2020年6月
Open-air-type Ar + H2O plasma treatment of fluoropolymer (PTFE) for improvement in Ag/PTFE adhesion strength: Application to highly adhesive Ag direct wiring patterns
Japanese Journal of Applied Physics
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- 巻
- 59
- 号
- 7
- 開始ページ
- 077004
- 終了ページ
- 記述言語
- 英語
- 掲載種別
- 研究論文（学術雑誌）
- DOI
- 10.35848/1347-4065/ab9cd7
- リンク情報
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- DOI
- https://doi.org/10.35848/1347-4065/ab9cd7 本文へのリンクあり
- URL
- https://iopscience.iop.org/article/10.35848/1347-4065/ab9cd7 本文へのリンクあり
- ID情報
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- DOI : 10.35848/1347-4065/ab9cd7
- ISSN : 0021-4922
- eISSN : 1347-4065