, 豊田紀章, 篠崎健二, 小幡亜希子, 本間剛
ガスクラスタービームによる遷移金属カルコゲナイドの原子層エッチング

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2017年4月 - 2020年3月

豊田紀章
低損傷・高平坦性を実現する表面活性化法を用いた革新的ウェハ接合技術の開発

科学技術振興機構産学が連携した研究開発成果の展開/研究成果展開事業/研究成果最適展開支援プログラム(A-STEP)/機能検証フェーズ/試験研究タイプ 2019年 - 2020年

豊田紀章
メゾスコピッククラスタービームによる有機電子材料のダメージフリー・ナノ加工

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2011年4月 - 2014年3月

豊田紀章
ガスクラスターイオンビームを用いた超精密3次元形状加工技術の開発

日本学術振興会科学研究費助成事業若手研究(B) 2005年 - 2006年

豊田紀章

社会貢献活動

兵庫県立大学工学部公開講座 AI時代を支える半導体プロセス技術

講師

兵庫県立大学 2025年8月22日
Society 5.0（超スマート社会）に向けたものづくり技術

出演

シニアオープンカレッジ 2022年10月5日
ガスクラスターイオンビーム照射によるプラスチックの表面改質

講師

技術情報協会 2022年5月30日

豊田紀章

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研究分野

経歴

学歴

委員歴

受賞

論文

MISC

書籍等出版物

講演・口頭発表等

共同研究・競争的資金等の研究課題

社会貢献活動

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