MISC

2012年

New getting method for thinned Si using gas cluster ion beam

兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集

Toyoda Noriaki
Yamada Isao

開始ページ: 27
終了ページ: 29
記述言語: 英語
掲載種別
出版者・発行元: 兵庫県立大学工学研究科イオン光学研究室

リンク情報

CiNii Articles: http://ci.nii.ac.jp/naid/40020675193
URL: http://id.ndl.go.jp/bib/026978468

ID情報

CiNii Articles ID : 40020675193

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