2017年8月
世界初の電池駆動都市ガス警報器を実現した超低消費電力MEMSメタンセンサー技術の開発 (特集 ガスセンサの進歩と新たな応用)
化学工学
- 巻
- 81
- 号
- 8
- 開始ページ
- 414
- 終了ページ
- 417
- 記述言語
- 日本語
- 掲載種別
- 出版者・発行元
- 化学工学会
電池駆動式の超低消費電力型メタンセンサの開発と実用化について紹介した。基板上にナノ柱状構造SnO2薄膜を製膜し,その上にPt固溶体触媒を形成した。さらに,MEMS技術を利用して,基板内部に薄膜ヒータを埋め込み,全体をケイ素ウエハ枠に懸垂保持することによって,平均消費電力0.06mWの超低消費電力型メタンセンサの開発を実現した。都市ガス警報器への実用化に加え,各種の天然ガス関連施設への利用が期待できる
- リンク情報
-
- J-GLOBAL
- https://jglobal.jst.go.jp/detail?JGLOBAL_ID=201702260242999785
- CiNii Books
- http://ci.nii.ac.jp/ncid/AN00037212
- CiNii Research
- https://cir.nii.ac.jp/crid/1520572357047178752?lang=ja
- 共同研究・競争的資金等の研究課題
- 次世代高信頼性ガスセンサー技術開発
- URL
- http://id.ndl.go.jp/bib/028440765
- ID情報
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- ISSN : 0375-9253
- J-Global ID : 201702260242999785
- CiNii Articles ID : 40021284544
- CiNii Books ID : AN00037212
- CiNii Research ID : 1520572357047178752