小椋謙 (Yuzuru Ogura) - マイポータル

基本情報

研究者番号: 50729431
J-GLOBAL ID: 202101012260306873
researchmap会員ID: R000021839

研究キーワード

研究分野

学歴

1982年4月 - 1989年3月

名古屋大学, 理学部, 物理学科

論文

Two-fluid model to simulate metal powder bed fusion additive manufacturing

Noriko Watari, Yuzuru Ogura, Noriko Yamazaki, Yukihiko Inoue, Keisuke Kamitani, Yasuyuki Fujiya, Masahiko Toyoda, Saneyuki Goya, Toshiya Watanabe

Journal of Fluid Science and Technology 13(2) 2018年
Bottom-up via filling by Metal Chloride Reduction Chemical Vapor Deposition (MCR-CVD)

Yuzuru Ogura, Yutaka Osada, Shinya Matsuo, Miho Amada, Mai Kamata, Hiroshi Onoda

Advanced Metallization Conference (AMC) 237-243 2008年
Low-temperature fabrication of nickel silicide metal oxide semiconductor capacitors at 280°C by metal chloride reduction chemical vapor deposition

Naoki Oyama, Yuzuru Ogura, Yoshihiko Mitake, Yugo Tomita, Hitoshi Sakamoto, Shinichi Nagase, Masaru Watanabe, Naoto Fujiwara, Shigetoshi Ohshima, Fumihiko Hirose

Japanese Journal of Applied Physics, Part 2: Letters 46(20-24) 2007年6月15日
Low temperature deposition of metal films by metal chloride reduction chemical vapor deposition

Yuzuru Ogura, Chikako Kobayashi, Yoshiyuki Ooba, Naoki Yahata, Hitoshi Sakamoto

Surface and Coatings Technology 200(10 SPEC. ISS.) 3347-3350 2006年2月24日
Metal Chloride Reduction Chemical Vapor Deposition for Ta, Mo and Ir Films

Yuzuru Ogura, Chikako Kobayashi, Yoshiyuki Ooba, Hitoshi Sakamoto, Naoki Yahata, Toshihiko Nishimori

Japanese Journal of Applied Physics, Part 2: Letters 43(1 A/B) 2004年1月15日
A Method for Copper Film Deposition with Cl<inf>2</inf> Plasma

H. Sakamoto, Y. Ogura, Y. Ooba, T. Nishimori, N. Yahata

Journal of the Electrochemical Society 151(3) 2004年
Structural Evaluation of Cu Films Grown by Cl<inf>2</inf> Plasma

Yoshiyuki Ohba, Hitoshi Sakamoto, Yuzuru Ogura, Naoki Yahata, Toshihiko Nishimori, Kenichiro Hatayama

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers 42(11) 6820-6822 2003年11月
Mass spectrometric study of oxidation of SiC in low-pressure oxygen

Yuzuru Ogura, Tatsuo Morimoto

Journal of the Electrochemical Society 149(4) 2002年4月
Oxygen permeability of Y<inf>2</inf>SiO<inf>5</inf>

Y. Ogura, M. Kondo, T. Morimoto, A. Notomi, T. Sekigawa

Materials Transactions 42(6) 1124-1130 2001年
Chemical stability between Y<inf>2</inf>SiO<inf>5</inf> and SiC in an oxidation protection system for carbon/carbon composites

Masayuki Kondo, Yuzuru Ogura, Tatsuo Morimoto

Materials Transactions, JIM 39(11) 1146-1151 1998年11月
Multilayer coating for carbon-carbon composites

T. Morimoto, Y. Ogura, M. Kondo, T. Ueda

Carbon 33(4) 351-357 1995年
Structural and magnetic properties of U-Au compounds: U<inf>14</inf>Au<inf>51</inf> and UAu<inf>3</inf>

M. Kontani, T. Nishioka, Y. Hamaguchi, Y. Ogura, H. Matsui, N. Sato, K. Adachi

Journal of Magnetism and Magnetic Materials 90-91 456-458 1990年
Magnetic properties of UAu<inf>3</inf>

Masaaki Kontani, Masahito Nakano, Yuzuru Ogura, Noriaki Sato, Hisayuki Matsui, Kengo Adachi

Journal of Magnetism and Magnetic Materials 76-77(C) 655-656 1988年12月2日

MISC

金属積層工法によるターボチャージャ試作のリードタイム短縮

瀧田篤史, 新沢慶介, 小椋謙

三菱重工技報(Web) 56(2) 2019年
半導体製造工程の大幅削減を可能とするMCR-CVD成膜装置

小椋謙, 八幡直樹, 坂本仁志

三菱重工技報(Web) 44(1) 2007年
高密度塩素プラズマで低温,低損傷プロセスを可能にした金属成膜装置

坂本仁志, 小椋謙, 大庭義行, 八幡直樹

三菱重工技報 42(1) 2005年
次世代半導体配線プロセス用メタル成膜装置 (先進技術特集)

坂本仁志, 小椋謙, 大庭義行

三菱重工技報 40(6) 324-327 2003年
塩素プラズマを利用したCVD法における銅の成膜反応

小椋謙, 大庭義行, 坂本仁志, 八幡直樹, 西森年彦

応用物理学会学術講演会講演予稿集 63rd(2) 2002年
塩素プラズマを用いた銅成膜の原理実証

坂本仁志, 小椋謙, 大庭義行, 西森年彦, 八幡直樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集 63rd(2) 2002年
塩素プラズマを利用したCVD法により成膜した銅の組織評価

大庭義行, 坂本仁志, 小椋謙, 西森年彦, 八幡直樹

応用物理学会学術講演会講演予稿集 63rd(2) 2002年
O₂-HCl-H₂O中でのフェライト鋼の高温腐食におよぼすSi,Alおよび不純物元素の影響

小椋謙, SPIEGEL M, GRABKE H J

材料とプロセス 15(3) 2002年
C/C複合材用耐酸化被覆材料の蒸発特性

小椋謙, 近藤雅之, 森本立男, 納富啓, 関川貴洋

日本金属学会誌 65(1) 6-12 2001年
Y₂SiO₅/SiC被覆の希薄酸素中での酸化挙動

小椋謙, 近藤雅之, 森本立男, 納富啓, 関川貴洋

日本金属学会誌 65(1) 13-20 2001年
C/C複合材用耐酸化被覆材料の熱膨張特性

小椋謙, 近藤雅之, 森本立男, 武田恭之, 納富啓

日本金属学会誌 63(10) 1295-1303 1999年
熱プラズマ材料プロセシングの最近の発展プラズマ溶射によるC/C複合材へのY₂SiO₅超高温耐酸化コーティング

榊原紀幸, 納富啓, 小椋謙, 近藤雅之, 藤原力, 関川貴洋, 河内山治朗, 三保和之

日本金属学会誌 63(1) 118-125 1999年
C/C材用耐酸化Y₂SiO₅被覆の特性

近藤雅之, 小椋謙, 森本立男

日本金属学会誌 63(5) 661-668 1999年
C/C材用耐酸化Y₂SiO₅被覆におけるY₂SiO₅層の形成

近藤雅之, 小椋謙, 森本立男, 納富啓

日本金属学会誌 63(7) 851-858 1999年
UAu₃の電気抵抗,低温比熱と磁性

小椋謙, 紺谷雅昭, 安達健五, 松井尚之

物性研究 54(2) 1990年

書籍等出版物

Ceramic Gas Turbine Component Development And Characterization

(担当:分担執筆, 範囲:Chapter 27 Coating for Engineering Ceramics)

American Society of Mechanical Engineers 2003年7月1日

小椋謙

基本情報

研究キーワード

研究分野

学歴

論文

MISC

書籍等出版物

メニュー

共著者の一覧