小椋厚志 (Ogura Atsushi) - マイポータル

基本情報

所属: 明治大学理工学部専任教授

J-GLOBAL ID: 200901042584291616
researchmap会員ID: 6000003067

研究分野

ナノテク・材料 / 結晶工学 /

論文

546

Determination of Ge-fraction-shift coefficients for Raman spectroscopy in all vibration modes investigated by single-crystalline bulk SiGe and its application to strain evaluation in SiGe film grown on substrate

Ryo Yokogawa, Sho Sugawa, Ichiro Yonenaga, Yasutomo Arai, Atsushi Ogura

Japanese Journal of Applied Physics 63(3) 035503-035503 2024年3月1日
Strain and optical characteristics analyses of three-dimentional self-ordered multilayered SiGe nanodots by photoluminescence and Raman spectroscopy

Yuta Ito, Ryo Yokogawa, Wei-Chen Wen, Yuji Yamamoto, Takuya Minowa, Atsushi Ogura

Japanese Journal of Applied Physics 63(3) 03SP31-03SP31 2024年2月16日
Local thermal conductivity properties of a SiGe nanowire observed by laser power sweep Raman spectroscopy

S. Sugawa, R. Yokogawa, A. Ogura

Japanese Journal of Applied Physics 63(2) 02SP68-02SP68 2024年1月25日
Strain distributions in carbon-doped silicon nanowires along [110] and [100] investigated by X-ray diffraction

Ichiro Hirosawa, Kazutoshi Yoshioka, Ryo Yokogawa, Takeshi Watanabe, Atsushi Ogura

Japanese Journal of Applied Physics 2024年1月1日査読有り
Evaluation of Anisotropic Biaxial Stress in Extremely-Thin Body (100) Silicon-Germanium-on-Insulator p-Type Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect-Transistor by Oil-Immersion Raman Spectroscopy

Yuiha Maeda, Ryo Yokogawa, Sho Sugawa, Chia-Tsong Chen, Kasidit Toprasertpong, Mitsuru Takenaka, Shinichi Takagi, Atsushi Ogura

ECS Transactions 112(1) 37-43 2023年9月29日
Identification of Proteins Adsorbed on Hydroxyapatite Ceramics with a Preferred Orientation to a-Plane

Erika Onuma, Takayuki Honda, Hideyuki Yoshimura, Tappei Nishihara, Atsushi Ogura, Nobuyuki Kanzawa, Mamoru Aizawa

Crystals 13(9) 1318-1318 2023年8月29日
Temperature Dependence of Raman Peak Shift in Single-Crystalline Silicon-Germanium

Sho Sugawa, Ryo Yokogawa, Kazutoshi Yoshioka, Yasutomo Arai, Ichiro Yonenaga, Atsushi Ogura

ECS Journal of Solid State Science and Technology 12(6) 064004-064004 2023年6月査読有り
Analysis of InGaAs/InP p-I-n Photodiode Failed by Electrostatic Discharge

Yuta Ito, Ryo Yokogawa, Osamu Ueda, Naomi Sawamoto, Koki Ide, Longxiang Men, Atsushi Ogura

Journal of Electronic Materials 52(8) 5150-5158 2023年5月24日
Evaluation of Strain-Relaxation of Carbon-Doped Silicon Nanowires and Its Crystal Orientation Dependence Using X-Ray Diffraction Reciprocal Space Mapping

Kazutoshi Yoshioka, Ichiro Hirosawa, Takeshi Watanabe, Ryo Yokogawa, Atsushi Ogura

Journal of Electronic Materials 52(8) 5140-5149 2023年5月23日
Inelastic X-ray Scattering Measurement on Single-Crystalline GeSn Thin Film

M. Chino, R. Yokogawa, A. Ogura, H. Uchiyama, H. Tatsuoka, Y. Shimura

Journal of Electronic Materials 52(8) 5128-5133 2023年5月8日
Conformal deposition of WS₂ layered film by low-temperature metal-organic chemical vapor deposition

K. Cho, N. Sawamoto, H. Machida, M. Ishikawa, H. Sudoh, H. Wakabayashi, R. Yokogawa, A. Ogura

Japanese Journal of Applied Physics 62(SG) SG1048-SG1048 2023年5月査読有り
Effect of sawing damage on flexibility of crystalline silicon wafers for thin flexible silicon solar cells

Yutaka Hara, Koki Ide, Tappei Nishihara, Ryo Yokogawa, Kyotaro Nakamura, Yoshio Ohshita, Tomoyuki Kawatsu, Toshiki Nagai, Yuma Aoki, Hayato Kobayashi …

Japanese Journal of Applied Physics 62(1) 2023年1月1日
Non-seed chemical bath deposition of ZnO films in a rotating continuous flow reactor with various carboxylic acids and their application to transparent conductive films

Hajime Wagata, Naoya Shioiri, Yuya Tanaka, Ryo Yokogawa, Atsushi Ogura

CRYSTENGCOMM 24(47) 8294-8302 2022年12月
Distribution Evaluation of Optical Properties in Silicon Germanium Films Grown on Silicon Substrates with Graded Silicon Germanium Buffer Layers

Yuki Shibayama, Ryo Yokogawa, Atsushi Ogura

ECS Transactions 109(4) 367-374 2022年9月30日
Investigation of Band Structure in Strained Single Crystalline Si_1-XSn_X

Keita Sahara, Ryo Yokogawa, Yuki Shibayama, Yusuke Hibino, Masashi Kurosawa, Atsushi Ogura

ECS Transactions 109(4) 359-366 2022年9月30日
Study on phonon lifetime in bulk silicon–germanium through observation of acoustic phonon spectra broadening by inelastic x-ray scattering

Ryo Yokogawa, Yasutomo Arai, Ichiro Yonenaga, Motohiro Tomita, Sylvia Yuk Yee Chung, Hiroshi Uchiyama, Takanobu Watanabe, Atsushi Ogura

Applied Physics Letters 121(8) 082105-082105 2022年8月22日
Systematic variation of photoluminescence spectra with donor and acceptor concentrations ranging from 1 × 1010 to 1 × 1020 cm−3 in Si

Michio Tajima, Hiroyuki Toyota, Atsushi Ogura

Japanese Journal of Applied Physics 2022年8月1日
Effect of reactive gas condition on nonpolar AlN film growth on MnS/Si (100) by reactive DC sputtering

Masaya Morita, Keiji Ishibashi, Kenichiro Takahashi, Shigenori Ueda, Jun Chen, Kota Tatejima, Toyohiro Chikyow, Atsushi Ogura, Takahiro Nagata

Japanese Journal of Applied Physics 61(SC) 2022年5月
Operando hard X-ray photoelectron spectroscopy study of buried interface chemistry of Au/InO1.16C0.04/Al2O3/p<mml:math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" display="inline" id="d1e385" altimg="si20.svg"><mml:msup><mml:mrow /><mml:mrow><mml:mo>+</mml:mo></mml:mrow></mml:msup></mml:math>-Si stacks

Ibrahima Gueye, Riku Kobayashi, Shigenori Ueda, Toshihide Nabatame, Kazuhito Tsukagoshi, Atsushi Ogura, Takahiro Nagata

Applied Surface Science 153272-153272 2022年4月
Modification and Characterization of Interfacial Bonding for Thermal Management of Ruthenium Interconnects in Next-Generation Very-Large-Scale Integration Circuits

Tianzhuo Zhan, Keita Sahara, Haruki Takeuchi, Ryo Yokogawa, Kaito Oda, Zhicheng Jin, Shikang Deng, Motohiro Tomita, Yen Ju Wu, Yibin Xu …

ACS Applied Materials and Interfaces 14(5) 7392-7404 2022年2月9日

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MISC

139

単結晶Siウェーハのテクスチャによる三次元柔軟性への影響

井手康貴, 西原達平, 西原達平, 中村京太郎, 大下祥雄, 河津知之, 長井俊樹, 山田昇, 小林勇人, 小椋厚志 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年
単結晶Siウェハーの表面構造が柔軟性に与える影響

原豊, 井手康貴, 西原達平, 中村京太郎, 大下祥雄, 河津知之, 長井俊樹, 山田昇, 宮下幸雄, 小椋厚志 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 69th 2022年
単結晶Si太陽電池の薄型化へ向けたスライスダメージ評価 III

原豊, 横川凌, 横川凌, 西原達平, 中村京太郎, 大下祥雄, 河津知之, 長井俊樹, 山田昇, 宮下幸雄 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 82nd 2021年
X線逆格子空間マッピングを用いたメサ構造状カーボンドープシリコンにおける3軸歪評価

吉岡和俊, 小原田賢聖, 小笠原凱, 廣沢一郎, 渡辺剛, 横川凌, 横川凌, 小椋厚志, 小椋厚志

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 68th 2021年
大面積集積化に向けたスパッタ堆積ノーマリーオフMoS₂-nMISFETs

松浦賢太朗, 濱田昌也, 濱田拓也, 谷川晴紀, 坂本拓朗, 堀敦, 宗田伊理也, 川那子高暢, 角嶋邦之, 筒井一生 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th 2020年
単結晶Si太陽電池の薄型化へ向けたスライスダメージ評価

原豊, 横川凌, 横川凌, 大西康平, 神岡武文, 中村京太郎, 大下祥雄, 河津知之, 長井俊樹, 山田昇 …

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th 2020年
マルチワイヤーソーで切断された薄型単結晶Siウエハの機械特性評価

小竹裕也, 長井俊樹, 河津知之, 小椋厚志, 大下祥雄, 宮下幸雄, 山田昇

日本機械学会北陸信越支部総会・講演会講演論文集(CD-ROM) 57th 2020年
単結晶Si太陽電池の薄型化へ向けたスライスダメージ評価 II

原豊, 横川凌, 横川凌, 西原達平, 神岡武文, 中村京太郎, 大下祥雄, 河津知之, 長井俊樹, 山田昇 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 81st 2020年
Si_xGe_1-x/Ge薄膜のGe-K吸収端におけるDAFSスペクトルの測定と解析

藤原孝将, 吉岡和俊, 横川凌, 小椋厚志, 廣沢一郎

日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web) 33rd 2020年
逆格子空間マッピングによるGe_1-XSn_Xメサ構造における原子間隔分布の検討

廣沢一郎, 高橋祐樹, 吉岡和俊, 横川凌, 横川凌, 須田耕平, 小椋厚志

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th 2020年
薄型フレキシブルSi太陽電池へ向けたスライスダメージ評価

大西康平, 横川凌, 横川凌, 西原達平, 神岡武文, 中村京太郎, 大下祥雄, 河津知之, 長井俊樹, 山田昇 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
逆格子空間マッピングを用いたGe_1-xSn_xメサ構造における歪緩和評価

高橋祐樹, 横川凌, 横川凌, 廣沢一郎, 須田耕平, 小椋厚志

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 66th 2019年
透明導電膜のスパッタリング堆積によるプロセスダメージの評価

金井皓輝, 西原達平, 神岡武文, 松崎淳介, 高橋明久, 清田淳也, 安野聡, 廣沢一郎, 小椋厚志

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
実験室系硬X線光電子分光法による埋もれた界面の化学結合状態評価

西原達平, 金井皓輝, 横川凌, 横川凌, 廣沢一郎, 安野聡, 大川登志郎, 小椋厚志

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 80th 2019年
3300V Scaled IGBTs Driven by 5V Gate Voltage

Saraya, Takuya, Itou, Kazuo, Takakura, Toshihiko, Fukui, Munetoshi, Suzuki, Shinichi, Takeuchi, Kiyoshi, Tsukuda, Masanori, Numasawa, Yohichiroh, Satoh, Katsumi, Matsudai, Tomoko …

2019 31ST INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON POWER SEMICONDUCTOR DEVICES AND ICS (ISPSD) 43-46 2019年
スパッタ法による2次元層状物質成長

日比野祐介, 日比野祐介, 石原聖也, 石原聖也, 小柳有矢, 澤本直美, 松浦賢太郎, 坂本拓朗, 濱田昌也, 若林整 …

日本表面真空学会学術講演会講演要旨集 2018 13 2018年11月19日
共スパッタ法と硫化によって作製したMoS_2(1-x)Te_2x膜の構造評価

日比野祐介, 日比野祐介, 石原聖也, 石原聖也, 小柳有矢, 澤本直美, 松浦賢太郎, 町田英明, 石川真人, 須藤弘 …

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th ROMBUNNO.18a‐224B‐8 2018年9月5日
DCバイアススパッタ法を用いて作製したMoS₂膜のラマン分光評価

小柳有矢, 石原聖也, 石原聖也, 日比野祐介, 日比野祐介, 澤本直美, 大橋匠, 松浦賢太朗, 若林整, 小椋厚志

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th ROMBUNNO.18a‐224B‐9 2018年9月5日
大面積集積化に向けたスパッタMoS₂薄膜を用いたTop‐Gate nMISFETs

松浦賢太朗, 清水淳一, 外山真矢人, 大橋匠, 宗田伊理也, 石原聖也, 角嶋邦之, 筒井一生, 小椋厚志, 若林整

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th ROMBUNNO.19p‐233‐6 2018年9月5日
液浸ラマン分光法で観測される高濃度SiGeラマンスペクトルのブロードピークを利用したGe濃度定量

横川凌, 横川凌, 小原田賢聖, 吉岡和俊, 石原聖也, 石原聖也, 臼田宏治, 小椋厚志

応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 79th ROMBUNNO.18p‐235‐13 2018年9月5日

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書籍等出版物

Advanced Aspects of Spectroscopy

ed. by, Muhammad Akhyar Farrukh (担当:共著)

InTech, Croatia 2012年8月 (ISBN: 9789535107156)
表面・深さ方向の分析方法

(担当:共著)

サイエンス＆テクノロジー 2007年11月
電子材料ハンドブック

木村忠正, 八百隆文, 奥村次徳, 豊田太郎編集 (担当:共著)

朝倉書店 2006年11月
高周波半導体材料・デバイスの新展開

監修, 奥村次徳 (担当:共著)

シーエムシー出版 2006年8月
最新シリコンデバイスと結晶技術

編集委員長, 清水博文 (担当:共著)

リアライズ理工センター 2005年12月
SIMOX

Editted by, Maria J.Anc (担当:共著)

The Institute of Electrical Engineers 2004年
21世紀版・薄膜作製応用ハンドブック

監修, 権田俊一 (担当:共著)

（株）エヌ・ティー・エス 2003年4月
赤外線加熱工学ハンドブック

監修, 小宮昌宏 (担当:共著)

（株）アグネ技術センター 2003年
Stress at the interface in SOI structure no.

(担当:共著)

Inspec publication 1998年

講演・口頭発表等

267

Characterictics variability of gate-all-around polycrystalline silicon nanowire transistors with width of 10nm scale

Ki Hyun Jang, Takuya Saraya, Masaharu Kobayashi, Naomi Sawamoto, Atsushi Ogura, Toshiro Hiramoto

2017 Silicon Nanoelectronics Workshop, SNW 2017 2017年12月29日
Fabrication and performance analysis of a mechanical stack InGaP/GaAs//Si solar cell

Kan Hua Lee, Kyotaro Nakamura, Takefumi Kamioka, Nobuaki Kojima, Hyunju Lee, Li Wang, Kenji Araki, Yoshio Ohshita, Atsushi Ogura, Masafumi Yamaguchi

2017 IEEE 44th Photovoltaic Specialist Conference, PVSC 2017 2017年1月1日
A study on the evaluation method of glass frit paste for crystalline silicon solar cells

Mari Aoki, Takayuki Aoyama, Isao Sumita, Yasushi Yoshino, Atsushi Ogura, Yoshio Ohshita

2017 IEEE 44th Photovoltaic Specialist Conference, PVSC 2017 2017年1月1日
Effect of glass frit in metallization paste on the electrical losses in bifacial N-type crystalline silicon solar cells

Takayuki Aoyama, Mari Aoki, Isao Sumita, Yasushi Yoshino, Atsushi Ogura

2017 IEEE 44th Photovoltaic Specialist Conference, PVSC 2017 2017年1月1日
Evaluation of SiNx passivation with plasma treatment for crystalline Si solar cell

T. Hiyama, T. Kojima, Y. Yamashita, A. Ogura

2017 IEEE 44th Photovoltaic Specialist Conference, PVSC 2017 2017年1月1日
Evaluation of SiNx passivation with plasma treatment for crystalline Si solar cell

T. Hiyama, T. Kojima, Y. Yamashita, A. Ogura

Conference Record of the IEEE Photovoltaic Specialists Conference 2016年11月18日
Photoluminescence characterization of Si crystals for microelectronic and photovoltaic devices

Michio Tajima, Gen Kato, Kei Nakagawa, Fumito Higuchi, Atsushi Ogura

15th International Workshop on Junction Technology, IWJT 2015 2016年5月9日
Raman spectroscopy study of crystalline damage induced by PECVD SiN

Y. Yamashita, N. Ikeno, N. Aizawa, T. Tachibana, Y. Ohshita, A. Ogura

2015 IEEE 42nd Photovoltaic Specialist Conference, PVSC 2015 2015年12月14日
Evaluation of the silicon ingot with addition of SiCl\bf 4 in atmosphere during unidirectional solidification

Tomihisa Tachibana, Kuniyuki Sato, Hiroki Kusunoki, Shiro Sakuragi, Yoshio Ohshita, Haruhiko Ono, Atsushi Ogura

IEEE Journal of Photovoltaics 2014年3月1日
Investigation on anti-reflection coating for high resistance to potential induced degradation

Ken Mishina, Atsufumi Ogishi, Kiyoshi Ueno, Takuya Doi, Kohjiro Hara, Norihiro Ikeno, Daisuke Imai, Tetsuya Saruwatari, Toshiharu Yamazaki, Atsushi Ogura, Yoshio Ohshita, Atsushi Masuda

Proceedings of the 20th International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices: TFT Technologies and FPD Materials, AM-FPD 2013 2013年11月22日
Experimental study of tri-gate SOI-FinFET flash memory

Y. X. Liu, T. Kamei, T. Matsukawa, K. Endo, S. O'Uchi, J. Tsukada, H. Yamauchi, Y. Ishikawa, T. Hayashida, K. Sakamoto, A. Ogura, M. Masahara

Proceedings - IEEE International SOI Conference 2012年12月1日
Ion shower doping for emitter fabrication in crystalline Si solar cells

H. Hashiguchi, T. Tachibana, M. Aoki, T. Kojima, Y. Ohshita, A. Ogura

Conference Record of the IEEE Photovoltaic Specialists Conference 2012年11月26日
Behaviors of Fe and Ni at crystal defects in multi-crystalline silicon by intentional contamination and phosphorus gettering

N. Miyazaki, Y. Tsuchiya, T. Sameshima, T. Tachibana, T. Kojima, Y. Ohshita, K. Arafune, A. Ogura

Conference Record of the IEEE Photovoltaic Specialists Conference 2012年11月26日
Thin (<100μm) crystalline silicon solar cell fabrication using low cost feedstock and diamond wire slice technologies

Y. Ohshita, M. Aoki, T. Kojima, T. Tachibana, A. Ogura

Conference Record of the IEEE Photovoltaic Specialists Conference 2012年11月26日
Correlation between carbon incorporation and defect formation in quasi-single crystalline silicon

Yuki Tsuchiya, Hiroki Kusunoki, Naoto Miyazaki, Takashi Sameshima, Tomihisa Tachibana, Takuto Kojima, Koji Arafune, Yoshio Ohshita, Haruhiko Ono, Atsushi Ogura

Conference Record of the IEEE Photovoltaic Specialists Conference 2012年11月26日
Comparative study of tri-gate- and double-gate-type poly-Si fin-channel split-gate flash memories

Y. X. Liu, T. Kamei, T. Matsukawa, K. Endo, S. O'uchi, J. Tsukada, H. Yamauchi, Y. Ishikawa, T. Hayashida, K. Sakamoto, A. Ogura, M. Masahara

2012 IEEE Silicon Nanoelectronics Workshop, SNW 2012 2012年10月12日
Characterization of anisotropic strain relaxation after mesa isolation for strained SGOI and SiGe/Si structure with newly developed high-NA and oil-immersion Raman method

Koji Usuda, Daisuke Kosemura, Motohiro Tomita, Atsushi Ogura, Tsutomu Tezuka

2012 International Silicon-Germanium Technology and Device Meeting, ISTDM 2012 - Proceedings 2012年7月30日
Influence of fin height on poly-Si/PVD-TiN stacked gate FinFET performance

T. Hayashida, K. Endo, Y. X. Liu, S. O'uchi, T. Matsukawa, W. Mizubayashi, S. Migita, Y. Morita, H. Ota, H. Hashiguchi, D. Kosemura, T. Kamei, J. Tsukada, Y. Ishikawa, H. Yamauchi, A. Ogura, M. Masahara

Proceedings - IEEE International SOI Conference 2011年12月20日
Comparative study of tri-gate flash memories with split and stack gates

T. Kamei, Y. X. Liu, T. Matsukawa, K. Endo, S. O'uchi, J. Tsukada, H. Yamauchi, Y. Ishikawa, T. Hayashida, K. Sakamoto, A. Ogura, M. Masahara

Proceedings - IEEE International SOI Conference 2011年12月20日
Variability analysis of scaled poly-Si channel FinFETs and tri-gate flash memories for high density and low cost stacked 3D-memory application

Y. X. Liu, T. Mastukawa, K. Endo, S. O'uchi, J. Tsukada, H. Yamauchi, Y. Ishikawa, K. Sakamoto, M. Masahara, T. Kamei, T. Hayashida, A. Ogura

European Solid-State Device Research Conference 2011年12月12日

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共同研究・競争的資金等の研究課題

天然化合物をベースとした水素キャリアに関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(C) 2014年4月 - 2017年3月

大下祥雄, 小椋厚志, 高田俊和, 町田英明
超薄膜ＧｅおよびＳｉＧｅの極微小領域に導入された歪場のラマン分光法による多軸解析

日本学術振興会科学研究費助成事業基盤研究(B) 2012年4月 - 2017年3月

小椋厚志, 廣沢一郎, 小瀬村大亮, 沼澤陽一郎, 澤本直美, 臼田宏治
LSIプロセスによりシリコン結晶に導入された結晶歪の精密分布測定に関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業特定領域研究 2008年 - 2009年

小椋厚志
シリコン最表面の微小領域に導入された結晶歪の精密分布測定に関する研究

日本学術振興会科学研究費助成事業特定領域研究 2007年 - 2007年

小椋厚志, 木村正和

小椋厚志

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