2012年 New getting method for thinned Si using gas cluster ion beam 兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 Toyoda Noriaki, Yamada Isao 開始ページ 27 終了ページ 29 記述言語 英語 掲載種別 出版者・発行元 兵庫県立大学工学研究科イオン光学研究室 リンク情報 CiNii Articleshttp://ci.nii.ac.jp/naid/40020675193URLhttp://id.ndl.go.jp/bib/026978468 ID情報 CiNii Articles ID : 40020675193 エクスポート BibTeX RIS